[發明專利]一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置

有效

• 申請號: 202310468376.4
• 申請日: 2023-04-27
• 公開（公告）號: CN116533116B
• 公開（公告）日: 2023-10-17
• 發明（設計）人: 楊宇昊;高瑞;楊政東
• 申請（專利權）人: 江陰瑞林精密機械制造有限公司
• 主分類號: B24B27/00
• 分類號: B24B27/00;B24B41/06;B24B41/00;B24B55/04;B24B47/12;B24B55/03;B24B55/06;B24B55/12
• 代理公司: 江蘇無錫蘇匯專利代理事務所(普通合伙) 32593
• 代理人: 蔣羚

1.一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，包括潔凈室(1)、若干待打磨的半導體片，所述潔凈室(1)內部設置有機械臂(2)、翻面機械手，其特征在于：所述翻面機械手對半導體片進行上下料和翻面，所述機械臂(2)上設置有打磨機構，所述打磨機構包括打磨罩(3)，所述打磨罩(3)安裝在機械臂(2)的執行端，所述潔凈室(1)內部設置有外套筒(8)、脫水箱(18)，所述外套筒(8)的內部設置有夾持機構，外套筒(8)底部與脫水箱(18)之間連接有抽液管(16)，所述脫水箱(18)內部安裝有鼓形濾筒(19)，脫水箱(18)內部儲存有冷卻液，所述冷卻液對半導體片進行降溫清洗。

2.根據權利要求1所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述打磨罩(3)的底部開設有兩道呈十字相交的槽，每道槽內部滑動安裝有一個伺服電機(4)，每個所述伺服電機(4)上安裝有打磨輪(5)，所述打磨罩(3)的內部設置有菱形塊(6)、曲柄(7)，所述菱形塊(6)與兩個伺服電機(4)均轉動連接，所述曲柄(7)的一端與菱形塊(6)轉動連接，曲柄(7)的另一端與機械臂(2)相連接。

3.根據權利要求1所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述夾持機構包括研磨臺(14)，所述研磨臺(14)的上表面設置有一層密封墊(26)，研磨臺(14)的內部中空，研磨臺(14)中空部位與密封墊(26)之間的位置處滑動設置有若干個六角銷(15)，若干個所述六角銷(15)呈蜂窩狀布置，若干個六角銷(15)貫穿密封墊(26)，每個六角銷(15)的底部設置有彈簧，所述研磨臺(14)底部還安裝有小型真空泵，所述小型真空泵的抽氣端與研磨臺(14)中空部位連通。

4.根據權利要求3所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述夾持機構包括中心主軸(10)、動力電機(9)，所述中心主軸(10)轉動安裝在外套筒(8)中部，所述動力電機(9)位于外套筒(8)底部，動力電機(9)上設置有主動錐齒輪，所述中心主軸(10)上設置有從動錐齒輪，所述主動錐齒輪與從動錐齒輪嚙合傳動。

5.根據權利要求4所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述中心主軸(10)的內部轉動設置有上平衡桿(11)、下平衡桿(12)，所述上平衡桿(11)設置于下平衡桿(12)上方，上平衡桿(11)與下平衡桿(12)空間垂直，上平衡桿(11)與下平衡桿(12)的兩端均連接有重塊，上平衡桿(11)的兩端均對稱設置有傳動臂(13)，一對所述傳動臂(13)與上平衡桿(11)轉動連接，一對傳動臂(13)遠離上平衡桿(11)的一端與研磨臺(14)的底部球副連接；

所述下平衡桿(12)上也設置有一對傳動臂(13)，位于下平衡桿(12)上一對所述傳動臂(13)的設置方式與上平衡桿(11)上傳動臂(13)的設置方式相同，下平衡桿(12)上的一對傳動臂(13)高度高于上平衡桿(11)上傳動臂(13)的高度。

6.根據權利要求5所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述外套筒(8)的下部開設有傾斜的流槽，所述流槽低的一端連接有抽液管(16)，所述研磨臺(14)的上套設有隔水膠套(25)，所述隔水膠套(25)的底部位于流槽中。

7.根據權利要求1所述的一種具有清洗過濾功能的光伏半導體加工裝置，其特征在于：所述脫水箱(18)的外部設置有水泵(17)，所述水泵(17)的轉子上同軸連接有主動鏈輪，所述鼓形濾筒(19)靠近抽液管(16)位置處外側設置有從動鏈輪，所述主動鏈輪與從動鏈輪之間連接有鏈條(20)，所述鼓形濾筒(19)靠近抽液管(16)位置處內部安裝有一個葉輪(21)，所述葉輪(21)轉動設置在抽液管(16)中。