[發明專利]光刻機的內部環境采樣裝置在審
| 申請號： | 202310345147.3 | 申請日： | 2023-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN116147998A | 公開（公告）日： | 2023-05-23 |
| 發明（設計）人： | 王炯;沈璐;鄭嘉祺;湯金輝;劉毅 | 申請（專利權）人： | 上海華力微電子有限公司 |
| 主分類號： | G01N1/24 | 分類號： | G01N1/24 |
| 代理公司： | 上海思捷知識產權代理有限公司 31295 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201314*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光刻 內部 環境 采樣 裝置 | ||
1.一種光刻機的內部環境采樣裝置，用于對所述光刻機內部的TVOC含量進行采樣，其特征在于，包括采樣泵、第一硅膠軟管和Tenax-TA采樣管，所述第一硅膠軟管的一端與所述采樣泵連接，另一端與所述Tenax-TA采樣管連接，并在所述第一硅膠軟管與所述Tenax-TA采樣管接口處的外部包裹第一封瓶膜，所述Tenax-TA采樣管遠離所述第一硅膠軟管的一端通過第二硅膠軟管連接所述光刻機的采樣口，所述第二硅膠軟管和所述Tenax-TA采樣管接口處的外部包裹有第二封瓶膜。
2.如權利要求1所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述第二硅膠軟管遠離所述Tenax-TA采樣管的一端插接在所述光刻機的采樣口中，且所述第二硅膠軟管和所述光刻機的采樣口的接口處包裹有第三封瓶膜。
3.如權利要求1所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，還包括PFA采樣管，所述PFA采樣管的一端插接入所述光刻機的采樣口，所述PFA采樣管的另一端與所述第二硅膠軟管連接，且兩者的連接處包裹有第三封瓶膜。
4.一種光刻機的內部環境采樣裝置，用于對所述光刻機內部的TVOC含量進行采樣，其特征在于，包括采樣泵、軟管、Tenax-TA采樣管和連接頭，所述采樣泵通過所述軟管與所述Tenax-TA采樣管連通，所述連接頭的一端與所述Tenax-TA采樣管遠離所述軟管的一端連接，另一端裝配有與所述連接頭同一材質的采樣管，所述采樣管用于連通所述連接頭和所述光刻機的采樣口。
5.如權利要求4所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述連接頭與所述采樣管均采用PFA材質。
6.如權利要求4所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述連接頭包括連接管和設置在所述連接管兩端的兩個卡合件，所述連接管兩端的內壁分別與所述采樣管的外壁和所述Tenax-TA采樣管的外壁連接，所述卡合件分別嵌入所述采樣管和所述Tenax-TA采樣管位于所述連接管中的一段，其中，所述卡合件上還設有貫穿孔，以通過所述貫穿孔與所述連接管、所述Tenax-TA采樣管和所述采樣管的內腔形成氣流通道。
7.如權利要求6所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述卡合件包括圓柱段和斜坡，所述圓柱段的兩端分別連接有斜坡，所述圓柱段的外徑不小于所述斜坡的外徑，其中，所述貫穿孔沿所述圓柱段的軸向方向開設。
8.如權利要求7所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述連接管的兩端均可拆卸連接有限位帽，所述限位帽上開設有與所述連接管同軸的限位孔，用以使所述Tenax-TA采樣管或所述采樣管穿過，所述限位孔的直徑小于所述圓柱段的外徑，以將所述卡合件壓合在所述連接管的內部。
9.如權利要求8所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述連接管的外壁與所述限位帽的內壁螺紋連接。
10.如權利要求8所述的光刻機的內部環境采樣裝置，其特征在于，所述連接管的內腔中具有至少一個限位凸環，所述限位凸環的端面和所述卡合件的端部可分離式連接，以使所述斜坡至少部分地露出所述連接管。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華力微電子有限公司，未經上海華力微電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202310345147.3/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
