[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備的故障監(jiān)測(cè)預(yù)警方法及系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310335566.9
• 申請(qǐng)日: 2023-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN116046078A
• 公開（公告）日: 2023-05-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃敏;劉建明;李勝亭;彭威;匡華軍;陳華明;謝衛(wèi)軍;任建輝;譚億求;劉凡國(guó);焦海濤
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞市楷德精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): G01D21/02
• 分類號(hào): G01D21/02
• 代理公司: 深圳市國(guó)高專利代理事務(wù)所(普通合伙) 44731
• 代理人: 陳冠豪

1.一種半導(dǎo)體清洗設(shè)備的故障監(jiān)測(cè)預(yù)警方法，其特征在于，所述方法應(yīng)用于故障監(jiān)測(cè)預(yù)警系統(tǒng)，所述故障監(jiān)測(cè)預(yù)警系統(tǒng)包括機(jī)械手監(jiān)測(cè)模塊、化學(xué)藥液傳輸模塊、清洗腔室監(jiān)測(cè)模塊、水循環(huán)監(jiān)測(cè)模塊，所述方法包括：

通過(guò)機(jī)械手監(jiān)測(cè)模塊與機(jī)械手監(jiān)測(cè)設(shè)備連接，獲取機(jī)械手移動(dòng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)；

通過(guò)化學(xué)藥液傳輸模塊與化學(xué)藥液配置執(zhí)行設(shè)備連接，獲得化學(xué)藥液傳輸數(shù)據(jù)；

通過(guò)清洗腔室監(jiān)測(cè)模塊與清洗腔室液體監(jiān)測(cè)設(shè)備連接，獲取清洗腔室的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)；

通過(guò)水循環(huán)監(jiān)測(cè)模塊與水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)設(shè)備連接，獲得水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)；

將所述機(jī)械手移動(dòng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)、化學(xué)藥液傳輸數(shù)據(jù)、清洗腔室的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)、水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)作為輸入變量，輸入特征分析模塊進(jìn)行各部件運(yùn)行特征分析及各部件融合特征分析，確定各部件清洗運(yùn)行特征；

將所述各部件清洗運(yùn)行特征輸入運(yùn)行特征預(yù)測(cè)模型，獲得各部件預(yù)測(cè)結(jié)果；

當(dāng)所述各部件清洗運(yùn)行特征、各部件預(yù)測(cè)結(jié)果有任一結(jié)果達(dá)到預(yù)警條件時(shí)，根據(jù)預(yù)警發(fā)送規(guī)則發(fā)送預(yù)警信息。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

根據(jù)所述機(jī)械手移動(dòng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，提取機(jī)械手移動(dòng)軌跡、機(jī)械手運(yùn)動(dòng)振幅、工作時(shí)間；

根據(jù)所述機(jī)械手移動(dòng)軌跡、機(jī)械手運(yùn)動(dòng)振幅、工作時(shí)間進(jìn)行運(yùn)行特征提取，獲得機(jī)械手運(yùn)行特征集；

基于工作時(shí)間對(duì)應(yīng)關(guān)系，對(duì)所述機(jī)械手運(yùn)行特征集進(jìn)行對(duì)齊處理，構(gòu)建機(jī)械手運(yùn)行特征列表。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

根據(jù)所述化學(xué)藥液傳輸數(shù)據(jù)，獲得化學(xué)藥液成分、濃度要求、藥液補(bǔ)給信息，其中，藥液補(bǔ)給信息包括補(bǔ)給時(shí)間、補(bǔ)給量；

根據(jù)所述化學(xué)藥液成分、濃度要求，進(jìn)行清洗目標(biāo)特征分析，確定藥液清洗特征；

根據(jù)所述藥液清洗特征、藥液補(bǔ)給信息進(jìn)行補(bǔ)給匹配關(guān)系分析，確定補(bǔ)給匹配特征；

基于所述藥液清洗特征、補(bǔ)給匹配特征，獲得化學(xué)藥液運(yùn)行特征集。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

根據(jù)所述清洗腔室的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，提取超聲振幅信息、清洗流程信息、溫度信息、液位信息、清洗元件信息及對(duì)應(yīng)的化學(xué)藥液信息；

基于所述清洗流程信息，建立所述超聲振幅信息、溫度信息、液位信息、清洗元件信息、化學(xué)藥液信息與所述清洗流程信息的清洗腔室數(shù)據(jù)映射關(guān)系；

獲得超聲控制參數(shù)信息，基于所述超聲控制參數(shù)信息與所述超聲振幅信息進(jìn)行匹配關(guān)系分析，確定振幅匹配度特征；

根據(jù)所述清洗腔室數(shù)據(jù)映射關(guān)系進(jìn)行清洗特征分析，確定清洗腔特征；

將所述振幅匹配度特征、所述清洗腔特征，作為清洗腔室的運(yùn)行特征。

5.如權(quán)利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法包括：

根據(jù)所述水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，提取水循環(huán)流量數(shù)據(jù)、水循環(huán)藥液信息；

基于所述水循環(huán)流量數(shù)據(jù)、水循環(huán)藥液信息進(jìn)行時(shí)間對(duì)齊，確定水循環(huán)運(yùn)行特征。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述各部件融合特征分析，包括：

根據(jù)所述清洗腔室的運(yùn)行特征，進(jìn)行清洗元件、化學(xué)藥液的特征影響關(guān)系分析，確定化學(xué)藥液轉(zhuǎn)換參數(shù)；

根據(jù)所述水循環(huán)運(yùn)行特征、所述化學(xué)藥液轉(zhuǎn)換參數(shù)，進(jìn)行水循環(huán)沉積附著分析，確定沉積附著物特征；

基于所述沉積附著物特征，以水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行流量、循環(huán)時(shí)間分析，獲得水循環(huán)管壁附著時(shí)序特征。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

根據(jù)清洗設(shè)備的機(jī)械手、藥液投放設(shè)備、清洗腔室、水循環(huán)設(shè)備的基礎(chǔ)信息，獲得故障記錄集；

根據(jù)所述故障記錄集，分別進(jìn)行機(jī)械手移動(dòng)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)、化學(xué)藥液傳輸數(shù)據(jù)、清洗腔室的監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)、水循環(huán)流量監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)的故障特征分析，確定各部件的故障特征集；

基于所述各部件的故障特征集，設(shè)定預(yù)警條件。