[發明專利]存儲器老化測試方法

在審

• 申請號: 202310830298.8
• 申請日: 2023-07-07
• 公開（公告）號: CN116564397A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 代宇
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G11C29/12
• 分類號: G11C29/12
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 孫寶海

1.一種存儲器老化測試方法，其特征在于，所述存儲器包括陣列區域和子字線控制區域，所述子字線控制區域包括第一子字線控制區域和第二子字線控制區域，所述第一子字線控制區域中的第一子字線與所述陣列區域中的偶數字線耦接，所述第二子字線控制區域的第二子字線與所述陣列區域中的奇數字線耦接，所述陣列區域包括m個字線組，每個字線組包括n條字線，n和m均為大于1的正整數，所述方法包括：

對m組字線組并行的執行n次老化測試，以使得在n次老化測試中，每組字線組中的每根字線通過與其耦接的第一子字線或第二子字線施加的字線開啟電壓開啟預定時長的2倍時長，其中每次老化測試包括：

在每組字線組對應的所述第一子字線控制區域的第一子字線中確定出第一目標子字線及第一剩余子字線，在每組字線組對應的所述第二子字線控制區域的第二子字線中確定出第二目標子字線及第二剩余子字線；

在所述預定時長內，通過所述第一目標子字線向每組字線組中與所述第一目標子字線耦接的第一目標偶數字線施加所述字線開啟電壓，通過所述第一剩余子字線向每組字線組中與所述第一剩余子字線耦接的第一剩余偶數字線施加字線關閉電壓；通過所述第二目標子字線向每組字線組中與所述第二目標子字線耦接的第二目標奇數字線施加所述字線開啟電壓，通過所述第二剩余子字線向每組字線組中與所述第二剩余子字線耦接的第二剩余奇數字線施加所述字線關閉電壓。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一子字線控制區域和所述第二子字線控制區域分別設置在所述陣列區域的相對兩側。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，在第一次老化測試中，在每組字線組對應的所述第一子字線控制區域的第一子字線中確定出第一目標子字線及第一剩余子字線，在每組字線組對應的所述第二子字線控制區域的第二子字線中確定出第二目標子字線及第二剩余子字線，包括：

確定每組字線組對應的所述第一子字線控制區域中的第1條第一子字線為所述第一目標子字線，其它第一子字線為所述第一剩余子字線；

確定每組字線組對應的所述第二子字線控制區域中的第1條第二子字線為所述第二目標子字線，其它第二子字線為所述第二剩余子字線。

4.如權利要求3所述的方法，其特征在于，在第二次老化測試中，在每組字線組對應的所述第一子字線控制區域的第一子字線中確定出第一目標子字線及第一剩余子字線，在每組字線組對應的所述第二子字線控制區域的第二子字線中確定出第二目標子字線及第二剩余子字線，包括：

確定每組字線組對應的所述第一子字線控制區域中的第2條第一子字線為所述第一目標子字線，其它第一子字線為所述第一剩余子字線；

確定每組字線組對應的所述第二子字線控制區域中的第1條第二子字線為所述第二目標子字線，其它第二子字線為所述第二剩余子字線。

5.如權利要求4所述的方法，其特征在于，在第三次老化測試中，在每組字線組對應的所述第一子字線控制區域的第一子字線中確定出第一目標子字線及第一剩余子字線，在每組字線組對應的所述第二子字線控制區域的第二子字線中確定出第二目標子字線及第二剩余子字線，包括：

確定每組字線組對應的所述第一子字線控制區域中的第2條第一子字線為所述第一目標子字線，其它第一子字線為所述第一剩余子字線；

確定每組字線組對應的所述第二子字線控制區域中的第2條第二子字線為所述第二目標子字線，其它第二子字線為所述第二剩余子字線。

6.如權利要求5所述的方法，其特征在于，在第n次老化測試中，在每組字線組對應的所述第一子字線控制區域的第一子字線中確定出第一目標子字線及第一剩余子字線，在每組字線組對應的所述第二子字線控制區域的第二子字線中確定出第二目標子字線及第二剩余子字線，包括：

確定每組字線組對應的所述第一子字線控制區域中的第1條第一子字線為所述第一目標子字線，其它第一子字線為所述第一剩余子字線；

確定每組字線組對應的所述第二子字線控制區域中的最后1條第二子字線為所述第二目標子字線，其它第二子字線為所述第二剩余子字線。