[發明專利]一種彈性波器件以及使用其的彈性波裝置

在審

• 申請號: 202310332584.1
• 申請日: 2023-03-31
• 公開（公告）號: CN116527002A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發明（設計）人: 蔡振東
• 申請（專利權）人: 泉州市三安集成電路有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 廈門市首創君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 熊雄

本發明涉及濾波器技術領域，特別涉及一種彈性波器件以及使用其的彈性波裝置。該器件包含：壓電基板，具有相對的第一表面和第二表面；彈性波組件，設置在壓電基板的第一表面上；第二布線，設置在壓電基板的第一表面上，第二布線包括沿第一方向布置的橋接部；第一絕緣體，設置在橋接部的上表面上，第一絕緣體沿第一方向布置；第一布線，設置在壓電基板上并連接彈性波組件，第一布線包括隔著第一絕緣體與第二布線的橋接部立體交叉的立體布線部、以及分別連接橋接部沿第一方向上的兩端的第一連接部和第二連接部，立體布線部沿第二方向布置；第一方向與第二方向交叉設置。由此，本發明提供一種高可靠度的彈性波器件。

技術領域

本發明涉及濾波器技術領域，特別涉及一種彈性波器件以及使用其的彈性波裝置。

背景技術

現有使用彈性波的濾波器(彈性波裝置)被廣泛地應用在行動電話等的接收電路中。其構造如大多數說明書所描述地，包含在鉭酸鋰或鈮酸鋰等壓電基板上設置梳狀電極而形成的共振子(彈性波組件)。

在該情況下，有時為了謀求小型化而使多個布線彼此立體交叉。例如在立體交叉部中，在下層的布線上隔著絕緣層形成有上層的布線。

而由于上層的布線為橫跨兩絕緣層短邊，受后續制程外力影響，導致絕緣層存在容易翹起脫落的風險。

發明內容

本發明的目的在于克服上述現有技術中的不足，提供一種彈性波器件以及使用其的彈性波裝置。

為了解決上述技術問題，本發明提供的技術方案之一如下：

一種彈性波器件，包含：

壓電基板，具有相對的第一表面和第二表面；

彈性波組件，設置在所述壓電基板的第一表面上；

第二布線，設置在所述壓電基板的第一表面上，所述第二布線包括沿第一方向布置的橋接部；

第一絕緣體，設置在所述橋接部的上表面上，所述第一絕緣體沿第一方向布置；

第一布線，設置在所述壓電基板上并連接所述彈性波組件，所述第一布線包括隔著所述第一絕緣體與所述第二布線的橋接部立體交叉的立體布線部、以及分別連接所述橋接部沿第一方向上的兩端的第一連接部和第二連接部，所述立體布線部沿第二方向布置；

所述第一方向與所述第二方向交叉設置；所述第一絕緣體在沿第一方向上的尺寸大于沿第二方向上的尺寸。

在一更佳的實施例中，所述第一絕緣體沿第一方向上具有相對的第一端和第二端；

所述第一連接部覆蓋所述第一端和/或所述第二連接部覆蓋所述第二端。

在一更佳的實施例中，所述第二布線包括設置在所述第一布線下表面的擴展部，所述擴展部在所述壓電基板上的投影位于所述第一布線在所述壓電基板上投影的范圍之內，并且所述擴展部在所述壓電基板上的投影位于所述第一絕緣體在所述壓電基板上投影的范圍之外。

在一更佳的實施例中，所述擴展部在所述壓電基板上投影的邊緣與所述第一布線在所述壓電基板上投影的邊緣的間距大于2μm。

在一更佳的實施例中，所述第一絕緣體的厚度在0.5μm以上且2.0μm以下。

在一更佳的實施例中，所述第二布線的厚度在1.2μm以上且6.0μm以下。

在一更佳的實施例中，所述第二布線由電阻率低于2.5×10^-8Ω·m的導電材料制成。

在一更佳的實施例中，所述第二布線的厚度在0.5μm以上且3.0μm以下。