[發(fā)明專利]一種單通道HF水溶液灌裝系統(tǒng)及其方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310775140.5
• 申請日: 2023-06-28
• 公開（公告）號: CN116552869A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李文斌;楊登強;鄭琦
• 申請（專利權(quán)）人: 福建天甫電子材料有限公司
• 主分類號: B65B3/10
• 分類號: B65B3/10;B65B3/04;B65B63/00
• 代理公司: 廈門原創(chuàng)聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35293
• 代理人: 陳建華

本發(fā)明涉及灌裝系統(tǒng)領(lǐng)域，且公開了一種單通道HF水溶液灌裝系統(tǒng)及其方法，有效的解決了目前超純氟化氫和超純水進料時，可能造成部分氟化氫揮發(fā)的問題，包括筒體，所述筒體的底端安裝有排料管，排料管上安裝有排料閥，筒體的兩側(cè)對稱安裝有原料進料組件，筒體的內(nèi)部安裝有混合防揮發(fā)組件，筒體的頂端安裝有壓力調(diào)節(jié)組件，原料進料組件包括對稱安裝于筒體兩側(cè)的側(cè)管，側(cè)管的頂端安裝有進料管，其中一個進料管用于向筒體內(nèi)部通入超純氟化氫，本發(fā)明在存在反流時，原料作用在第二活動塊靠近筒體的一側(cè)，在推力和第一彈簧的彈力作用下，將第一活動塊與限位環(huán)壓緊，從而將進料槽一端緊閉，從而避免反流，方便使用。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于灌裝系統(tǒng)領(lǐng)域，具體為一種單通道HF水溶液灌裝系統(tǒng)及其方法。

背景技術(shù)

在HF水溶液灌裝灌裝過程中，需要將超純氟化氫和超純水進行混合完成灌裝，一般包括筒體，筒體兩側(cè)對稱設(shè)有進料管，其中一個進料管用于通入超純氟化氫，另一個進料管用于通入超純水，通過兩個進料管向筒體內(nèi)部通入超純氟化氫和超純水，隨后在筒體內(nèi)部進行攪拌，從而將超純氟化氫和超純水混合，在混合結(jié)束后，開啟筒體底端排料管的排料閥，將灌裝瓶放置在排料管下方，在閥門開啟后，使得混合料排出，完成灌裝；但仍存在以下缺陷：

由于氟化氫具有很強的揮發(fā)性，在超純氟化氫和超純水進料混合時，由于混合過程中溫度升高，從而造成部分氟化氫揮發(fā)，而氟化氫揮發(fā)后進入到外界空氣中，造成氟化氫原料量減少，同時氟化氫具有毒性，進入空氣后對工作人員造成傷害。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述情況，為克服現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供一種單通道HF水溶液灌裝系統(tǒng)及其方法，有效的解決了目前超純氟化氫和超純水進料時，可能造成部分氟化氫揮發(fā)的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種單通道HF水溶液灌裝系統(tǒng)，包括筒體，所述筒體的底端安裝有排料管，排料管上安裝有排料閥，筒體的兩側(cè)對稱安裝有原料進料組件，筒體的內(nèi)部安裝有混合防揮發(fā)組件，筒體的頂端安裝有壓力調(diào)節(jié)組件；

原料進料組件包括對稱安裝于筒體兩側(cè)的側(cè)管，側(cè)管的頂端安裝有進料管，其中一個進料管用于向筒體內(nèi)部通入超純氟化氫，另一個進料管用于向筒體內(nèi)部通入超純水；

側(cè)管的內(nèi)部安裝有兩個限位環(huán)，兩個限位環(huán)均位于進料管靠近筒體的一側(cè)，兩個限位環(huán)之間設(shè)有第一活動塊，第一活動塊的外壁與側(cè)管的內(nèi)部緊貼，第一活動塊靠近筒體的一端安裝有第二活動塊，第二活動塊靠近筒體的一端位于限位環(huán)的內(nèi)部，第一活動塊靠近筒體的一端安裝有第一彈簧，第一彈簧的一端與限位環(huán)固定連接；

第二活動塊的內(nèi)部開設(shè)有內(nèi)槽，內(nèi)槽的一端貫穿至第一活動塊的內(nèi)部，內(nèi)槽的外側(cè)等角度開設(shè)有進料槽，進料槽的一端貫穿至第一活動塊遠(yuǎn)離筒體的一側(cè)，且進料槽的一端與遠(yuǎn)離筒體一側(cè)的限位環(huán)緊貼，第二活動塊靠近筒體的一端開設(shè)有出料槽，出料槽與內(nèi)槽相連通，出料槽的內(nèi)部安裝有進料比例調(diào)節(jié)單元。

優(yōu)選的，所述進料比例調(diào)節(jié)單元包括安裝于出料槽內(nèi)頂壁上的固定擋板，固定擋板呈半圓形，固定擋板的圓心處安裝有中部塊，中部塊的內(nèi)部開設(shè)有限位轉(zhuǎn)槽，固定擋板遠(yuǎn)離筒體的一側(cè)設(shè)有連接桿，連接桿靠近筒體的一端安裝有限位轉(zhuǎn)塊，限位轉(zhuǎn)塊轉(zhuǎn)動安裝于限位轉(zhuǎn)槽的內(nèi)部，連接桿靠近筒體的一端安裝有活動擋板，活動擋板設(shè)置呈半圓形，活動擋板的外壁與出料槽的內(nèi)部緊貼，活動擋板位于固定擋板遠(yuǎn)離筒體的一側(cè)，且活動擋板與固定擋板緊貼。

優(yōu)選的，所述連接桿遠(yuǎn)離筒體的一端貫穿至第一活動塊遠(yuǎn)離筒體的一側(cè)，連接桿遠(yuǎn)離筒體的一側(cè)設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸與第一電機的輸出軸固定連接，第一電機固定安裝于側(cè)管遠(yuǎn)離筒體的一端，轉(zhuǎn)軸的內(nèi)部開設(shè)有移動槽，連接桿遠(yuǎn)離筒體的一端安裝有活動板，活動板活動安裝于移動槽的內(nèi)部，移動槽的內(nèi)壁上對稱開設(shè)有導(dǎo)向槽，活動板的外側(cè)對稱安裝有導(dǎo)向塊，導(dǎo)向塊與導(dǎo)向槽滑動連接。