[發明專利]測厚校準方法、裝置、設備和存儲介質

有效

• 申請號: 202310323640.5
• 申請日: 2023-03-30
• 公開（公告）號: CN116026263B
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 葛銘;沈井學;魏江;張燴;范靖男
• 申請（專利權）人: 杭州百子尖科技股份有限公司
• 主分類號: G01B15/02
• 分類號: G01B15/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 康歡歡

1.一種測厚校準方法，用于測厚儀的校準，其特征在于，包括：

獲取測厚儀對校準樣片進行掃描得到的掃描數據，其中，所述掃描數據的數量為多個；

獲取所述校準樣片的標準數據；

基于所述掃描數據和所述標準數據確定掃描補償量的標準差；

確定所述標準差是否滿足第一預設校準規則；

若滿足第一預設校準規則，基于所述掃描數據和所述標準數據確定所述掃描補償量，并基于所述掃描補償量修正所述測厚儀的掃描計算公式；

所述基于所述掃描數據和所述標準數據確定所述掃描補償量，并基于所述掃描補償量修正所述測厚儀的掃描計算公式之前，還包括：

計算所述掃描數據的歐式距離；

確定所述歐式距離是否符合第二預設校準規則；

若所述歐式距離符合第二預設校準規則，執行基于所述掃描數據和所述標準數據確定所述掃描補償量，并基于所述掃描補償量修正所述測厚儀的掃描計算公式的步驟；

若所述歐式距離不符合第二預設校準規則，不執行基于所述掃描數據和所述標準數據確定所述掃描補償量，并基于所述掃描補償量修正所述測厚儀的掃描計算公式的步驟，并發出告警信息。

2.根據權利要求1所述的測厚校準方法，其特征在于，所述確定所述標準差是否滿足第一預設校準規則，包括：

確定所述標準差是否大于第一預設值；

若所述標準差大于所述第一預設值，確定滿足第一預設校準規則；

若所述標準差小于或等于所述第一預設值，確定不符合第一預設校準規則，并結束校準，發出結構穩定提醒信息。

3.根據權利要求1所述的測厚校準方法，其特征在于，所述確定所述歐式距離是否符合第二預設校準規則，包括：

確定所述歐式距離是否小于或等于第二預設值；

若所述歐式距離小于或等于所述第二預設值，確定符合第二預設校準規則；

若所述歐式距離大于所述第二預設值，確定不符合第二預設校準規則。

4.根據權利要求3所述的測厚校準方法，其特征在于，所述掃描數據包括正行掃描數據和反行掃描數據，所述計算所述掃描數據的歐式距離，包括：

計算所述正行掃描數據的第一歐式距離；

計算所述反行掃描數據的第二歐式距離；

相應的，所述確定所述歐式距離是否小于或等于第二預設值，包括：

確定所述第一歐式距離和所述第二歐式距離是否均小于或等于第二預設值；

若所述第一歐式距離和所述第二歐式距離均小于或等于第二預設值，確定符合第二預設校準規則；

若所述第一歐式距離或所述第二歐式距離大于第二預設值，確定不符合第二預設校準規則。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的測厚校準方法，其特征在于，所述掃描數據包括正行掃描數據和反行掃描數據，所述正行掃描數據的數量為至少兩個，所述反行掃描數據的數量為至少兩個；所述基于所述掃描數據和所述標準數據確定所述掃描補償量，包括：

基于所述正行掃描數據和所述標準數據確定正行掃描補償量；

基于所述反行掃描數據和所述標準數據確定反行掃描補償量；

相應的，所述基于所述掃描補償量修正所述測厚儀的掃描計算公式，包括：

基于所述正行掃描補償量通過下式修正所述測厚儀的掃描計算公式得到正行掃描計算公式：

；

其中，為修正得到的正行掃描計算公式，為修正前的掃描計算公式，為正行掃描補償量；

基于所述反行掃描補償量通過下式修正所述測厚儀的掃描計算公式得到反行掃描計算公式：

；

其中，為修正得到的反行掃描計算公式，為反行掃描補償量。

6.根據權利要求1至4中任一項所述的測厚校準方法，其特征在于，所述測厚儀包括測厚儀本體，測厚儀本體上設有射線檢測窗口和樣片驅動機構，所述樣片驅動機構用于驅動校準樣片運動至所述射線檢測窗口；

所述獲取測厚儀對校準樣片進行掃描得到的掃描數據，包括：

控制樣片驅動機構驅動校準樣片運動至射線檢測窗口；

獲取所述射線檢測窗口發出射線掃描所述校準樣片得到的掃描數據。