[發(fā)明專利]一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310687708.8
• 申請(qǐng)日: 2023-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN116430087B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 莊偉東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京銀茂微電子制造有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京匯捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11531
• 代理人: 崔建章

本發(fā)明涉及芯片晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，包括凹折主板，凹折主板上方固定有補(bǔ)光燈具，凹折主板外部環(huán)設(shè)有靜環(huán)板，補(bǔ)光燈具和靜環(huán)板傳動(dòng)連接，凹折主板下方連接有內(nèi)控件，內(nèi)控件底端連接有支撐立柱，支撐立柱外部固定環(huán)設(shè)有多個(gè)副撐板，副撐板頂端固定在靜環(huán)板上，凹折主板兩端設(shè)置有定位件，兩個(gè)定位件之間夾持有晶圓，本發(fā)明相較于傳統(tǒng)技術(shù)固定機(jī)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)晶圓傾斜時(shí)的拍攝檢測(cè)，且晶圓可以傾斜時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)，這樣滿足多角度的拍攝需求，此外為了保證晶圓在任何傾斜情況下均能得到充分的補(bǔ)光，補(bǔ)光燈具伴隨晶圓同步運(yùn)動(dòng)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及芯片晶圓測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓是指制作半導(dǎo)體芯片所用的硅晶片，其原始材料是硅，高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅，硅晶棒在經(jīng)過研磨、拋光和切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓，國(guó)內(nèi)晶圓生產(chǎn)線以八英寸和十二英寸為主，晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時(shí)加工一片或多片晶圓，隨著半導(dǎo)體特征尺寸越來越小，加工及測(cè)量設(shè)備越來越先進(jìn)，使得晶圓加工出現(xiàn)了新的數(shù)據(jù)特點(diǎn)，所以對(duì)于芯片行業(yè)來說，對(duì)晶圓的測(cè)試是必不可少的，一般是要求高效準(zhǔn)確，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)檢測(cè)，因此常用芯片晶圓測(cè)試臺(tái)來對(duì)生產(chǎn)的晶圓進(jìn)行測(cè)試。

工作時(shí)將檢測(cè)儀器放置在晶圓上方，晶圓通過底部固定機(jī)構(gòu)來限位，傳統(tǒng)的固定機(jī)構(gòu)只能實(shí)現(xiàn)晶圓平移和夾持，如果需要從多種角度觀察晶圓，傳統(tǒng)固定機(jī)構(gòu)則不能滿足傾斜晶圓的需求，此外為了清晰觀察，需要對(duì)拍攝環(huán)境進(jìn)行補(bǔ)光，如果光源照射角度固定，晶圓傾斜時(shí)可能在晶圓上出現(xiàn)局部陰影，因此需要保證晶圓傾斜時(shí)，光源可以伴隨移動(dòng)，這樣輔助提高晶圓測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確性，因此本發(fā)明提供了一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于芯片晶圓測(cè)試臺(tái)的固定機(jī)構(gòu)，包括凹折主板，所述凹折主板上方固定有補(bǔ)光燈具，凹折主板外部環(huán)設(shè)有靜環(huán)板，補(bǔ)光燈具和靜環(huán)板傳動(dòng)連接，凹折主板下方連接有內(nèi)控件，內(nèi)控件底端連接有支撐立柱，支撐立柱外部固定環(huán)設(shè)有多個(gè)副撐板，副撐板頂端固定在靜環(huán)板上，凹折主板兩端設(shè)置有定位件，兩個(gè)定位件之間夾持有晶圓，所述內(nèi)控件包括制動(dòng)裝置、凹折中板、內(nèi)齒圈、曲折板和盤齒輪，所述曲折板的底端固定有盤齒輪，曲折板的頂端固定有制動(dòng)裝置，支撐立柱活動(dòng)套接在盤齒輪中部開設(shè)的通孔中，曲折板的一側(cè)分布有內(nèi)齒圈，內(nèi)齒圈下方固定有凹折中板，凹折中板固定在支撐立柱的頂端，制動(dòng)裝置一端和內(nèi)齒圈傳動(dòng)連接，且制動(dòng)裝置另一端傳動(dòng)控制凹折主板。

優(yōu)選的，所述定位件包括L型拉板、第一彈片、弧形擋板和托板，所述L型拉板滑動(dòng)穿過凹折主板端部板體上開設(shè)的板孔，L型拉板的一端固定有弧形擋板，弧形擋板的底部一側(cè)固定有托板，L型拉板的一側(cè)固定有第一彈片，第一彈片一端頂撐凹折主板端部。

優(yōu)選的，所述補(bǔ)光燈具包括單元架、滑座、動(dòng)力架、遮光環(huán)板、環(huán)形燈管、齒圈件和第一位板，所述環(huán)形燈管上方罩有遮光環(huán)板，遮光環(huán)板和凹折主板之間固定有第一位板，遮光環(huán)板上固定環(huán)設(shè)有多個(gè)單元架，單元架固定限位環(huán)形燈管，單元架的底端固定有滑座，多個(gè)滑座配合對(duì)齒圈件進(jìn)行限位，遮光環(huán)板的一側(cè)連接有動(dòng)力架，動(dòng)力架和齒圈件傳動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述第一位板為凹折板狀，且第一位板一端和遮光環(huán)板一體連接，多個(gè)單元架環(huán)設(shè)分布在環(huán)形燈管外側(cè)，滑座為弧形凹軌狀。

優(yōu)選的，所述齒圈件包括海綿筒、第二外齒圈和海綿架，所述第二外齒圈的外部環(huán)設(shè)分布多個(gè)滑座，第二外齒圈內(nèi)邊緣凸出到滑座上的凹槽中，第二外齒圈的上方一側(cè)固定有海綿架，海綿架包括斜板和斜板上固定的弧形桿，且弧形桿上固定套有海綿筒，第二外齒圈一側(cè)和動(dòng)力架傳動(dòng)，海綿筒和環(huán)形燈管的內(nèi)側(cè)壁接觸。