[發(fā)明專利]顯影方法、太陽電池及其制備方法

在審

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• 申請日: 2023-05-15
• 公開（公告）號: CN116577970A
• 公開（公告）日: 2023-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 薛建鋒;廖劼;蘇世杰
• 申請（專利權(quán)）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/32;H01L31/0224;H01L31/18;H01L31/04
• 代理公司: 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 周孝湖

1.一種顯影方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供基底，并在所述基底上制備感光膠層，所述感光膠層包括曝光區(qū)以及與所述曝光區(qū)連接的非曝光區(qū)；

使用第一顯影液對所述感光膠層進(jìn)行第一顯影，以使所述感光膠層具有開槽；以及

使用第二顯影液對所述第一顯影后的所述感光膠層進(jìn)行第二顯影，以去除所述開槽內(nèi)的殘膠；

其中，所述第一顯影液包括強(qiáng)堿試劑以及第一弱堿試劑，所述第二顯影液包括強(qiáng)氧化劑和第二弱堿試劑。

2.如權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，所述顯影方法包括以下(1)～(2)中的至少一項(xiàng)：

(1)所述強(qiáng)氧化劑包括雙氧水；

(2)所述第二弱堿試劑包括氨水。

3.如權(quán)利要求2所述的顯影方法，其特征在于，所述顯影方法包括以下(3)～(7)中的至少一項(xiàng)：

(3)在所述第二顯影液中，所述強(qiáng)氧化劑的濃度為5g/L～10g/L；

(4)在所述第二顯影液中，所述第二弱堿試劑的濃度為10g/L～20g/L；

(5)所述第二顯影液的溫度為25℃～35℃；

(6)在所述第二顯影的步驟中，將所述第二顯影液噴向所述開槽，所述第二顯影液的噴射壓力0.5bar～2.5bar；

(7)所述第二顯影液的pH值為8～13。

4.如權(quán)利要求1所述的顯影方法，其特征在于，所述顯影方法包括以下(8)～(9)中的至少一項(xiàng)：

(8)所述強(qiáng)堿試劑包括氫氧化鈉和強(qiáng)氧化鉀中的至少一種；

(9)所述第一弱堿試劑包括碳酸鈉和碳酸氫鈉中的至少一種。

5.如權(quán)利要求4所述的顯影方法，其特征在于，所述顯影方法包括以下(10)～(14)中的至少一項(xiàng)：

(10)在所述第一顯影液中，所述強(qiáng)堿試劑的濃度為0.2g/L～1.0g/L；

(11)在所述第一顯影液中，所述第一弱堿試劑的濃度為10g/L～20g/L；

(12)所述第一顯影液的溫度為25℃～35℃；

(13)在所述第一顯影的步驟中，將所述第一顯影液噴向所述非曝光區(qū)，所述第一顯影液的噴射壓力為0.5bar～2.5bar；

(14)所述第一顯影液的pH為8～13。

6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的顯影方法，其特征在于，所述第二顯影液還包括表面活性劑。

7.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的顯影方法，其特征在于，在所述第二顯影的步驟后，所述顯影方法還包括以下步驟：

使用含有鈣離子和鎂離子的清洗液對所述開槽進(jìn)行清洗；

其中，所述清洗液中鈣離子的濃度為0.01g/mL～0.05g/mL，所述清洗液中鎂離子的濃度為0.01g/mL～0.05g/mL。

8.如權(quán)利要求7所述的顯影方法，其特征在于，所述清洗液的溫度為35℃～45℃。

9.一種太陽電池的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供太陽電池前驅(qū)體，所述太陽電池前驅(qū)體包括種子層；

在所述種子層上制備感光膠層；

對所述感光膠層進(jìn)行部分曝光，以使所述感光膠層包括曝光區(qū)以及與所述曝光區(qū)連接的非曝光區(qū)；

使用如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的顯影方法對部分曝光后的所述感光膠層進(jìn)行顯影，得到圖形化感光膠層，其中，所述圖形化感光膠層具有開槽，且部分所述種子層暴露于所述開槽，將暴露于所述開槽的所述種子層定義為第一種子部，并將未暴露于所述開槽的所述種子層定義為第二種子部；

在所述第一種子部上電鍍，得到第一柵線；以及

去除所述圖形化感光膠層和所述第二種子部。

10.一種太陽電池，其特征在于，所述太陽電池采用如權(quán)利要求9所述的制備方法制備得到。