[發(fā)明專利]一種彈性波器件以及使用其的彈性波裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310332584.1
• 申請日: 2023-03-31
• 公開（公告）號: CN116527002A
• 公開（公告）日: 2023-08-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 蔡振東
• 申請（專利權(quán)）人: 泉州市三安集成電路有限公司
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務(wù)所有限公司 35204
• 代理人: 熊雄

1.一種彈性波器件，包含：

壓電基板，具有相對的第一表面和第二表面；

彈性波組件，設(shè)置在所述壓電基板的第一表面上；

第二布線，設(shè)置在所述壓電基板的第一表面上，所述第二布線包括沿第一方向布置的橋接部；

第一絕緣體，設(shè)置在所述橋接部上，所述第一絕緣體沿第一方向布置；

第一布線，設(shè)置在所述壓電基板上并連接所述彈性波組件，所述第一布線包括隔著所述第一絕緣體與所述第二布線的橋接部立體交叉的立體布線部、以及分別連接所述橋接部沿第一方向上的兩端的第一連接部和第二連接部，所述立體布線部沿第二方向布置；

所述第一方向與所述第二方向交叉設(shè)置；所述第一絕緣體在沿第一方向上的尺寸大于沿第二方向上的尺寸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第一絕緣體沿第一方向上具有相對的第一端和第二端；

所述第一連接部覆蓋所述第一端和/或所述第二連接部覆蓋所述第二端。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第二布線包括設(shè)置在所述第一布線下表面的擴展部，所述擴展部在所述壓電基板上的投影位于所述第一布線在所述壓電基板上投影的范圍之內(nèi)，并且所述擴展部在所述壓電基板上的投影位于所述第一絕緣體在所述壓電基板上投影的范圍之外。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的彈性波器件，其特征在于：所述擴展部在所述壓電基板上投影的邊緣與所述第一布線在所述壓電基板上投影的邊緣的間距大于2μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第一絕緣體的厚度在0.5μm以上且2.0μm以下。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第二布線的厚度在1.2μm以上且6.0μm以下。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第二布線由電阻率低于2.5×10^-8Ω·m的導(dǎo)電材料制成。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的彈性波器件，其特征在于：所述第二布線的厚度在0.5μm以上且3.0μm以下。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第一絕緣體具有位于所述橋接部的一側(cè)的第一側(cè)面和位于所述橋接部的另一側(cè)的第二側(cè)面，所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面設(shè)為斜面；所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面與所述壓電基板的第一表面的傾斜角在55°以下。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述第一絕緣體具有位于所述橋接部的一側(cè)的第一側(cè)面和位于所述橋接部的另一側(cè)的第二側(cè)面，所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面設(shè)為弧面；所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面的各點切線相對于壓電基板的第一表面的傾斜角在55°以下。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的彈性波器件，其特征在于：所述第一側(cè)面和所述第二側(cè)面的各點切線相對于基板的第一表面的傾斜角自上而下依次遞增。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于：所述彈性波組件包括形成于所述壓電基板的指叉狀電極和反射器，所述指叉狀電極包括一對相向設(shè)置的梳狀電極，所述梳狀電極各自具有多個電極指和連接于所述電極指的匯流條，所述反射器設(shè)置在所述指叉狀電極的兩側(cè)。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的彈性波器件，其特征在于，所述彈性波器件還包括：第二絕緣體，覆蓋所述第一布線、所述第一絕緣體、和所述第二布線。