[發明專利]一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置

有效

• 申請號: 202310468376.4
• 申請日: 2023-04-27
• 公開（公告）號: CN116533116B
• 公開（公告）日: 2023-10-17
• 發明（設計）人: 楊宇昊;高瑞;楊政東
• 申請（專利權）人: 江陰瑞林精密機械制造有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/04;B24B47/12;B24B55/03;B24B55/06;B24B55/12
• 代理公司: 江蘇無錫蘇匯專利代理事務所(普通合伙) 32593
• 代理人: 蔣羚

本發明公開了一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，屬于光伏半導體加工技術領域。本發明包括潔凈室、若干待打磨的半導體片，所述潔凈室內部設置有機械臂、翻面機械手，所述翻面機械手對半導體片進行上下料和翻面，所述機械臂上設置有打磨機構，所述打磨機構包括打磨罩，所述打磨罩安裝在機械臂的執行端，所述潔凈室內部設置有外套筒、脫水箱，所述外套筒的內部設置有夾持機構，外套筒底部與脫水箱之間連接有抽液管，所述脫水箱內部安裝有鼓形濾筒，脫水箱內部儲存有冷卻液，所述冷卻液對半導體片進行降溫清洗，兩個平衡桿在轉動時自動找平，使得半導體片處在水平狀態接受打磨。

技術領域

本發明涉及光伏半導體加工技術領域，具體為一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置。

背景技術

光伏發電系統利用半導體材料的光伏效應，將太陽輻射能轉化為電能，光伏發電的能量來源于太陽，是一種安全可再生的清潔能源，也是未來清潔能源市場的主流發展方向，其中的半導體材料是光伏發電系統的核心，半導體的加工生產工藝日趨進步，現階段針對半導體的加工環境十分的苛刻，半導體片的質地較為脆弱，對半導體進行加工時極易因為打磨受力問題造成半導體發生損壞，在這種情況下只能犧牲半導體片的厚度，通過更多的材料來平衡加工的受力，這無疑造成材料的浪費和損耗，其次半導體在加工的過程中，工作臺需要保持水平，否則導致加工好的半導體片出現內部應力，不便于運輸和進一步處理，為生產工藝帶來很大的麻煩和問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本發明提供如下技術方案：一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，包括潔凈室、若干待打磨的半導體片，所述潔凈室內部設置有機械臂、翻面機械手，所述翻面機械手對半導體片進行上下料和翻面，所述機械臂上設置有打磨機構，所述打磨機構包括打磨罩，所述打磨罩安裝在機械臂的執行端，所述潔凈室內部設置有外套筒、脫水箱，所述外套筒的內部設置有夾持機構，外套筒底部與脫水箱之間連接有抽液管，所述脫水箱內部安裝有鼓形濾筒，脫水箱內部儲存有冷卻液，所述冷卻液對半導體片進行降溫清洗。

進一步的，所述打磨罩的底部開設有兩道呈十字相交的槽，每道槽內部滑動安裝有一個伺服電機，每個所述伺服電機上安裝有打磨輪，所述打磨罩的內部設置有菱形塊、曲柄，所述菱形塊與兩個伺服電機均轉動連接，所述曲柄的一端與菱形塊轉動連接，曲柄的另一端與機械臂相連接，翻面機械手從原料區將待打磨的光伏半導體片移動到研磨臺上，半導體片貼在密封墊上，小型真空泵將打磨罩中空部位的空氣向外抽出，打磨罩中空部位形成真空負壓區，所有的六角銷向中空部位中縮進，若干個六角銷與半導體片之間的氣壓減小，導致半導體片緊緊地貼合在研磨臺上。

進一步的，所述夾持機構包括研磨臺，所述研磨臺的上表面設置有一層密封墊，研磨臺的內部中空，研磨臺中空部位與密封墊之間的位置處滑動設置有若干個六角銷，若干個所述六角銷呈蜂窩狀布置，若干個六角銷貫穿密封墊，每個六角銷的底部設置有彈簧，所述研磨臺底部還安裝有小型真空泵，所述小型真空泵的抽氣端與研磨臺中空部位連通，通過設置呈蜂窩狀布置的六角銷，若干個六角銷移動后，每個安裝六角銷的孔內都形成負壓狀態，使得研磨臺對半導體片進行吸附夾持，六角銷的孔數量多、分布位置均勻，在吸附夾持的狀態下保證半導體片的受力均勻，不會因為加工時受力變化過大而造成破裂。

進一步的，所述夾持機構包括中心主軸、動力電機，所述中心主軸轉動安裝在外套筒中部，所述動力電機位于外套筒底部，動力電機上設置有主動錐齒輪，所述中心主軸上設置有從動錐齒輪，所述主動錐齒輪與從動錐齒輪嚙合傳動，動力電機通電帶動主動錐齒輪旋轉，主動錐齒輪通過從動錐齒輪帶動中心主軸轉動，中心主軸在快速旋轉的狀態下，上平衡桿及下平衡桿也隨之轉動，上平衡桿及下平衡桿兩端的重塊在離心力的作用下保持在徑向輪廓上甩動，即使得上平衡桿與下平衡桿保持水平，并借助轉動的慣性保持穩定，上平衡桿與下平衡桿通過四根傳動臂使得研磨臺保持水平狀態。