[發明專利]一種自帶圓周定位的載臺裝置

在審

• 申請號: 202310623976.3
• 申請日: 2023-05-30
• 公開（公告）號: CN116525515A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 鄭新;夏張紅;張知航;曹葵康
• 申請（專利權）人: 蘇州天準科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 北京千壹知識產權代理事務所(普通合伙) 11940
• 代理人: 王玉玲

1.一種自帶圓周定位的載臺裝置，載臺裝置包括載臺底座(100)、載臺底腳(200)、載臺上座(300)、載臺主軸(400)和晶圓載盤(500)，其特征在于：載臺裝置還包括一個圓周定位模塊(600)；

其中，所述載臺底腳(200)采用氣浮地腳；所述載臺底座(100)通過多個所述載臺底腳(200)被浮動地支撐；所述載臺上座(300)設置在所述載臺底座(100)上；所述載臺主軸(400)豎直的設置在所述載臺底座(100)和載臺上座(300)開設的承載孔中，所述載臺主軸(400)的頂部固定連接至所述晶圓載盤(500)的底面中部，用于對晶圓載盤(500)的驅動；

所述圓周定位模塊(600)設置在載臺上座(300)和晶圓載盤(500)之間，用于對晶圓載盤(500)上氣浮支撐的晶圓從外周進行定位。

2.根據權利要求1所述的載臺裝置，其特征在于：

所述載臺主軸(400)包括升降軸體(410)、固定轉接件(420)和彈片(430)，彈片(430)的內端固定至所述升降軸體(410)的底部，彈片(430)外端通過所述固定轉接件(420)連接至載臺底座(100)的底部，實現對升降軸體(410)的底部彈性支撐。

3.根據權利要求1所述的載臺裝置，其特征在于：

所述晶圓載盤(500)上設有吹氣孔、吸氣孔和與圓周定位模塊(600)適配的定位槽孔(501)。

4.根據權利要求3所述的載臺裝置，其特征在于：

所述圓周定位模塊(600)包括導向安裝板(610)、導向滑塊組件(620)、定位轉盤(630)、導向柱(640)、定位驅動電機組(650)和定位傳動帶(660)；所述導向滑塊組件(620)安裝在所述導向安裝板(610)上，并在滑動塊上豎直的安裝所述導向柱(640)；所述定位轉盤(630)設置在所述導向安裝板(610)的上方，定位轉盤(630)上開設多個導向弧形槽(631)，用于導向柱(640)的導向，并由所述定位驅動電機組(650)和定位傳動帶(660)驅動所述定位轉盤(630)繞軸心轉動，以此實現對晶圓載盤(500)上的晶圓的外周定位。

5.根據權利要求4所述的載臺裝置，其特征在于：

所述導向安裝板(610)為帶缺口的圓環結構，所述導向安裝板(610)的底部固定至載臺上座(300)上，所述定位驅動電機組(650)設置在導向安裝板(610)的缺口處；所述定位傳動帶(660)設置在所述定位驅動電機組(650)的驅動輪處和導向安裝板(610)的圓環內部。

6.根據權利要求5所述的載臺裝置，其特征在于：

多個所述導向滑塊組件(620)包括滑軌、滑塊和支撐安裝座，多個所述滑塊徑向均布在所述導向安裝板(610)上；所述滑塊滑動套設在所述滑軌上；所述支撐安裝座固定至所述滑塊上，所述支撐安裝座用于支撐上方的定位轉盤(630)并用于安裝所述導向柱(640)。

7.根據權利要求5所述的載臺裝置，其特征在于：

所述定位轉盤(630)包括轉盤本體和轉盤傳動輪(632)，所述轉盤傳動輪(632)同軸心的安裝至所述轉盤本體的底面，與導向柱(640)個數相同的所述導向弧形槽(631)開設在位于轉盤傳動輪(632)外圍的轉盤本體上，在所述定位轉盤(630)的轉盤傳動輪(632)與定位驅動電機組(650)的驅動輪上套設所述定位傳動帶(660)。

8.根據權利要求5所述的載臺裝置，其特征在于：

所述導向柱(640)包括等徑段和變徑段，所述變徑段可拆卸的安裝至所述等徑段的頂部，所述變徑段從下到上依次變粗，所述變徑段的上部從定位槽孔(501)凸出于晶圓載盤(500)的上表面設置。