[發(fā)明專利]紫外光固化膠的壓印工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310233136.6
• 申請日: 2023-03-13
• 公開（公告）號: CN116339072A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 金闖;冉光富;梁哲會;齊杰
• 申請（專利權(quán)）人: 太倉斯迪克新材料科技有限公司;江蘇斯迪克新材料科技股份有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 蘇州科旭知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32697
• 代理人: 杜朝霞

本發(fā)明公開了一種紫外光固化膠的壓印工藝，包括以下步驟：按重量份稱取丙烯酸酯預(yù)聚物、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、2,4,6?三甲基苯甲酰基?二苯基氧化磷、二苯甲酮、安息香乙醚、偶聯(lián)劑、分散劑、雙官含氟丙烯酸酯、三亞乙基四胺、流平劑，充分混合均勻可得到紫外光固化膠；將紫外光固化膠在襯底上旋轉(zhuǎn)涂膜；通過模板壓印轉(zhuǎn)移圖形至涂膜上；通過紫外光對涂膜固化；對具有涂膜的襯底刻蝕，從而將圖形轉(zhuǎn)移至襯底上。本發(fā)明紫外納米壓印用光固化壓印膠減少固化過程中的氧阻聚，使得壓印膠固化完全，從而提高圖形壓印精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光固化壓印膠的技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種紫外光固化膠的壓印工藝。

背景技術(shù)

目前，納米壓印技術(shù)由于具有不受光刻極限的限制、制造成本低、產(chǎn)量高等優(yōu)勢，在微納結(jié)構(gòu)制造領(lǐng)域得到廣泛關(guān)注。壓印膠作為納米壓印技術(shù)的核心之一，是制備納米結(jié)構(gòu)的保障。隨著壓印工藝的持續(xù)需求和不斷改進，壓印膠的研究和開發(fā)也被持續(xù)的推進，尤其是粘度低、固化速度快、抗蝕刻性高、圖案壓印性優(yōu)異的紫外壓印膠，已成為紫外壓印膠的研究主流。

紫外壓印膠的主要成分是丙烯酸酯類光固化聚合物。丙烯酸酯基的自由基型納米壓印膠固化速度快，所以商業(yè)化應(yīng)用比較廣泛，如美國DSM的Hybrane系列，Nanonex的NXR系列，Toyo?Gosei的PAK?O1系列以及AMO?GmbH的AMONIL?MMS4等。但存在氧阻效應(yīng)，在空氣中不能固化或不能完全固化，且收縮率大等缺點，這些性能缺陷對涂布成膜、壓印、脫模、刻蝕等納米壓印工藝的各個步驟均有影響，從而影響精度。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種紫外光固化膠的壓印工藝，該壓印工藝獲得的紫外光固化膠固化完全，從而提高圖形壓印精度。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種紫外光固化膠的壓印工藝，包括以下步驟：

步驟一、在潔凈、低濕及避光環(huán)境下，按重量份稱取丙烯酸酯預(yù)聚物20~80份、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯40~50份、聚乙二醇二丙烯酸酯8~12份、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化磷1~2份、二苯甲酮2~4份、安息香乙醚0.3~0.8份、偶聯(lián)劑0.3~3份、分散劑0.1~1份、雙官含氟丙烯酸酯0.3~1份、三亞乙基四胺0.1~0.5份、流平劑0.1~3份，充分混合均勻可得到紫外光固化膠；

步驟二、將紫外光固化膠在襯底上旋轉(zhuǎn)涂膜；

步驟三、通過模板壓印轉(zhuǎn)移圖形至涂膜上；

步驟四、通過紫外光對涂膜固化；

步驟五、對具有涂膜的襯底刻蝕，從而將圖形轉(zhuǎn)移至襯底上。

上述技術(shù)方案中進一步改進的技術(shù)方案如下：

1、上述方案中，所述偶聯(lián)劑為γ-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷或者KH-550。

2、上述方案中，所述流平劑為BYK-371、BYK-3505、BYK-3530、MONENG-1153或者MONENG-1154。

3、上述方案中，所述分散劑為六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉、聚丙烯酸鈉或者聚乙烯醇。

4、上述方案中，所述步驟二中旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速為350~450轉(zhuǎn)/min。

由于上述技術(shù)方案的運用，本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點：

本發(fā)明紫外光固化膠的壓印工藝，其基于丙烯酸酯預(yù)聚物20~80份、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯40~50份、聚乙二醇二丙烯酸酯8~12份添加雙官含氟丙烯酸酯0.3~1份、三亞乙基四胺0.1~0.5份，使得獲得的光固化壓印膠收縮率小于5%，減少固化過程中的氧阻聚，使得壓印膠固化完全，從而提高圖形壓印精度。

實施方式

通過下面給出的具體實施例可以進一步清楚地了解本專利，但它們不是對本專利的限定。

下面結(jié)合實施例對本發(fā)明作進一步描述：