[發明專利]自動下料的雙面平面拋光機

在審

• 申請號: 202310244208.7
• 申請日: 2023-03-14
• 公開（公告）號: CN116061075A
• 公開（公告）日: 2023-05-05
• 發明（設計）人: 朱建成
• 申請（專利權）人: 南京藍鼎光電技術有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B27/00;B24B47/12;B24B47/22;B24B41/06;B24B41/00
• 代理公司: 上海維卓專利代理有限公司 31409
• 代理人: 張偉

本申請涉及一種自動下料的雙面平面拋光機，其涉及拋光機領域，其包括支撐筒、下磨盤、行星輪以及驅動電機，下磨盤設置在支撐筒的端部，下磨盤邊緣設有與行星輪嚙合的齒條，驅動電機的輸出軸同軸設有轉動筒，轉動筒上同軸設有齒輪一，齒輪一與行星輪嚙合，轉動筒內轉動設有運輸筒，支撐筒內設有用于帶動運輸筒轉動的轉動電機，行星輪圍繞運輸筒軸線的角速度與運輸筒的角速度相同，運輸筒內轉動設有吸附并移動載玻片的抓取組件，運輸筒上設有抓取孔，運輸筒上設有用于定位載玻片并控制轉動電機與驅動電機通斷電的激光傳感器，運輸筒內設有用于承接并運輸載玻片的下料輸送組件。本申請具有提高載玻片下料便利性的效果。

技術領域

本申請涉及拋光機領域，尤其是涉及一種自動下料的雙面平面拋光機。

背景技術

雙面拋光機是用于半導體硅片、磁性材料、藍寶石、光學玻璃、金屬材料及其它硬脆材料的雙面高精度高效率的拋光加工設備，雙面拋光機的加工精度影響著加工材料的性能。

傳統的雙面拋光機常采用上下兩個磨盤，中間是用于承載載玻片的行星輪系，上磨盤一般是通過液壓缸驅動，液壓缸驅動上磨盤下壓到載玻片上并對拋光材料進行拋光，當載玻片拋光結束后，由于載玻片較薄，因此操作人員不易將載玻片從行星輪系中取下，不便于載玻片的下料。

發明內容

為了改善載玻片下料困難的問題，本申請提供一種自動下料的雙面平面拋光機。

本申請提供的一種自動下料的雙面平面拋光機采用如下的技術方案：

一種自動下料的雙面平面拋光機，包括支撐筒、下磨盤、用于放置載玻片的行星輪以及用于驅動行星輪轉動的驅動電機，所述下磨盤設置在所述支撐筒的端部，所述下磨盤邊緣設有與行星輪嚙合的齒條，所述驅動電機的輸出軸同軸設有轉動筒，所述轉動筒穿過所述下磨盤并與所述下磨盤轉動設置，所述轉動筒在穿過所述下磨盤的一端同軸設有齒輪一，所述齒輪一與所述行星輪嚙合，所述轉動筒內轉動設有運輸筒，所述支撐筒內設有用于帶動所述運輸筒轉動的轉動電機，所述行星輪圍繞所述運輸筒軸線的角速度與所述運輸筒的角速度相同，所述運輸筒內轉動設有吸附并移動載玻片的抓取組件，所述運輸筒上設有抓取孔，所述運輸筒上設有用于定位所述載玻片并控制所述轉動電機與所述驅動電機通斷電的激光傳感器，所述運輸筒內設有用于承接并運輸所述載玻片的下料輸送組件。

通過采用上述技術方案，當載玻片拋光結束后，通過驅動電機帶動行星輪在下磨盤上轉動的同時，行星輪自轉，轉動電機帶動運輸筒隨著行星輪一起轉動，當行星輪上的載玻片移動至抓取孔位置時，激光傳感器控制轉動電機與驅動電機斷電，行星輪停止轉動，抓取組件伸出抓取孔對載玻片抓取，然后抓取組件收縮進運輸筒內并放置在下料輸送組件上，然后通過下料輸送組件將載玻片運出運輸筒，從而實現將載玻片從行星輪上取下，提高載玻片下料的便利性。

在一個具體的可實施方案中，所述抓取組件包括液壓缸、抓取桿以及吸附件，所述抓取桿轉動設置在所述運輸筒內，所述液壓缸的缸體與所述運輸筒轉動設置，所述液壓缸的活塞桿端與所述抓取桿轉動設置，所述抓取桿的一端彎折形成抓取頭，所述吸附件位于所述抓取頭上，所述液壓缸驅動所述抓取桿使得所述吸附件轉動到所述載玻片上。

通過采用上述技術方案，在對載玻片進行抓取時，液壓缸伸長，液壓缸推動抓取桿轉動，使得抓取桿從抓取孔內伸出，隨著抓取桿的不斷伸出，最終使得抓取頭的吸附件置于載玻片上，然后吸附件對載玻片進行吸附，然后液壓缸收縮，并通過抓取桿收縮進運輸筒內，從而實現將載玻片從行星輪上取下。

在一個具體的可實施方案中，所述吸附件包括吸盤、真空發生器、軟管，所述吸盤位于所述抓取頭上，所述真空發生器位于所述運輸筒上，所述真空發生器通過所述軟管與所述吸盤連通設置。

通過采用上述技術方案，在對載玻片進行吸附時，吸盤隨著抓取頭落到載玻片上，然后驅動真空發生器，真空發生器通過軟管帶動吸盤處于負壓，從而使得吸盤將載玻片吸附。