[發(fā)明專利]一種用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)和組合式柔順機(jī)構(gòu)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310521614.3
• 申請(qǐng)日: 2023-05-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116487318A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林志杭;湯暉;廖展琛;黃運(yùn)洋
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01L21/687
• 分類號(hào): H01L21/687;H01L21/683;H01L33/00
• 代理公司: 佛山市禾才知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44379
• 代理人: 單蘊(yùn)倩

1.一種用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：包括支撐座、平衡調(diào)節(jié)桿、平衡質(zhì)量塊和第一柔順支撐架；

所述第一柔順支撐架具有在Z軸的移動(dòng)自由度以及繞X軸與Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度；

所述平衡調(diào)節(jié)桿的長(zhǎng)度方向與X軸平行，所述平衡調(diào)節(jié)桿的寬度方向與Y軸平行；

所述平衡調(diào)節(jié)桿安裝于所述支撐座的頂部，所述支撐座與所述平衡調(diào)節(jié)桿的連接處為支點(diǎn)，所述支點(diǎn)偏離所述平衡調(diào)節(jié)桿的中心位置，所述支點(diǎn)位于靠近所述第一柔順支撐架的一側(cè)；

所述第一柔順支撐架位于所述平衡調(diào)節(jié)桿的一端，MicroLED的承載平臺(tái)固定安裝于所述第一柔順支撐架頂部；

所述平衡質(zhì)量塊可拆卸安裝于所述平衡調(diào)節(jié)桿的另一端，所述平衡質(zhì)量塊用于調(diào)節(jié)所述支點(diǎn)兩端的平衡，使所述承載平臺(tái)保持平衡。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一柔順支撐架包括第一柔性連接件和第一柔性連接臺(tái)；

所述第一柔性連接件的底部與所述平衡調(diào)節(jié)桿固定連接，所述第一柔性連接臺(tái)固定安裝于所述第一柔性連接件的頂部，所述承載平臺(tái)安裝于所述第一柔性連接臺(tái)的頂部；

所述第一柔性連接件具有繞Y軸的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度以及在Z軸的移動(dòng)自由度，所述第一柔性連接臺(tái)具有繞X軸的轉(zhuǎn)動(dòng)自由度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一柔性連接臺(tái)包括第一基板、第二基板和兩個(gè)第一柔性連接板；

兩個(gè)所述第一柔性連接板在Y-Z平面上相對(duì)傾斜設(shè)置，所述第一柔性連接板分別連接所述第一基板和所述第二基板，所述第一柔性連接臺(tái)沿Y-Z平面的截面呈梯形；

兩個(gè)所述第一柔性連接板可受壓變形。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一柔性連接件包括底板和兩個(gè)第一柔性連接片；

兩個(gè)所述第一柔性連接片在X-Z平面上呈十字交叉布置；

所述第一柔性連接片的兩端傾斜連接所述第二基板和所述底板，使所述第一柔性連接片與所述底板和所述第二基板之間的夾角均小于90°；

兩個(gè)所述第一柔性連接片可受壓變形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述支撐座包括柔順底座和柔順承載柱；

所述柔順底座設(shè)有多個(gè)柔順通槽，多個(gè)所述柔順通槽沿所述柔順底座的周側(cè)布置，多個(gè)所述柔順通槽合圍的內(nèi)側(cè)形成承載柱安裝位；

所述柔順承載柱固定安裝于所述柔順底座的頂面；

相鄰兩個(gè)所述柔順通槽之間設(shè)有多個(gè)柔順槽，所述柔順槽貫通兩個(gè)相鄰的柔順通槽，所述柔順槽的槽口朝向所述柔順底座的上表面或者下表面，相鄰兩個(gè)所述柔順槽的槽口方向相反。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述柔順承載柱包括第一承載柱、第二承載柱和承載柱連接板，所述第一承載柱和所述第二承載柱均為剛性結(jié)構(gòu)，所述第一承載柱位于所述第二承載柱的上方；

多個(gè)所述承載柱連接板分別位于所述柔順底座的頂部，且多個(gè)所述柔順通槽位于多個(gè)所述承載柱連接板的內(nèi)側(cè)；

所述第一承載柱的周側(cè)設(shè)有多個(gè)第一承載板，多個(gè)所述第一承載板連接所述第一承載柱和所述承載柱連接板；

所述第二承載柱的周側(cè)設(shè)有多個(gè)第二承載板，多個(gè)所述第二承載板連接所述第二承載柱和所述承載柱連接板。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的柔順支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述第一承載板和所述第二承載板均為簧片型柔性片；

所述第一承載板傾斜設(shè)置，所述第一承載板與所述承載柱連接板之間的夾角小于90°；

所述第二承載板與所述承載柱連接板垂直連接。