[發明專利]一種用于高溫氯化提純石英砂的設備有效
| 申請號: | 202310904386.8 | 申請日: | 2023-07-24 |
| 公開(公告)號: | CN116621187B | 公開(公告)日: | 2023-09-22 |
| 發明(設計)人: | 毛道順;毛志方;操乾;劉增祥 | 申請(專利權)人: | 江蘇泓順硅基半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/18 | 分類號: | C01B33/18;B01D29/03;F27B17/00;F27D11/00 |
| 代理公司: | 鹽城市政豐之行專利代理事務所(特殊普通合伙) 32743 | 代理人: | 杜冠甫 |
| 地址: | 224100 江蘇省鹽城市大豐*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 高溫 氯化 提純 石英砂 設備 | ||
1.一種用于高溫氯化提純石英砂的設備,包括加熱機構(4),其特征在于:還包括單向濾水機構(1)、自適應砂漿上料接頭(2)和真空除水機構(3),其中,
所述單向濾水機構(1)設于加熱機構(4)的底部,所述自適應砂漿上料接頭(2)設于單向濾水機構(1)的下方,所述真空除水機構(3)設于單向濾水機構(1)的底部;
所述單向濾水機構(1)包括多邊形底板(5)和感應式開合組件(6),所述多邊形底板(5)的下方設有上下料通道(7),所述上下料通道(7)中交叉設有隔板(8),所述上下料通道(7)的底部還設有底部法蘭(9);
所述感應式開合組件(6)固接于底部法蘭(9)上;
所述感應式開合組件(6)包括固定框(10)、斜坡擋邊(11)和微孔過濾板(12),所述固定框(10)固接于底部法蘭(9)的底面上,所述斜坡擋邊(11)上設有擋邊安裝條(13),所述斜坡擋邊(11)通過擋邊安裝條(13)固接于固定框(10)的內側;
所述微孔過濾板(12)置于斜坡擋邊(11)上,所述微孔過濾板(12)上陣列設有限位圓臺(14),所述限位圓臺(14)上還設有用于導向并與隔板(8)匹配的導向十字槽(15);
所述真空除水機構(3)包括固定式閥座(22)、滑動組件(23)和真空集水組件(24),其中,
自適應砂漿上料接頭(2)固接于多邊形底板(5)的底部,所述固定式閥座(22)的內部對稱設有閥座導向部(25),所述固定式閥座(22)上還設有閥座圓孔(26);
所述滑動組件(23)滑動設于閥座導向部(25)中,所述真空集水組件(24)卡合設于滑動組件(23)中;
所述滑動組件(23)包括滑動式閥板(27)和氣缸(28),所述滑動式閥板(27)卡合滑動設于閥座導向部(25)中,所述滑動式閥板(27)上設有閥板中間方孔(34),所述氣缸(28)卡合于閥座圓孔(26)中,所述氣缸(28)的伸縮端固接于滑動式閥板(27)上;
所述真空集水組件(24)包括集水盒(29)、下水斗(30)、浮圈(31)、真空管(32)和帶閥下水管(33),所述集水盒(29)卡合設于閥板中間方孔(34)中,所述下水斗(30)設于集水盒(29)上;
所述集水盒(29)上設有圍擋(35);所述浮圈(31)貼于圍擋(35)的內壁并且能夠在浮力的作用下上升,
所述真空管(32)設于圍擋(35)的外側,所述帶閥下水管(33)設于圍擋(35)的內側,所述真空管(32)與外部的真空泵連接,所述帶閥下水管(33)與外部的水箱連接。
2.根據權利要求1所述的一種用于高溫氯化提純石英砂的設備,其特征在于:所述微孔過濾板(12)為鈦合金材質。
3.根據權利要求2所述的一種用于高溫氯化提純石英砂的設備,其特征在于:所述自適應砂漿上料接頭(2)包括上料斗(16)、風琴式伸縮通道(17)和上料閥板(18),所述上料斗(16)位于上下料通道(7)的下方,所述上料斗(16)連接在外部的砂漿輸送管道上,所述風琴式伸縮通道(17)設于上料斗(16)上;
所述風琴式伸縮通道(17)上設有頂部升降框(19),所述頂部升降框(19)的內圈處設有導向滑槽(20),所述上料閥板(18)上設有閥板導向柱(21),所述導向滑槽(20)和閥板導向柱(21)相互匹配,所述上料閥板(18)通過閥板導向柱(21)卡合滑動設于導向滑槽(20)中。
4.根據權利要求3所述的一種用于高溫氯化提純石英砂的設備,其特征在于:所述加熱機構(4)包括爐體(36)和紅外加熱組件(37),所述爐體(36)設于多邊形底板(5)上,所述爐體(36)的頂部設有頂蓋(38),所述爐體(36)上設有外壁(39)。
5.根據權利要求4所述的一種用于高溫氯化提純石英砂的設備,其特征在于:所述加熱機構(4)還包括石英玻璃外罩(41),所述石英玻璃外罩(41)設于多邊形底板(5)和頂蓋(38)之間,所述紅外加熱組件(37)設于石英玻璃外罩(41)和爐體(36)之間。
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