[發明專利]紫外光固化膠的壓印工藝在審
| 申請號: | 202310233136.6 | 申請日: | 2023-03-13 |
| 公開(公告)號: | CN116339072A | 公開(公告)日: | 2023-06-27 |
| 發明(設計)人: | 金闖;冉光富;梁哲會;齊杰 | 申請(專利權)人: | 太倉斯迪克新材料科技有限公司;江蘇斯迪克新材料科技股份有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/00 | 分類號: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 蘇州科旭知識產權代理事務所(普通合伙) 32697 | 代理人: | 杜朝霞 |
| 地址: | 215488 江蘇省蘇州*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 紫外 光固化 壓印 工藝 | ||
1.一種紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:包括以下步驟:
步驟一、在潔凈、低濕及避光環境下,按重量份稱取丙烯酸酯預聚物20~80份、乙氧化雙酚A二甲基丙烯酸酯40~50份、聚乙二醇二丙烯酸酯8~12份、2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化磷1~2份、二苯甲酮2~4份、安息香乙醚0.3~0.8份、偶聯劑0.3~3份、分散劑0.1~1份、雙官含氟丙烯酸酯0.3~1份、三亞乙基四胺0.1~0.5份、流平劑0.1~3份,充分混合均勻可得到紫外光固化膠;
步驟二、將紫外光固化膠在襯底上旋轉涂膜;
步驟三、通過模板壓印轉移圖形至涂膜上;
步驟四、通過紫外光對涂膜固化;
步驟五、對具有涂膜的襯底刻蝕,從而將圖形轉移至襯底上。
2.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述偶聯劑為γ-縮水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷或者KH-550。
3.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述流平劑為BYK-371、BYK-3505、BYK-3530、MONENG-1153或者MONENG-1154。
4.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述分散劑為六偏磷酸鈉、焦磷酸鈉、聚丙烯酸鈉或者聚乙烯醇。
5.根據權利要求1所述的紫外光固化膠的壓印工藝,其特征在于:所述步驟二中旋轉轉速為350~450轉/min。
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