[發明專利]一種石英深孔球底加工方法在審
| 申請號： | 202310333348.1 | 申請日： | 2023-03-28 |
| 公開（公告）號： | CN116330126A | 公開（公告）日： | 2023-06-27 |
| 發明（設計）人： | 黃海鷗;胡龍輝;王維平;顏偉;方國良 | 申請（專利權）人： | 寧波云德半導體材料有限公司 |
| 主分類號： | B24B27/06 | 分類號： | B24B27/06;B24B41/04;B24B1/00 |
| 代理公司： | 杭州五洲普華專利代理事務所(特殊普通合伙) 33260 | 代理人： | 周炤隆 |
| 地址： | 315336 浙江省寧波市杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 石英 深孔球底 加工 方法 | ||
本發明公開了石英深孔球底加工方法，包括以下幾個步驟：用平底刀具在石英工件上加工出深孔；向深孔中加入適量的研磨液，用球底刀具在石英工件上深孔底部繼續加工出球底孔，該加工方法球使得形刀具不直接接觸石英工件，借助研磨砂的切屑力進行切屑，使得切屑效果大大增強，也減少了球形刀具的磨損，提高產品加工良率，保證球底加工相對規則以及產品加工后的一致性。
技術領域
本發明屬于石英加工的技術領域，尤其涉及一種石英深孔球底加工方法。
背景技術
石英深孔球底加工是一般加工直徑是Φ8mm、深度在80mm以上且由深孔與球形孔組成的孔。現有的石英深孔球底加工方法一般先用Φ6mm平底刀具加工球形以上部分，然后再用直徑Φ6mm球形刀具加工底部球形。采用這種加工方法，球形刀具因為是點接觸產品所以刀具經常會磨損，產品底部球形特征加工不到位，使得球底不規則，產品良率不高，產品質量存在差異。
發明內容
本發明的目的就是解決現有技術中的技術問題，提出一種石英深孔球底加工方法。
為實現上述目的，本發明提出了一種石英深孔球底加工方法，包括以下幾個步驟：
用平底刀具在石英工件上加工出深孔；
向深孔中加入適量的研磨液，用球底刀具在石英工件上深孔底部繼續加工出球底孔；
其中，所述研磨液由水和研磨砂按2.5～3.5:1的比例混合而成，球磨液的液面浸沒過球底刀具底部的半球體刀頭，所述球底工具的直徑比球底孔的直徑小0.06～0.14mm。
作為優選，當所述球底刀具高于深孔底面0.4～0.6mm時按0.08～0.12mm/min的速度下移切削加工出球底孔。
作為優選，當所述球底刀具高于深孔底面0.5mm時按0.1mm/min的速度下移切削加工出球底孔。
作為優選，所述研磨砂的目數根據球底孔的粗糙度要求進行選擇，粗糙度越小目數越大，反之，粗糙度越大目數越小。
作為優選，所述研磨液由水和研磨砂按3:1的比例混合而成。
作為優選，所述深孔和球底孔的總深度不低于80mm。
作為優選，所述球底工具的直徑比球底孔的直徑小0.1mm。
作為優選，所述球底刀具的刀身呈階梯式。
本發明的有益效果：本發明通過采用球形刀具加研磨砂的方式切削加工球形孔，球形刀具不直接接觸石英工件，借助研磨砂的切屑力進行切屑，使得切屑效果大大增強，也減少了球形刀具的磨損，提高產品加工良率，保證球底加工相對規則以及產品加工后的一致性。
本發明的特征及優點將通過實施例結合附圖進行詳細說明。
附圖說明
圖1是本發明實施例石英深孔球底加工方法的流程圖。
圖2是本發明實施例的石英工件結構示意圖。
圖3是本發明實施例的石英工件剖視圖。
圖4是本發明實施例的球底刀具結構示意圖。
圖5是本發明實施例的球底刀具加工石英工件示意圖。
圖中：1-石英工件、2-球底刀具、3-研磨液、11-深孔、21-半球體刀頭。
具體實施方式
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