[發明專利]一種集成電路工藝及質量柔性控制系統及方法

在審

• 申請號: 202310651544.3
• 申請日: 2023-06-02
• 公開（公告）號: CN116520752A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 沈陽;徐軍紅
• 申請（專利權）人: 成都智造時代科技有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 北京智行陽光知識產權代理事務所(普通合伙) 11738
• 代理人: 劉明曜

本發明公開了一種集成電路工藝及質量柔性控制系統及方法，涉及工藝及質量柔性控制技術領域，包含工藝質量參數采集器、信號調理模塊、FPGA控制單元、數據交換器、數據庫服務器和電源模塊；利用通過工藝質量參數采集器與設備連接并采集設備上的生產參數，實現工藝質量參數的自動采集；將采集的工藝質量參數進行放大濾波處理；對信號調理電路調理好的信號進行AD轉換，將工藝質量參數采集器的模擬信號轉換成數字信號以備DSP核進行不同策略運算用；DSP核根據上位機提供的運算策略對傳感器傳來的參數進行相應的運算為控制器提供控制參數，實現集成電路工藝及質量的實時控制和控制系統的柔性控制以最大限度實現柔性控制。

技術領域

本發明屬于工藝及質量柔性控制技術領域，尤其涉及一種集成電路工藝及質量柔性控制系統及方法。

背景技術

生產工藝監控——是指在生產過程中，通過采集模塊的采集和處理，可以查看到當前生產工藝的各類工藝參數，并可以及時對其中不合理或需優化的工藝參數設置進行修改，控制設備按調整后的工藝要求進行生產，起到對生產工藝的監督和控制作用。

生產不同產品，工藝要求是不同的。

目前，在制造業的生產過程中，生產工藝的控制主要靠人為，由人去監督生產過程，把握生產進度，控制產品質量。而人是一種不確定因素，對生產工藝的控制難以達到最大程度的客觀和嚴謹，由此很可能導致生產節拍的過快或過慢，對產品質量的一致性也很難保證。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是針對背景技術的不足提供一種集成電路工藝及質量柔性控制系統及方法，利用通過工藝質量參數采集器與設備連接并采集設備上的生產參數，實現工藝質量參數的自動采集，實現集成電路工藝及質量的實時控制和控制系統的柔性控制以最大限度實現柔性控制。

本發明為解決上述技術問題采用以下技術方案：

一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，包含工藝質量參數采集器、信號調理模塊、FPGA控制單元、配置電路、報警模塊、時鐘模塊、存儲模塊、數據交換器、數據庫服務器和電源模塊；

所述工藝質量參數采集器通過信號調理模塊連接FPGA控制單元，所述配置電路、報警模塊、時鐘模塊、存儲模塊和電源模塊分別與FPGA控制單元連接，所述FPGA控制單元通過數據交換器連接數據庫服務器；

其中，工藝質量參數采集器與設備連接并采集設備上的生產參數，實現工藝質量參數的自動采集；

信號調理模塊，用于將采集的工藝質量參數進行放大濾波處理，進而上傳至FPGA控制單

FPGA控制單元，用于對信號調理電路調理好的信號進行AD轉換，將工藝質量參數采集器的模擬信號轉換成數字信號以備DSP核進行不同策略運算用；DSP核根據上位機提供的運算策略對傳感器傳來的參數進行相應的運算為控制器提供控制參數,實現集成電路工藝及質量的實時控制和控制系統的柔性控制；

報警模塊，用于工藝質量參數采集器采集的生產參數出現異常現象時進行報警；

數據交換器，用于通過數據交換器與數據庫服務器連接；

采集器采集設備上的生產參數，業務終端將生產參數通過數據交換器上交至數據庫服務器，報警模塊對檢測到的異常現象進行報警；

配置電路，用于配置FPGA控制單元的算法及整個硬件電路；

時鐘模塊，用于記錄時間；

存儲模塊，用于根據時鐘模塊記錄的時間進行實時數據存儲；

電源模塊，用于提供集成電路工藝及質量柔性控制系統所需電能。