[發(fā)明專利]一種用于半導體廠房的潔凈室

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310369655.5
• 申請日: 2023-04-07
• 公開（公告）號: CN116379543A
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王新河;王寧;吳凱龍;劉增樹;許穎超;張海強;李旭光
• 申請（專利權(quán)）人: 中電環(huán)宇（北京）建設(shè)工程有限公司
• 主分類號: F24F8/108
• 分類號: F24F8/108;F24F13/28;F24F13/02
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 馬環(huán)麗

本申請公開了一種用于半導體廠房的潔凈室，屬于潔凈室的技術(shù)領(lǐng)域，其包括潔凈工作室,所述潔凈工作室包括用于高精度加工的潔凈工作區(qū)以及用于半導體前制程加工的加工服務區(qū),所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務區(qū)之間設(shè)置有分隔區(qū)，所述分隔區(qū)內(nèi)間隔設(shè)置有擋簾，所述擋簾沿所述分隔區(qū)的長度方向布置，相鄰所述擋簾相互遠離的兩側(cè)均設(shè)置有用于過濾空氣的過濾組件，所述過濾組件包括沿所述分隔區(qū)間隔布置的第一過濾網(wǎng)以及第二過濾網(wǎng)，所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務區(qū)內(nèi)均設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第一通風系統(tǒng),所述分隔區(qū)設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第二通風系統(tǒng)。本申請具有提高潔凈室內(nèi)的空氣潔凈度的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請涉及潔凈室的技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于半導體廠房的潔凈室。

背景技術(shù)

半導體指在常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料，在消費電子、通信系統(tǒng)以及醫(yī)療儀器等領(lǐng)域具有廣泛應用，操作人員通常在潔凈室內(nèi)生產(chǎn)制造半導體產(chǎn)品。潔凈室可以有效控制室內(nèi)或者廠房內(nèi)的空氣潔凈度、溫濕度以及氣流走向等影響生產(chǎn)作業(yè)進程的因素，能夠滿足半導體工業(yè)對于作業(yè)環(huán)境的嚴格要求。

相關(guān)技術(shù)中,潔凈室一般包括有大型潔凈空間，大型潔凈空間內(nèi)設(shè)置有新風輸送系統(tǒng)和排氣系統(tǒng)，大型潔凈空間由上至下包括有架構(gòu)空間、潔凈空間以及循環(huán)空間，且大型潔凈空間內(nèi)具有中央走道和至少一條生產(chǎn)走道。生產(chǎn)走道的四周圍設(shè)有隔板，使得架構(gòu)空間、潔凈空間在生產(chǎn)走道處的部分構(gòu)成獨立的潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)，且生產(chǎn)走道的天花板下設(shè)置有至少一個通風管，構(gòu)成潔凈微環(huán)境結(jié)構(gòu)回風通道。

針對上述相關(guān)技術(shù)，發(fā)明人認為工作人員在移動半導體產(chǎn)品的過程中，需要多次從潔凈室的工作區(qū)進入生產(chǎn)走道，工作區(qū)內(nèi)少量的廢氣或者腐蝕性氣體容易附著在工作人員的服飾表面，進而隨著工作人員進入生產(chǎn)走道或者其他干凈區(qū)域，進而存在影響潔凈空間內(nèi)空氣的潔凈度的可能性。

發(fā)明內(nèi)容

為了提高潔凈室內(nèi)的空氣潔凈度，本申請?zhí)峁┮环N用于半導體廠房的潔凈室。

本申請?zhí)峁┑囊环N用于半導體廠房的潔凈室采用如下的技術(shù)方案：

一種用于半導體廠房的潔凈室，包括潔凈工作室,所述潔凈工作室包括用于高精度加工的潔凈工作區(qū)以及用于半導體前制程加工的加工服務區(qū),所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務區(qū)之間設(shè)置有分隔區(qū)，所述分隔區(qū)內(nèi)間隔設(shè)置有擋簾，所述擋簾沿所述分隔區(qū)的長度方向布置，相鄰所述擋簾相互遠離的兩側(cè)均設(shè)置有用于過濾空氣的過濾組件，所述過濾組件包括沿所述分隔區(qū)間隔布置的第一過濾網(wǎng)以及第二過濾網(wǎng)，所述潔凈工作區(qū)與所述加工服務區(qū)內(nèi)均設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第一通風系統(tǒng),所述分隔區(qū)設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第二通風系統(tǒng)。

通過采用上述技術(shù)方案，擋簾的設(shè)置使得潔凈工作區(qū)與加工服務區(qū)的空氣不能相互流通,且擋簾與第一過濾網(wǎng)、第二過濾網(wǎng)配合形成分割區(qū)內(nèi)的獨立空間，當操作人員從潔凈工作區(qū)或者加工服務區(qū)進入分隔區(qū)時，操作人員先通過過濾組件進入分隔區(qū)內(nèi)的獨立空間,此時,第一通風系統(tǒng)配合第二通風系統(tǒng)有利于清潔操作人員,從而防止廢氣或者腐蝕性氣體隨著操作人員移動帶入分隔區(qū),從而保證外部大型潔凈空間內(nèi)空氣的潔凈度。

優(yōu)選的,?所述過濾組件還包括間隔安裝于所述分隔區(qū)內(nèi)的第一導向架以及第二導向架,所述第一導向架沿自身長度方向滑動設(shè)置有多個用于安裝所述第一過濾網(wǎng)的第一定位框,所述第二導向架沿自身長度方向滑動設(shè)置有多個用于安裝所述第二過濾網(wǎng)的第二定位框,且所述第一過濾網(wǎng)與所述第二過濾網(wǎng)相鄰的側(cè)邊重疊。

通過采用上述技術(shù)方案，第一定位框以及第二定位框的設(shè)置方便操作人員更換第一過濾網(wǎng)以及第二過濾網(wǎng)，第一導向架以及第二導向架的設(shè)置使得操作人員能夠分別移動第一定位框以及第二定位框，進而方便操作人員自由進入分隔區(qū)。