[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310369655.5
• 申請(qǐng)日: 2023-04-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116379543A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王新河;王寧;吳凱龍;劉增樹(shù);許穎超;張海強(qiáng);李旭光
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中電環(huán)宇（北京）建設(shè)工程有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F24F8/108
• 分類(lèi)號(hào): F24F8/108;F24F13/28;F24F13/02
• 代理公司: 北京維正專(zhuān)利代理有限公司 11508
• 代理人: 馬環(huán)麗

1.一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，包括潔凈工作室(1),所述潔凈工作室(1)包括用于高精度加工的潔凈工作區(qū)(11)以及用于半導(dǎo)體前制程加工的加工服務(wù)區(qū)(12),所述潔凈工作區(qū)(11)與所述加工服務(wù)區(qū)(12)之間設(shè)置有分隔區(qū)(13)，其特征在于：所述分隔區(qū)(13)內(nèi)間隔設(shè)置有擋簾(2)，所述擋簾(2)沿所述分隔區(qū)(13)的長(zhǎng)度方向布置，相鄰所述擋簾(2)相互遠(yuǎn)離的兩側(cè)均設(shè)置有用于過(guò)濾空氣的過(guò)濾組件(3)，所述過(guò)濾組件(3)包括沿所述分隔區(qū)(13)間隔布置的第一過(guò)濾網(wǎng)(33)以及第二過(guò)濾網(wǎng)(34)，所述潔凈工作區(qū)(11)與所述加工服務(wù)區(qū)(12)內(nèi)均設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第一通風(fēng)系統(tǒng)(4),所述分隔區(qū)(13)設(shè)置有用于輸送潔凈空氣的第二通風(fēng)系統(tǒng)(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述過(guò)濾組件(3)還包括間隔安裝于所述分隔區(qū)(13)內(nèi)的第一導(dǎo)向架(31)以及第二導(dǎo)向架(32),所述第一導(dǎo)向架(31)沿自身長(zhǎng)度方向滑動(dòng)設(shè)置有多個(gè)用于安裝所述第一過(guò)濾網(wǎng)(33)的第一定位框(35),所述第二導(dǎo)向架(32)沿自身長(zhǎng)度方向滑動(dòng)設(shè)置有多個(gè)用于安裝所述第二過(guò)濾網(wǎng)(34)的第二定位框(36),且所述第一過(guò)濾網(wǎng)(33)與所述第二過(guò)濾網(wǎng)(34)相鄰的側(cè)邊重疊。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述潔凈工作室(1)的內(nèi)頂面上安裝有吊頂板(14)，所述潔凈工作室(1)的內(nèi)底面上設(shè)置有基座(15)，所述吊頂板(14)上開(kāi)設(shè)有第一安裝槽(16)，所述基座(15)上開(kāi)設(shè)有用于與所述第一安裝槽(16)相對(duì)應(yīng)的第二安裝槽(17)，所述第一導(dǎo)向架(31)包括安裝于所述第一安裝槽(16)內(nèi)端面上的第一導(dǎo)向桿(311)以及安裝于所述第二安裝槽(17)內(nèi)端面上的第二導(dǎo)向桿(312)，所述第二導(dǎo)向架(32)包括安裝于所述第一安裝槽(16)內(nèi)端面上的第三導(dǎo)向桿(321)以及安裝于所述第二安裝槽(17)內(nèi)端面上的第四導(dǎo)向桿(322)，所述第一導(dǎo)向桿(311)與所述第三導(dǎo)向桿(321)并排布置，所述第二導(dǎo)向桿(312)與所述第四導(dǎo)向桿(322)并排布置。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述基座(15)內(nèi)開(kāi)設(shè)有收集空腔(64)，所述基座(15)位于所述分隔區(qū)(13)的上表面開(kāi)設(shè)有多個(gè)用于與所述收集空腔(64)相連通的進(jìn)氣孔(65)，所述基座(15)內(nèi)設(shè)置有用于排出所述收集空腔(64)內(nèi)氣體的排風(fēng)機(jī)(67)，所述排風(fēng)機(jī)(67)上設(shè)置有用于與所述收集空腔(64)相連通的負(fù)壓風(fēng)機(jī)(66)，所述負(fù)壓風(fēng)機(jī)(66)與所述排風(fēng)機(jī)(67)之間安裝有空氣過(guò)濾器(68)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述潔凈工作區(qū)(11)以及所述加工服務(wù)區(qū)(12)內(nèi)均設(shè)置有多個(gè)用于分隔空間的分隔組件(5)，所述分隔組件(5)包括安裝于所述基座(15)上的橫向板(51)以及固定連接于所述橫向板(51)上的縱向板(52)，所述橫向板(51)與所述縱向板(52)的長(zhǎng)度方向相互垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述第一通風(fēng)系統(tǒng)(4)包括設(shè)置于所述吊頂板(14)內(nèi)的排風(fēng)箱(41)以及用于與高壓氣源相連通的通風(fēng)管(42)，所述通風(fēng)管(42)與所述排風(fēng)箱(41)相連通，所述排風(fēng)箱(41)內(nèi)間隔安裝有第一出風(fēng)管(43)、第二出風(fēng)管(44)，所述第一出風(fēng)管(43)、第二出風(fēng)管(44)上均安裝有用于過(guò)濾空氣的化學(xué)過(guò)濾器(45)，所述第一出風(fēng)管(43)的內(nèi)底面開(kāi)設(shè)有用于朝向靠近所述分隔區(qū)(13)方向吹風(fēng)的第一排風(fēng)孔(46)，所述第二出風(fēng)管(44)的內(nèi)底面開(kāi)設(shè)有用于朝向背離所述分隔區(qū)(13)方向吹風(fēng)的第二排風(fēng)孔(47)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述基座(15)位于所述潔凈工作區(qū)(11)以及所述加工服務(wù)區(qū)(12)的部分上開(kāi)設(shè)有換氣空腔(19)，所述換氣空腔(19)的內(nèi)頂面上開(kāi)設(shè)有換氣孔(191)，且所述縱向板(52)內(nèi)開(kāi)設(shè)有用于與所述排風(fēng)箱(41)相連通的貫穿通道(53)，且所述貫穿通道(53)與所述換氣空腔(19)相連通。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種用于半導(dǎo)體廠房的潔凈室，其特征在于：所述通風(fēng)管(42)上設(shè)置有多個(gè)用于連通所述排風(fēng)箱(41)的連通管(48)，所述縱向板(52)位于所述排風(fēng)箱(41)內(nèi)的端部上固定連接有擋風(fēng)板(54)，所述擋風(fēng)板(54)與所述連通管(48)一一對(duì)應(yīng)，所述縱向板(52)位于排風(fēng)箱(41)內(nèi)的端部?jī)蓚?cè)連通有出氣管(55)，所述出氣管(55)傾斜布置。