[發明專利]薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備及清潔方法

在審

• 申請號: 202310426311.3
• 申請日: 2023-04-20
• 公開（公告）號: CN116422651A
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 陳緯銘
• 申請（專利權）人: 廈門通富微電子有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B5/04;B08B13/00;B01D46/10
• 代理公司: 北京中知法苑知識產權代理有限公司 11226
• 代理人: 李明;趙吉陽

本公開實施例提供一種薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備及清潔方法，該設備包括承載臺、激光發射源、保護罩和集塵裝置，承載臺用于承載待清潔電路卷帶；激光發射源可移動地設置于承載臺上方，用于將激光束發射至待清潔電路卷帶表面的目標清潔區域，以將目標清潔區域的污染物清除；保護罩罩設于激光發射源，用于防止激光發射源發射的激光束外溢；集塵裝置用于收集激光束將目標清潔區域的污染物進行清除時產生的揮發物和粉塵。該裝置可以有效清除線路區污染物，不會破壞原線路電性功能，不會造成線路破壞的風險或移除物堵塞線路間等問題；該清潔方法不會產生其他的物質，不會引起待清潔電路卷帶表面的成分變化，保證了電路卷帶線路的電性功能。

技術領域

本公開實施例屬于半導體器件清潔技術領域，具體涉及一種薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備及清潔方法。

背景技術

顯示屏卷帶驅動芯片封裝后會進行可靠度試驗檢核封裝品質，但經過高溫/高濕/高壓的作動下，卷帶線路測試區(墊)上有殘留氧化物或其他污染物，致使在進行可靠性后的電性復檢造成異常，影響工程品審定。

目前采用酒精擦拭或細砂紙研磨對測試區內的污染物進行清除，但是采用酒精擦拭或細砂紙研磨是無法有效清除可靠性試驗后測試區內污染物，且過程中可能有造成線路破壞的風險或移除物堵塞線路間等問題。

針對上述問題，有必要提出一種設計合理且有效解決上述問題的薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備及清潔方法。

發明內容

本公開實施例旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提供一種薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備及清潔方法。

本公開實施例的一方面提供一種薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔設備，所述清潔設備包括：

承載臺，用于承載待清潔電路卷帶；

激光發射源，可移動地設置于所述承載臺上方，所述激光發射源用于將激光束發射至所述待清潔電路卷帶表面的目標清潔區域，以將所述目標清潔區域的污染物清除；

保護罩，罩設于所述激光發射源，以在所述承載臺的上方形成保護腔室，所述保護罩用于防止所述激光發射源發射的所述激光束外溢；

集塵裝置，所述集塵裝置與所述保護腔室相連通，用于收集所述激光束將所述目標清潔區域的污染物進行清除時產生的揮發物和粉塵。

可選的，所述集塵裝置包括真空吸塵件和過濾件；

所述真空吸塵件與所述保護腔室相連通，用于將所述揮發物和粉塵吸入所述集塵裝置；

所述過濾件與所述真空吸塵件連接，用于將吸入的所述揮發物和粉塵進行過濾。

可選的，所述激光清潔設備還包括設置于所述承載臺的冷卻裝置；

所述冷卻裝置，用于驅走所述激光束對所述目標區域進行激光掃描清除污染物時產生的熱量。

可選的，所述冷卻裝置包括氣冷管線或者水冷管線。

本公開實施例的另一方面提供一種薄膜覆晶封裝結構電路卷帶激光清潔方法，采用前文所述的設備進行清潔，所述清潔方法包括：

根據待清潔電路卷帶表面目標清潔區域的清潔需求，初始化所述激光發射源的激光束的參數信息；

將所述待清潔電路卷帶固定于所述承載臺上；

調整所述激光發射源的位置，使得所述目標清潔區域位于所述激光束的掃描范圍內；

控制所述激光源將所述激光束發射至所述目標清潔區域進行激光掃描，以將所述目標清潔區域的污染物清除；其中，

在所述激光束對所述目標清潔區域進行激光掃描清除污染物時，所述集塵裝置收集污染物清除時產生的揮發物和粉塵。