[發明專利]顯影方法、太陽電池及其制備方法

在審

• 申請號: 202310546618.7
• 申請日: 2023-05-15
• 公開（公告）號: CN116577970A
• 公開（公告）日: 2023-08-11
• 發明（設計）人: 薛建鋒;廖劼;蘇世杰
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（成都）有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;G03F7/32;H01L31/0224;H01L31/18;H01L31/04
• 代理公司: 華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周孝湖

本發明提供了一種顯影方法，包括以下步驟：提供基底，并在所述基底上制備感光膠層，所述感光膠層包括曝光區以及與所述曝光區連接的非曝光區；使用第一顯影液對所述感光膠層進行第一顯影，以使所述感光膠層具有開槽；使用第二顯影液對所述第一顯影后的所述感光膠層進行第二顯影，以去除所述開槽內的殘膠。其中，所述第一顯影液包括強堿試劑以及第一弱堿試劑，所述第二顯影液包括強氧化劑和第二弱堿試劑。本發明能夠解決在感光膠開槽的側壁出現的參差不齊的問題以及在感光膠開槽的底部存在的殘膠的問題。本發明還提供了一種太陽電池的制備方法以及一種太陽電池。

技術領域

本發明涉及顯影技術領域，特別是涉及一種顯影方法、太陽電池及其制備方法。

背景技術

曝光是將設計好的柵線圖形通過激光打印在感光膠層上。當感光膠層曝光后，感光膠層曝光的部分，即曝光區會發生交聯聚合反應，而感光膠層未曝光的部分，即非曝光區則保持原先的狀態。顯影是使用顯影液去除感光膠層未曝光的部分，而留下感光膠層曝光的部分。因此，顯影后的感光膠層具有開槽。

目前，當顯影后，在感光膠開槽的側壁通常會出現參差不齊的問題，導致后續在開槽內電鍍的柵線出現粗細不均的問題，影響外觀。同時，當顯影后，在感光膠開槽的底部通常殘留有部分感光膠層，即出現殘膠的問題，導致后續在開槽內電鍍的柵線與種子層之間的結合力較差。

發明內容

基于此，有必要提供一種顯影方法，以解決在感光膠開槽的側壁出現的參差不齊的問題以及在感光膠開槽的底部存在的殘膠的問題。

另，還有必要提供一種太陽電池的制備方法。

另，還有必要提供一種太陽電池。

本發明至少一實施例提供了一種顯影方法，包括以下步驟：

提供基底，并在所述基底上制備感光膠層，所述感光膠層包括曝光區以及與所述曝光區連接的非曝光區；

使用第一顯影液對所述感光膠層進行第一顯影，以使所述感光膠層具有開槽；以及

使用第二顯影液對所述第一顯影后的所述感光膠層進行第二顯影，以去除所述開槽內的殘膠；

其中，所述第一顯影液包括強堿試劑以及第一弱堿試劑，所述第二顯影液包括強氧化劑和第二弱堿試劑。

在其中一些實施例中，所述顯影方法包括以下(1)～(2)中的至少一項：

(1)所述強氧化劑包括雙氧水；

(2)所述第二弱堿試劑包括氨水。

在其中一些實施例中，所述顯影方法包括以下(3)～(7)中的至少一項：

(3)在所述第二顯影液中，所述強氧化劑的濃度為5g/L～10g/L；

(4)在所述第二顯影液中，所述第二弱堿試劑的濃度為10g/L～20g/L；

(5)所述第二顯影液的溫度為25℃～35℃；

(6)在所述第二顯影的步驟中，將所述第二顯影液噴向所述開槽，所述第二顯影液的噴射壓力0.5bar～2.5bar；

(7)所述第二顯影液的pH值為8～13。

在其中一些實施例中，所述顯影方法包括以下(8)～(9)中的至少一項：

(8)所述強堿試劑包括氫氧化鈉和強氧化鉀中的至少一種；

(9)所述第一弱堿試劑包括碳酸鈉和碳酸氫鈉中的至少一種。

在其中一些實施例中，所述顯影方法包括以下(10)～(14)中的至少一項：

(10)在所述第一顯影液中，所述強堿試劑的濃度為0.2g/L～1.0g/L；