[發明專利]一種可穩定鍍膜的鍍膜機

在審

• 申請號: 202310356311.0
• 申請日: 2023-04-06
• 公開（公告）號: CN116426885A
• 公開（公告）日: 2023-07-14
• 發明（設計）人: 盧成;王偉
• 申請（專利權）人: 成都金鴻泰醫療設備有限公司
• 主分類號: C23C14/30
• 分類號: C23C14/30;C23C14/54
• 代理公司: 成都其高專利代理事務所(特殊普通合伙) 51244
• 代理人: 賈波

1.一種可穩定鍍膜的鍍膜機，包括公轉夾具（1）、真空室腔體（6）、真空室門（9）、總控系統，在真空室腔體（6）內設置有電子束蒸發源（4）、修正板系統，其特征在于：所述修正板系統包括可獨立工作的內側修正系統和外側修正系統，所述電子束蒸發源（4）通過升降系統設置在真空室腔體（6）內，電子束蒸發源（4）所在蒸發平面（5）能夠根據鍍膜膜厚形成狀況進行升降；在所述鍍膜機上還設置有用于監測膜厚情況和蒸發平面（5）工作位置的監測系統，且監測系統分別與內側修正系統、外側修正系統及升降系統相連接。

2.根據權利要求1所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述監測系統包括單片機、信號處理電路A、第一紅外傳感器、信號處理電路B、第二紅外傳感器、信號處理電路C及第三紅外傳感器，所述單片機分別連接信號處理電路A、信號處理電路B及信號處理電路C，信號處理電路A連接第一紅外傳感器，信號處理電路B連接第二紅外傳感器，信號處理電路C連接第三紅外傳感器，單片機連接總控系統；所述第一紅外傳感器設置在公轉夾具（1）的中心頂點；所述第二紅外傳感器設置在公轉夾具（1）上，且位于內側修正系統的上方；所述第三二紅外傳感器設置在公轉夾具（1）上，且位于外側修正系統的上方。

3.根據權利要求1所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述內側修正系統包括內側修正板（2）、驅動電機（10）及轉接軸（11），驅動電機（10）的輸出軸（12）連接轉接軸（11），轉接軸（11）連接內側修正板（2），驅動電機（10）通過第一電機驅動控制電路連接總控系統；所述外側修正系統包括外側修正板（3）、驅動電機（10）及轉接軸（11），驅動電機（10）的輸出軸（12）連接轉接軸（11），轉接軸（11）連接外側修正板（3），驅動電機（10）通過第一電機驅動控制電路連接總控系統。

4.根據權利要求3所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述內側修正板（2）和外側修正板（3）能同步升降或異步升降或一升一降；所述電子束蒸發源（4）在蒸發兩種不同折射率的材料時，內側修正板（2）和外側修正板（3）交替升降。

5.根據權利要求3所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述內側修正板（2）和外側修正板（3）可進行材料更換。

6.根據權利要求3所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：在所述真空室腔體（6）內，所述內側修正板（2）遠離真空室門（9）設置，所述外側修正板（3）靠近真空室門（9）設置。

7.根據權利要求1~6任一項所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述升降系統包括升降器（13）、氣源系統及升降機控制電路，升降機控制電路連接氣源系統，氣源系統連接升降器（13），升降器（13）連接電子束蒸發源（4），升降機控制電路連接總控系統。

8.根據權利要求7所述的一種可穩定鍍膜的鍍膜機，其特征在于：所述升降器（13）包括缸體（15）及軸桿（14），軸桿（14）連接電子束蒸發源（4），氣源系統通過進氣管和出氣管連接缸體（15）。