[發明專利]芯片取放機構和芯片測試機在審
| 申請號: | 202310359739.0 | 申請日: | 2023-04-06 |
| 公開(公告)號: | CN116344432A | 公開(公告)日: | 2023-06-27 |
| 發明(設計)人: | 趙山;廉哲;吳永紅;黃建軍 | 申請(專利權)人: | 蘇州聯訊儀器股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L21/66 |
| 代理公司: | 蘇州科旭知識產權代理事務所(普通合伙) 32697 | 代理人: | 王健 |
| 地址: | 215007 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 機構 測試 | ||
1.一種芯片取放機構,包括:本體(1)和安裝于本體(1)上的吸嘴桿(2),所述本體(1)上方設置有一夾持條(3),該夾持條(3)的前端向外伸出本體(1)并與吸嘴桿(2)的上端夾持連接,所述本體(1)的前端面上并位于吸嘴桿(2)兩側設置有導向組件,其特征在于:所述夾持條(3)的后端與一弧形齒條(14)連接,該弧形齒條(14)與安裝于電機(13)輸出軸上的齒輪(16)嚙合連接,且所述弧形齒條(14)的圓心與吸嘴桿(2)的軸心重疊;
所述夾持條(3)與本體(1)一側的下部之間連接有一豎直設置的第一彈簧(41),所述夾持條(3)與本體(1)另一側的上部之間連接有一與水平方向呈傾斜設置的第二彈簧(42),該第二彈簧(42)一端靠近弧形齒條(14)并位于弧形齒條(14)的下方,另一端連接到夾持條(3)遠離弧形齒條(14)的一端,所述第二彈簧(42)與夾持條(3)連接的一端高于其另一端,所述第二彈簧(42)的拉力大于第一彈簧(41)的拉力;
所述本體(1)的前端面上開設有一安裝孔(5),一水平設置的壓持座(6)的一端嵌入所述安裝孔(5)內,所述壓持座(6)的另一端位于本體(1)外側并豎直安裝有一壓持軸承(61),所述壓持座(6)上表面并位于壓持軸承(61)與本體(1)之間開設有一供豎直設置的吸嘴桿(2)穿過的通孔(62),所述壓持座(6)位于安裝孔(5)內的一端與本體(1)之間通過一處于拉伸狀態的壓持彈簧(7)連接,使得壓持軸承(61)的外圈表面與吸嘴桿(2)緊密貼合,所述壓持彈簧(7)的拉力大于第一彈簧(41)的拉力。
2.根據權利要求1所述的芯片取放機構,其特征在于:所述壓持座(6)內、本體(1)內各安裝有一銷釘(9),所述壓持彈簧(7)兩端的掛鉤部各自與對應的銷釘(9)扣接連接。
3.根據權利要求1所述的芯片取放機構,其特征在于:所述夾持條(3)的后端與弧形齒條(14)通過一連桿(15)連接。
4.根據權利要求1所述的芯片取放機構,其特征在于:所述導向組件包括至少兩對軸承。
5.根據權利要求4所述的芯片取放機構,其特征在于:所述本體(1)前端面上具有至少2個沿豎直方向間隔設置的凸塊,每個所述凸塊上安裝有一對軸承,每對軸承中的左軸承(11)水平安裝于凸塊左側,每對軸承中的右軸承(12)水平安裝于凸塊右側。
6.根據權利要求4所述的芯片取放機構,其特征在于:所述本體(1)前端面上的左右側分別具有左斜面區和右斜面區,每對軸承中的左軸承(11)沿豎直方向間隔地設置于本體(1)的左斜面區上,每對軸承中的右軸承(12)沿豎直方向間隔地設置于本體(1)的右斜面區上。
7.根據權利要求4所述的芯片取放機構,其特征在于:每對軸承中左軸承(11)、右軸承(12)之間形成一夾持通道(10),所述吸嘴桿(2)位于該夾持通道(10)內。
8.一種芯片的測試機,包括:基板(100)和安裝于基板(100)上的測試機構(200)、上料機構(300),所述上料機構(300)上方設置有一垂直于上料機構(300)的上料方向設置的運料機構(400),其特征在于:所述運料機構(400)上通過一轉接座(401)安裝有如權利要求1~7中任意一項所述的芯片取放機構。
9.根據權利要求8所述的芯片的測試機,其特征在于:所述電機(13)安裝于轉接座(401)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





