[發明專利]一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構

有效

• 申請號: 202310687708.8
• 申請日: 2023-06-12
• 公開（公告）號: CN116430087B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發明（設計）人: 莊偉東
• 申請（專利權）人: 南京銀茂微電子制造有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04;G01R31/26
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 崔建章

1.一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構，包括凹折主板（1），其特征在于：所述凹折主板（1）上方固定有補光燈具（2），凹折主板（1）外部環設有靜環板（4），補光燈具（2）和靜環板（4）傳動連接，凹折主板（1）下方連接有內控件（5），內控件（5）底端連接有支撐立柱（6），支撐立柱（6）外部固定環設有多個副撐板（7），副撐板（7）頂端固定在靜環板（4）上，凹折主板（1）兩端設置有定位件（8），兩個定位件（8）之間夾持有晶圓（3），所述內控件（5）包括制動裝置（10）、凹折中板（11）、內齒圈（12）、曲折板（13）和盤齒輪（14），所述曲折板（13）的底端固定有盤齒輪（14），曲折板（13）的頂端固定有制動裝置（10），支撐立柱（6）活動套接在盤齒輪（14）中部開設的通孔中，曲折板（13）的一側分布有內齒圈（12），內齒圈（12）下方固定有凹折中板（11），凹折中板（11）固定在支撐立柱（6）的頂端，制動裝置（10）一端和內齒圈（12）傳動連接，且制動裝置（10）另一端傳動控制凹折主板（1），所述定位件（8）包括L型拉板（15）、第一彈片（16）、弧形擋板（17）和托板（18），所述L型拉板（15）滑動穿過凹折主板（1）端部板體上開設的板孔，L型拉板（15）的一端固定有弧形擋板（17），弧形擋板（17）的底部一側固定有托板（18），L型拉板（15）的一側固定有第一彈片（16），第一彈片（16）一端頂撐凹折主板（1）端部，所述補光燈具（2）包括單元架（19）、滑座（20）、動力架（21）、遮光環板（22）、環形燈管（23）、齒圈件（24）和第一位板（25），所述環形燈管（23）上方罩有遮光環板（22），遮光環板（22）和凹折主板（1）之間固定有第一位板（25），遮光環板（22）上固定環設有多個單元架（19），單元架（19）固定限位環形燈管（23），單元架（19）的底端固定有滑座（20），多個滑座（20）配合對齒圈件（24）進行限位，遮光環板（22）的一側連接有動力架（21），動力架（21）和齒圈件（24）傳動連接，所述第一位板（25）為凹折板狀，且第一位板（25）一端和遮光環板（22）一體連接，多個單元架（19）環設分布在環形燈管（23）外側，滑座（20）為弧形凹軌狀，所述齒圈件（24）包括海綿筒（31）、第二外齒圈（32）和海綿架（33），所述第二外齒圈（32）的外部環設分布多個滑座（20），第二外齒圈（32）內邊緣凸出到滑座（20）上的凹槽中，第二外齒圈（32）的上方一側固定有海綿架（33），海綿架（33）包括斜板和斜板上固定的弧形桿，且弧形桿上固定套有海綿筒（31），第二外齒圈（32）一側和動力架（21）傳動，海綿筒（31）和環形燈管（23）的內側壁接觸，所述動力架（21）包括動力齒輪（26）、縱支軸（27）、軸架（28）、橫支軸（29）和橡膠筒（30），所述動力齒輪（26）和第二外齒圈（32）嚙合，動力齒輪（26）固定在縱支軸（27）的頂端，縱支軸（27）的底端和橫支軸（29）垂直傳動，且傳動處的縱支軸（27）和橫支軸（29）端部均固定錐齒輪，縱支軸（27）和橫支軸（29）分別活動套接在軸架（28）上開設的兩個通孔中，軸架（28）的頂端固定在遮光環板（22）上，橫支軸（29）的一端固定有橡膠筒（30），橡膠筒（30）和靜環板（4）接觸，所述制動裝置（10）包括擺動體（34）、束縛體（35）、長軸（36）、第一折板架（37）、L型齒條（38）、托舉彈片（39）、凸輪（40）、凸輪軸（41）和副軸（42），所述束縛體（35）固定在曲折板（13）的頂端，束縛體（35）限位擺動體（34），擺動體（34）固定在凹折主板（1）的中部，擺動體（34）下方嚙合傳動連接有長軸（36），長軸（36）的一側嚙合連接有L型齒條（38），L型齒條（38）滑動穿過第一折板架（37）上開設的方孔，第一折板架（37）一端固定在曲折板（13）上，第一折板架（37）的另一端分布有凸輪（40），第一折板架（37）包括L型板架和L型板架一端一體連接的L型短板，凸輪軸（41）一端和副軸（42）垂直傳動，且傳動處的凸輪軸（41）和副軸（42）端部均固定錐齒輪，凸輪軸（41）和副軸（42）分別活動套接在第一折板架（37）上開設的兩個通孔中，凸輪軸（41）另一端固定在凸輪（40）上，凸輪（40）下方和L型齒條（38）接觸，L型齒條（38）的底端接觸有托舉彈片（39），托舉彈片（39）一端固定在第一折板架（37）上，副軸（42）的一端通過固定齒輪實現與內齒圈（12）的嚙合傳動。

2.根據權利要求1所述的一種用于芯片晶圓測試臺的固定機構，其特征在于：所述束縛體（35）為C型折板狀，束縛體（35）的兩端均開設弧形板孔，束縛體（35）分布在擺動體（34）中，擺動體（34）形狀為弧形板，且弧形板外弧面中部開設一排齒槽，長軸（36）包括軸齒輪和軸齒輪軸心處設置的圓桿，長軸（36）的圓板一端活動套接在第一折板架（37）上開設的通孔中，且另一端活動套接在曲折板（13）上開設的通孔中。