[發明專利]一種用于高溫氯化提純石英砂的設備

有效

• 申請號: 202310904386.8
• 申請日: 2023-07-24
• 公開（公告）號: CN116621187B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 毛道順;毛志方;操乾;劉增祥
• 申請（專利權）人: 江蘇泓順硅基半導體科技有限公司
• 主分類號: C01B33/18
• 分類號: C01B33/18;B01D29/03;F27B17/00;F27D11/00
• 代理公司: 鹽城市政豐之行專利代理事務所(特殊普通合伙) 32743
• 代理人: 杜冠甫

本發明公開了一種用于高溫氯化提純石英砂的設備，包括單向濾水機構、自適應砂漿上料接頭、加熱機構和真空除水機構。本發明屬于石英砂高溫氯化提純技術領域，具體是指一種用于高溫氯化提純石英砂的設備；本發明使用強度更高的鈦合金作為微孔過濾板的原材料，在微孔過濾板上能夠設置更細小的孔洞和更薄的壁，同時還能保證強度足夠，除此之外，本發明還率先提出了呼吸式的交替吸排水方案，進而通過少量多次的方式，既能將水完全排除，又能保證微孔過濾板的兩側有足夠的壓差而絕對真空度不大，而在此過程中形成的負壓，剛好可以促進氯化劑的流動。

技術領域

本發明屬于石英砂高溫氯化提純技術領域，具體是指一種用于高溫氯化提純石英砂的設備。

背景技術

石英砂的高溫氯化提純工藝是目前制備高純度石英砂的常用工藝，作為最后一道提純工藝，在進行高溫氯化之前，需要先對石英砂進行冷淬使其破碎成細小的顆粒，然后再經過酸浸、磁選、浮選等一系列工藝去除混合物中具有磁性、密度不同等和石英砂具備明顯差異的雜質，從而得到純度相對較高的石英砂。

但是此時進入焙燒爐內的石英砂，此時存在兩個客觀的限制因素：

第一，由于上一道工序將石英砂置于了水中，并且石英砂作為砂漿存在時，的確會比干燥的顆粒更容易在管道中輸送，所以高溫氯化之前，要先去除其中的水分；

第二，由于焙燒爐內，加熱組件的外部設置有玻璃管（高純石英玻璃外罩，才不會對石英砂造成污染），為了避免砂漿下落時對玻璃管的沖擊造成玻璃管碎裂，因此需要采用從下方進料、讓砂漿緩慢上升的注料模式。

混合了水和石英砂的砂漿在進行下一步工序之前需要首先進行脫水，砂漿自下而上進入爐內，因此目前的脫水裝置普遍存在以下問題：

A：在砂漿能夠自由進入、液體也可以流出的情況下，如何保證在風琴式伸縮通道撤去后、真空集水組件滑動接入的轉變過程中，爐內水不會流出臟污外界；

B：由于微孔過濾板的孔極小，因此想要使爐體中的會透過微孔過濾板，需要采用增大壓力差的方式，但是一方面較大的真空度要求材料具有較高的強度，并且也伴隨著危險，另一方面也很難保證抽來的水不會進入真空氣泵中；

C：石英砂顆粒極小，這就導致顆粒與顆粒之間的間隙小，因此氯化劑在石英砂中不易流動、也就不易于高溫氯化工藝的充分反應。

發明內容

針對上述情況，為克服現有技術的缺陷，本發明提供了一種用于高溫氯化提純石英砂的設備，為了解決A問題，本發明使用強度更高的鈦合金作為微孔過濾板的原材料，在微孔過濾板上能夠設置更細小的孔洞和更薄的壁，同時還能保證強度足夠，為了解決問題B，本發明率先提出了呼吸式的交替吸排水方案，進而通過少量多次的方式，既能將水完全排除，又能保證微孔過濾板的兩側有足夠的壓差而絕對真空度不大，而在此過程中形成的負壓，剛好可以促進氯化劑的流動、解決C問題。

本發明采取的技術方案如下：本發明提出了一種用于高溫氯化提純石英砂的設備，包括單向濾水機構、自適應砂漿上料接頭、加熱機構和真空除水機構，其中，

進一步地，所述單向濾水機構設于加熱機構的底部，所述自適應砂漿上料接頭設于單向濾水機構的下方，所述真空除水機構設于單向濾水機構的底部；

所述單向濾水機構包括多邊形底板和感應式開合組件，所述多邊形底板的下方設有上下料通道，所述上下料通道中交叉設有隔板，所述上下料通道的底部還設有底部法蘭；

所述感應式開合組件固接于底部法蘭上；

作為優選地，所述感應式開合組件包括固定框、斜坡擋邊和微孔過濾板，所述固定框固接于底部法蘭的底面上，所述斜坡擋邊上設有擋邊安裝條，所述斜坡擋邊通過擋邊安裝條固接于固定框的內側；

所述微孔過濾板置于斜坡擋邊上，所述微孔過濾板上陣列設有限位圓臺，所述限位圓臺上還設有用于導向并與隔板匹配的導向十字槽。