[發明專利]一種集成電路工藝及質量柔性控制系統及方法

在審

• 申請號: 202310651544.3
• 申請日: 2023-06-02
• 公開（公告）號: CN116520752A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 沈陽;徐軍紅
• 申請（專利權）人: 成都智造時代科技有限公司
• 主分類號: G05B19/042
• 分類號: G05B19/042
• 代理公司: 北京智行陽光知識產權代理事務所(普通合伙) 11738
• 代理人: 劉明曜

1.一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，其特征在于：包含工藝質量參數采集器、信號調理模塊、FPGA控制單元、配置電路、報警模塊、時鐘模塊、存儲模塊、數據交換器、數據庫服務器和電源模塊；

所述工藝質量參數采集器通過信號調理模塊連接FPGA控制單元，所述配置電路、報警模塊、時鐘模塊、存儲模塊和電源模塊分別與FPGA控制單元連接，所述FPGA控制單元通過數據交換器連接數據庫服務器；

其中，工藝質量參數采集器與設備連接并采集設備上的生產參數，實現工藝質量參數的自動采集；

信號調理模塊，用于將采集的工藝質量參數進行放大濾波處理，進而上傳至FPGA控制單元；

FPGA控制單元，用于對信號調理電路調理好的信號進行AD轉換，將工藝質量參數采集器的模擬信號轉換成數字信號以備DSP核進行不同策略運算用；DSP核根據上位機提供的運算策略對傳感器傳來的參數進行相應的運算為控制器提供控制參數,實現集成電路工藝及質量的實時控制和控制系統的柔性控制；

報警模塊，用于工藝質量參數采集器采集的生產參數出現異常現象時進行報警；

數據交換器，用于通過數據交換器與數據庫服務器連接；

采集器采集設備上的生產參數，業務終端將生產參數通過數據交換器上交至數據庫服務器，報警模塊對檢測到的異常現象進行報警；

配置電路，用于配置FPGA控制單元的算法及整個硬件電路；

時鐘模塊，用于記錄時間；

存儲模塊，用于根據時鐘模塊記錄的時間進行實時數據存儲；

電源模塊，用于提供集成電路工藝及質量柔性控制系統所需電能。

2.根據權利要求1所述的一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，其特征在于：所述FPGA控制單元包含高穩晶振模塊、FPGA主控模塊、USB傳輸模塊、串口模塊、數據處理中心、USB接口、千兆網接口和HDMI接口，所述高穩晶振模塊與FPGA主控模塊連接，所述FPGA主控模塊分別經過USB傳輸模塊、串口模塊連接數據處理中心，所述USB接口、千兆網接口和HDMI接口分別與數據處理中心連接。

3.根據權利要求2所述的一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，其特征在于：所述FPGA主控模塊包含控制模塊、邏輯控制單元、HDMI接口芯片控制單元、DDR3-SDRAM緩存控制單元，以及供電電路、復位電路、晶振電路、下載電路和配置SPI?Flash電路，所述控制模塊、邏輯控制單元、HDMI接口芯片控制單元、DDR3-SDRAM緩存控制單元、供電電路、復位電路、晶振電路、下載電路和配置SPI?Flash電路分別與邏輯控制單元電性連接。

4.根據權利要求1所述的一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，其特征在于：還包含電能質量控制模塊，所述電能質量控制模塊與FPGA控制單元連接，所述電能質量控制模塊包含包括動態電壓恢復模塊和有源電力濾波模塊；所述有源電力濾波模塊與外部電網連接；所述動態電壓恢復模塊包括第一變流器、第一儲能單元和雙向晶閘管T1，所述雙向晶閘管T1連接于所述外部電網與負載之間，所述第一儲能單元通過第一變流器與負載連接。

5.根據權利要求4所述的一種集成電路工藝及質量柔性控制系統，其特征在于：所述動態電壓恢復模塊還包括旁路斷路器K1；所述旁路斷路器K1與雙向晶閘管T1并聯；

所述有源電力濾波模塊包括第二變流器和第二儲能單元；所述第二儲能單元通過第二變流器與外部電網連接。

6.根據權利要求4所述的電能質量柔性控制裝置，其特征在于，所述裝置還包括備用電源模塊；所述備用電源模塊包括備用電源、雙向晶閘管T2和旁路斷路器K2；所述旁路斷路器K2與雙向晶閘管T2并聯，所述雙向晶閘管T2連接于備用電源和負載之間。