[發明專利]一種半導體清洗設備的故障監測預警方法及系統在審

申請號：	202310335566.9	申請日：	2023-03-31
公開（公告）號：	CN116046078A	公開（公告）日：	2023-05-02
發明（設計）人：	黃敏;劉建明;李勝亭;彭威;匡華軍;陳華明;謝衛軍;任建輝;譚億求;劉凡國;焦海濤	申請（專利權）人：	東莞市楷德精密機械有限公司
主分類號：	G01D21/02	分類號：	G01D21/02
代理公司：	深圳市國高專利代理事務所(普通合伙) 44731	代理人：	陳冠豪
地址：	523000 廣東省東莞市萬江***	國省代碼：	廣東;44
權利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關鍵詞：	一種半導體清洗設備故障監測預警方法系統
鉆瓜網技術展會專利詞庫專利權人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

本發明提供了一種半導體清洗設備的故障監測預警方法及系統，涉及數據分析技術領域，監測獲取機械手移動監測數據、化學藥液傳輸數據、清洗腔室的監測數據、水循環流量監測數據，輸入特征分析模塊確定各部件清洗運行特征，輸入運行特征預測模型獲得各部件預測結果，若達到預警條件執行預警，解決現了有技術中對于半導體清洗設備的故障監測預警方法分析深度與完備性不足，只針對可監測數據進行故障衡量，導致故障監測結果精準度不足，忽略了潛在性故障因素，影響設備運行準確度的技術問題，通過提取單組件特征與融合特征進行分析預測，提升分析深度與全面性，提高分析結果精準度，針對不同故障分析結果進行針對性預警，保障檢修的及時有效性。

技術領域

本發明涉及數據分析技術領域，具體涉及一種半導體清洗設備的故障監測預警方法及系統。

背景技術

清洗步驟作為貫穿半導體產業鏈的重要環節，直接影響著集成電路的成品良率，因此需嚴格把控清洗能效，保障半導體清洗設備的標準化運行。半導體清洗設備運行過程中，不可避免地存在故障運行，以影響清洗效果。現如今，主要通過布設監測設備進行集成監測，基于監測運行狀態進行故障評估，或針對清洗產品進行抽檢，以進行清洗實況確定，針對存在的異常數據進行故障定位檢修。當前的故障監測預警方式較為傳統，存在著一定的弊端。

現有技術中，對于半導體清洗設備的故障監測預警方法分析深度與完備性不足，只針對可監測數據進行故障衡量，導致故障監測結果精準度不足，忽略了潛在性故障因素，影響設備運行準確度。

發明內容

本申請提供了一種半導體清洗設備的故障監測預警方法及系統，用于針對解決現有技術中存在的對于半導體清洗設備的故障監測預警方法分析深度與完備性不足，只針對可監測數據進行故障衡量，導致故障監測結果精準度不足，忽略了潛在性故障因素，影響設備運行準確度的技術問題。

鑒于上述問題，本申請提供了一種半導體清洗設備的故障監測預警方法及系統。

第一方面，本申請提供了一種半導體清洗設備的故障監測預警方法，所述方法包括：

通過機械手監測模塊與機械手監測設備連接，獲取機械手移動監測數據；

通過化學藥液傳輸模塊與化學藥液配置執行設備連接，獲得化學藥液傳輸數據；

通過清洗腔室監測模塊與清洗腔室液體監測設備連接，獲取清洗腔室的監測數據；

通過水循環監測模塊與水循環流量監測設備連接，獲得水循環流量監測數據；

將所述機械手移動監測數據、化學藥液傳輸數據、清洗腔室的監測數據、水循環流量監測數據作為輸入變量，輸入特征分析模塊進行各部件運行特征分析及各部件融合特征分析，確定各部件清洗運行特征；

將所述各部件清洗運行特征輸入運行特征預測模型，獲得各部件預測結果；

當所述各部件清洗運行特征、各部件預測結果有任一結果達到預警條件時，根據預警發送規則發送預警信息。