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[發明專利]紫外光固化膠的壓印工藝在審

專利信息
申請號: 202310233136.6 申請日: 2023-03-13
公開(公告)號: CN116339072A 公開(公告)日: 2023-06-27
發明(設計)人: 金闖;冉光富;梁哲會;齊杰 申請(專利權)人: 太倉斯迪克新材料科技有限公司;江蘇斯迪克新材料科技股份有限公司
主分類號: G03F7/00 分類號: G03F7/00
代理公司: 蘇州科旭知識產權代理事務所(普通合伙) 32697 代理人: 杜朝霞
地址: 215488 江蘇省蘇州*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 紫外 光固化 壓印 工藝
【權利要求書】:

1.一種紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:包括以下步驟:

步驟一、在潔凈、低濕及避光環境下,按重量份稱取丙烯酸酯預聚物20~80份、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯40~50份、聚乙二醇二丙烯酸酯8~12份、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化磷1~2份、二苯甲酮2~4份、安息香乙醚0.3~0.8份、偶聯劑0.3~3份、分散劑0.1~1份、雙官含氟丙烯酸酯0.3~1份、三亞乙基四胺0.1~0.5份、流平劑0.1~3份,充分混合均勻可得到紫外光固化膠;

步驟二、將紫外光固化膠在襯底上旋轉涂膜;

步驟三、通過模板壓印轉移圖形至涂膜上;

步驟四、通過紫外光對涂膜固化;

步驟五、對具有涂膜的襯底刻蝕,從而將圖形轉移至襯底上。

2.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述偶聯劑為γ-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷或者KH-550。

3.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述流平劑為BYK-371、BYK-3505、BYK-3530、MONENG-1153或者MONENG-1154。

4.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述分散劑為六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉、聚丙烯酸鈉或者聚乙烯醇。

5.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述步驟二中旋轉轉速為350~450轉/min。

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