[發明專利]一種石英玻璃的檢測方法、裝置、設備及介質

在審

• 申請號: 202310897131.3
• 申請日: 2023-07-21
• 公開（公告）號: CN116630310A
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 何良雨;崔健;劉彤
• 申請（專利權）人: 鋒睿領創（珠海）科技有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06N3/0464;G06T5/50;G06V10/80;G06V10/82
• 代理公司: 深圳眾鼎專利商標代理事務所(普通合伙) 44325
• 代理人: 張美君

本發明涉及人工智能技術領域，尤其涉及一種石英玻璃的檢測方法、裝置、設備及介質。通過獲取待檢測石英玻璃的表征光強特征的第一圖像與表征偏振特征的第二圖像，根據第一圖像與第二圖像，計算圖像增強后的融合特征圖，得到第一融合特征圖，根據第一融合特征圖與選取的K個特征點，進行局部增強，得到第三增強特征圖與第四增強特征圖，通過迭代計算，得到每次迭代的增強特征圖，根據每次迭代的增強特征圖進行檢測，本申請中，使用石英玻璃的光強特征圖與偏振特征圖的多模態數據，通過全局特征增強與局部特征增強將不同模態數據進行特征融合，提高了微小特征的提取能力，根據融合特征進行檢測，從而提高了石英玻璃的檢測準確度。

技術領域

本發明涉及人工智能技術領域，尤其涉及一種石英玻璃的檢測方法、裝置、設備及介質。

背景技術

石英玻璃是由二氧化硅單一組分構成的特種工業技術玻璃，在光學、機械、電學、熱學、化學等多方面都具有普通玻璃無可比擬的優異性能，被新材料領域專家譽為“玻璃之王”，是半導體、光學、光伏等國家戰略性新興產業和航空航天等國防領域不可替代的基礎性材料。但半導體等高端領域對所用石英玻璃的制造純度和工藝水平要求非常之高，會對所用石英玻璃中氣泡、氣線、麻點、色斑等工藝缺陷和雜質含量進行缺陷檢測。

現有技術中，對石英玻璃進行缺陷檢測時，一般使用單一模態數據進行檢測，由于環境、光照、生產過程和噪聲等多重因素影響，使用單一模態數據進行檢測時部分工藝缺陷特征難以提取或無法與噪聲有效區分，且容易受到不利外部環境變化的干擾，使檢測準確率較低，因此，如何提高石英玻璃的缺陷檢測準確度成為亟需解決的問題。

發明內容

有鑒于此，本申請實施例提供了一種石英玻璃的檢測方法、裝置及介質，以解決在對石英玻璃的檢測時，檢測準確度較低的問題。

第一方面，本申請實施例提供一種石英玻璃的檢測方法，所述檢測方法包括：

獲取待檢測石英玻璃的表征光強特征的第一圖像與表征偏振特征的第二圖像，對所述第一圖像與所述第二圖像分別進行特征提取，得到對應所述第一圖像的第一特征圖與對應所述第二圖像的第二特征圖；

對所述第一特征圖進行權重計算，得到第一特征權重矩陣，對所述第二特征圖進行權重計算，得到第二特征權重矩陣；

使用所述第一特征權重矩陣對所述第一特征圖進行增強，得到第一增強特征圖，使用所述第二特征權重矩陣對所述第二特征圖進行增強，得到第二增強特征圖，將所述第一增強特征圖與所述第二增強特征圖融合，得到第一融合特征圖；

對所述第一融合特征圖進行卷積，得到卷積特征圖，從所述第一融合特征圖中選取K個特征點，針對任一特征點，以所述特征點對所述卷積特征圖進行觀測，得到對應所述特征點的觀測結果，K為大于1的整數；

根據所述第一融合特征圖和所有特征點對應的觀測結果，計算得到對應所述第一融合特征圖的第三特征權重矩陣，根據所述第三特征權重矩陣對所述第一特征圖與所述第二特征圖進行激活，得到第三增強特征圖與第四增強特征圖；

將第三增強特征圖作為所述第一圖像，將第四增強特征圖作為所述第二圖像，返回執行對所述第一圖像與所述第二圖像分別進行特征提取，得到對應所述第一圖像的第一特征圖與對應所述第二圖像的第二特征圖的步驟，直至迭代完成；

對每次迭代對應的第三增強特征圖與第四增強特征圖進行融合，得到第二融合特征圖，對所述第二融合特征圖進行檢測，得到檢測結果。

第二方面，本申請實施例提供一種石英玻璃的檢測裝置，所述石英玻璃檢測裝置包括：

獲取模塊，用于獲取待檢測石英玻璃的表征光強特征的第一圖像與表征偏振特征的第二圖像，對所述第一圖像與所述第二圖像分別進行特征提取，得到對應所述第一圖像的第一特征圖與對應所述第二圖像的第二特征圖；

權重計算模塊，用于對所述第一特征圖進行權重計算，得到第一特征權重矩陣，對所述第二特征圖進行權重計算，得到第二特征權重矩陣；