[發明專利]光刻機的內部環境采樣裝置

在審

• 申請號: 202310345147.3
• 申請日: 2023-03-31
• 公開（公告）號: CN116147998A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 王炯;沈璐;鄭嘉祺;湯金輝;劉毅
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G01N1/24
• 分類號: G01N1/24
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鄭瑋

本發明公開了一種光刻機的內部環境采樣裝置，屬于環境監測技術領域，該光刻機的內部環境采樣裝置，用于對光刻機內部的TVOC含量進行采樣，包括采樣泵、第一硅膠軟管和Tenax?TA采樣管，第一硅膠軟管的一端與采樣泵連接，另一端與Tenax?TA采樣管連接，Tenax?TA采樣管遠離第一硅膠軟管的一端通過第二硅膠軟管連接光刻機的采樣口。通過特定尺寸和特定材質的采樣管和連接頭對光刻機進行采樣，盡量避免了傳統采樣手法中硅膠采樣管和封瓶膜等采樣輔材的使用，保證了光刻機內部環境TVOC采樣的有效性和準確性。

技術領域

本發明涉及環境監測技術領域，特別涉及一種光刻機的內部環境采樣裝置。

背景技術

TVOC是揮發性有機化合物(votatileOrganicCompound)的英文簡稱，總揮發性有機物TVOC是由一種或多種碳原子組成，容易在室溫和正常大氣壓下蒸發的化合物的總稱，它們是存在于室內環境中的無色氣體。其中主要氣體成分有烷、芳烴、烯、鹵、酯、醛等，會刺激眼睛和呼吸道，傷害人的肝、腎、大腦和神經系統。半導體行業中，工廠內通常會安裝多個監測點用于監測TVOC的含量，防止TVOC的含量高于限定值。在此條件下，研究光刻機內部環境的TVOC含量對于晶圓刻蝕過程的影響和控制工廠環境具有重要意義。

但現用的只有針對外部環境進行TVOC采樣的裝置和方法：參考圖1的示意圖，Tenax-TA采樣管(Tenax-TA采樣管是一種內填tenax吸附劑的玻璃管或內壁光滑的不銹鋼管，Tenax-TA采樣管吸附劑化學名：2，6二苯呋喃多孔聚合物)300通過硅膠軟管200與采樣泵100進行連接，并用封瓶膜400對Tenax-TA采樣管300和硅膠軟管200的連接處進行包裹，防止漏氣。對環境進行采樣方法就是采樣泵100在固定流量和固定抽力的模式下進行運作，勻速地往Tenax-TA采樣管300中抽取環境空氣。但是直接使用傳統的環境采樣方法難以實現對光刻機設備內部進行采樣，首先，光刻機內部缺少存放安置采樣泵的空間，其次，光刻機內部腔室密閉，并且對腔室的環境要求高，而采樣泵的放入會引入雜質，破壞腔室環境，污染晶圓和光學鏡片等元件。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光刻機的內部環境采樣裝置，以解決難以對光刻機內部進行TVOC采樣的問題。

為解決上述技術問題，本發明提供一種光刻機的內部環境采樣裝置，用于對所述光刻機內部的TVOC含量進行采樣，包括采樣泵、第一硅膠軟管和Tenax-TA采樣管，所述第一硅膠軟管的一端與所述采樣泵連接，另一端與所述Tenax-TA采樣管連接，并在所述第一硅膠軟管與所述Tenax-TA采樣管接口處的外部包裹第一封瓶膜，所述Tenax-TA采樣管遠離所述第一硅膠軟管的一端通過第二硅膠軟管連接所述光刻機的采樣口，所述第二硅膠軟管和所述Tenax-TA采樣管接口處的外部包裹有第二封瓶膜。

優選地，所述第二硅膠軟管遠離所述Tenax-TA采樣管的一端插接在所述光刻機的采樣口中，且所述第二硅膠軟管和所述光刻機的采樣口的接口處包裹有第三封瓶膜。

優選地，還包括PFA采樣管，所述PFA采樣管的一端插接入所述光刻機的采樣口，所述PFA采樣管的另一端與所述第二硅膠軟管連接，且兩者的連接處包裹有第三封瓶膜。

本發明還提供一種光刻機的內部環境采樣裝置，于對所述光刻機內部的TVOC含量進行采樣，包括采樣泵、軟管、Tenax-TA采樣管和連接頭，所述采樣泵通過所述軟管與所述Tenax-TA采樣管連通，所述連接頭的一端與所述Tenax-TA采樣管遠離所述軟管的一端連接，另一端裝配有與所述連接頭同一材質的采樣管，所述采樣管用于連通所述連接頭和所述光刻機的采樣口。

優選地，所述連接頭與所述采樣管均采用PFA材質。