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[發明專利]一種采用SC切割石英晶體的方法在審

專利信息
申請號: 202310672246.2 申請日: 2023-06-07
公開(公告)號: CN116619602A 公開(公告)日: 2023-08-22
發明(設計)人: 羅小平 申請(專利權)人: 萬安縣泰鑫電子有限責任公司
主分類號: B28D5/04 分類號: B28D5/04
代理公司: 南昌金軒知識產權代理有限公司 36129 代理人: 萬敏
地址: 343800 江西*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 采用 sc 切割 石英 晶體 方法
【權利要求書】:

1.一種采用SC切割石英晶體的方法,用于生產SC切型石英晶體,其特征在于,所述采用SC切割石英晶體的方法包括以下步驟:

S1、配制切割液,將切割原液、水、切割砂、防銹油按照一定的比例混合制成切割液;

S2、準備石英晶棒,在基板上設置四塔晶棒,并且每塔上設置三支晶棒,最后將每塔的三支晶棒進行角度匹配;

S3、最后將基板安裝至切割機的工作臺上,并對基板進行角度修正;

S4、將載有石英晶棒的工作臺轉移至線切割機中并開始切割。

2.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述切割液的配比為切割原液、水、切割砂、防銹油的質量分數比=33:16:50:1。

3.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述步驟S2包括切割前每塔3支晶棒角度按實際角度用5~10μ厚的紙進行修正。

4.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述步驟3包括切割前依據整板4塔共12支晶棒的整體角度情況用5~60絲的塞尺對工作臺平面度進行角度修正。

5.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述線切割機中的羅拉每切割180小時后進行更換。

6.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述切割液每切割15小時后進行更換。

7.根據權利要求1所述的一種采用SC切割石英晶體的方法,其特征在于:

所述步驟S4包括先后兩次旋轉切割。

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