[發明專利]一種單通道HF水溶液灌裝系統及其方法

在審

• 申請號: 202310775140.5
• 申請日: 2023-06-28
• 公開（公告）號: CN116552869A
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 李文斌;楊登強;鄭琦
• 申請（專利權）人: 福建天甫電子材料有限公司
• 主分類號: B65B3/10
• 分類號: B65B3/10;B65B3/04;B65B63/00
• 代理公司: 廈門原創聯合知識產權代理有限公司 35293
• 代理人: 陳建華

1.一種單通道HF水溶液灌裝系統，包括筒體（1），其特征在于：所述筒體（1）的底端安裝有排料管（2），排料管（2）上安裝有排料閥（3），筒體（1）的兩側對稱安裝有原料進料組件（4），筒體（1）的內部安裝有混合防揮發組件（5），筒體（1）的頂端安裝有壓力調節組件（6）；

原料進料組件（4）包括對稱安裝于筒體（1）兩側的側管（401），側管（401）的頂端安裝有進料管（402），其中一個進料管（402）用于向筒體（1）內部通入超純氟化氫，另一個進料管（402）用于向筒體（1）內部通入超純水；

側管（401）的內部安裝有兩個限位環（403），兩個限位環（403）均位于進料管（402）靠近筒體（1）的一側，兩個限位環（403）之間設有第一活動塊（404），第一活動塊（404）的外壁與側管（401）的內部緊貼，第一活動塊（404）靠近筒體（1）的一端安裝有第二活動塊（405），第二活動塊（405）靠近筒體（1）的一端位于限位環（403）的內部，第一活動塊（404）靠近筒體（1）的一端安裝有第一彈簧（406），第一彈簧（406）的一端與限位環（403）固定連接；

第二活動塊（405）的內部開設有內槽（407），內槽（407）的一端貫穿至第一活動塊（404）的內部，內槽（407）的外側等角度開設有進料槽（408），進料槽（408）的一端貫穿至第一活動塊（404）遠離筒體（1）的一側，且進料槽（408）的一端與遠離筒體（1）一側的限位環（403）緊貼，第二活動塊（405）靠近筒體（1）的一端開設有出料槽（409），出料槽（409）與內槽（407）相連通，出料槽（409）的內部安裝有進料比例調節單元（410）。

2.根據權利要求1所述的一種單通道HF水溶液灌裝系統，其特征在于：所述進料比例調節單元（410）包括安裝于出料槽（409）內頂壁上的固定擋板（4101），固定擋板（4101）呈半圓形，固定擋板（4101）的圓心處安裝有中部塊（4102），中部塊（4102）的內部開設有限位轉槽（4103），固定擋板（4101）遠離筒體（1）的一側設有連接桿（4104），連接桿（4104）靠近筒體（1）的一端安裝有限位轉塊（4106），限位轉塊（4106）轉動安裝于限位轉槽（4103）的內部，連接桿（4104）靠近筒體（1）的一端安裝有活動擋板（4105），活動擋板（4105）設置呈半圓形，活動擋板（4105）的外壁與出料槽（409）的內部緊貼，活動擋板（4105）位于固定擋板（4101）遠離筒體（1）的一側，且活動擋板（4105）與固定擋板（4101）緊貼。

3.根據權利要求2所述的一種單通道HF水溶液灌裝系統，其特征在于：所述連接桿（4104）遠離筒體（1）的一端貫穿至第一活動塊（404）遠離筒體（1）的一側，連接桿（4104）遠離筒體（1）的一側設有轉軸（4108），轉軸（4108）與第一電機（4107）的輸出軸固定連接，第一電機（4107）固定安裝于側管（401）遠離筒體（1）的一端，轉軸（4108）的內部開設有移動槽（4109），連接桿（4104）遠離筒體（1）的一端安裝有活動板（41010），活動板（41010）活動安裝于移動槽（4109）的內部，移動槽（4109）的內壁上對稱開設有導向槽（41011），活動板（41010）的外側對稱安裝有導向塊（41012），導向塊（41012）與導向槽（41011）滑動連接。

4.根據權利要求1所述的一種單通道HF水溶液灌裝系統，其特征在于：所述混合防揮發組件（5）包括開設于筒體（1）頂端的轉動槽（501），轉動槽（501）的內部安裝有轉動軸（502），轉動軸（502）上安裝有兩個限位板（506），其中一個限位板（506）位于筒體（1）的頂壁上方，另一個限位板（506）位于筒體（1）的內頂壁下方，轉動軸（502）的內部開設有進氣槽（503），進氣槽（503）貫穿至轉動軸（502）的頂端，轉動軸（502）上安裝有從動齒輪（507），從動齒輪（507）的一側嚙合連接有主動齒輪（508），主動齒輪（508）與第二電機（509）的輸出軸固定連接，第二電機（509）固定安裝于筒體（1）的頂端，轉動軸（502）上安裝有冷卻降溫單元（504），轉動軸（502）的外側設有混合料擠壓單元（505），轉動軸（502）的頂端安裝有固定通氣單元（510）。