[發明專利]一種全自動BSGS氣體供應設備箱

在審

• 申請號: 202310181362.4
• 申請日: 2023-02-28
• 公開（公告）號: CN116202032A
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 黃金海;何康;李利
• 申請（專利權）人: 上海弗川自動化技術有限公司
• 主分類號: F17D3/01
• 分類號: F17D3/01;F17D1/04;B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 南京業騰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 楊靜

本發明公開了一種全自動BSGS氣體供應設備箱，包括箱體、位于箱體內部的吹塵機構以及回收機構；所述吹塵機構包括移動架、氣體輸送模塊以及若干噴頭，所述氣體輸送模塊通過設有的輸送管道與所述接口相互連接，通過所述氣體輸送模塊向所述轉動管內輸送氣體，并通過所述噴頭前端噴出，對所述箱體內部儀器表面的灰塵進行吹除，其噴氣范圍更加靈活，提高了吹塵效率；所述回收機構包括回收腔以及若干個調節板，通過調節組件控制所述轉動軸轉動，所述調節板之間形成間隙，使所述吹塵機構對所述箱體內部吹起的灰塵進行吸引，使灰塵通過所述調節板之間的間隙進入所述回收腔以及收集腔內部，最終從所述出口排出，提高了氣體供應設備箱內部灰塵的清掃效率。

技術領域

本發明涉及氣體供應設備技術領域，具體為一種全自動BSGS氣體供應設備箱。

背景技術

大流量特殊氣體供應系統(Bulk?Specialty?Gas?Supply?System),簡稱BSGS，可實現電子特殊氣體的持續大流量不間斷安全供應，主要適用于Semiconductor、TFT、SunSolar、LED等工廠特氣(如SiH4,NF3,NH3,N2O,HCl)的集中供氣。BSGS采用PLC控制，觸控屏為人機界面，通過設備安裝的壓力傳感器、氣動閥、溫控等裝置，實現設備安全有效的運行。同時也確保了工廠正常生產和員工人身安全。

對于全自動BSGS氣體供應設備箱來說，在日常使用過程中，其箱體內部容易積攢灰塵，而對于設備的清理一般需要人工進行清掃，效率低下，同時人工清掃無法保證正常的生產以及工人的安全。

發明內容

本發明提供一種全自動BSGS氣體供應設備箱，解決了現有氣體供應設備箱體內部缺少對灰塵的裝置以及通過人工清掃，易造成工人的安全以及清掃效率低下的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種全自動BSGS氣體供應設備箱，包括箱體、位于箱體內部的吹塵機構以及回收機構；

所述吹塵機構包括移動架、氣體輸送模塊以及若干噴頭，所述移動架位于所述箱體前端，且所述移動架兩端與所述箱體兩側的內壁滑動相連，所述移動架之間設有兩組轉動管，若干所述噴頭分別安裝在所述轉動管外壁，且所述轉動管兩端與所述移動架之間相互轉動，兩組所轉動管呈上下豎直布置，且所述噴頭跟隨所述轉動管轉動，所述轉動管兩側分別設有連接接頭，所述連接接頭下端設有一接口，所述接口通過所述連接接頭與所述轉動管內部相互連通，所述氣體輸送模塊位于所述箱體底端設有的放置腔內部，所述氣體輸送模塊通過設有的輸送管道與所述接口相互連接，通過所述氣體輸送模塊向所述轉動管內輸送氣體，并通過所述噴頭前端噴出，對所述箱體內部儀器表面的灰塵進行吹除；

所述回收機構包括回收腔以及若干個調節板，所述回收腔位于所述箱體內部兩側，所述調節板分別位于所述回收腔內部，且所述回收腔兩側壁面分別對應設有轉動孔，所述調節板兩側壁面分別設有轉動軸，所述轉動軸分別插在所述轉動孔內部，且所述調節板通過所述轉動軸與所述轉動孔轉動相連，若干所述調節板初始狀態下保持豎直，且通過所述調節板一側設有的調節組件進行控制，進而調整所述調節板擺動角度，所述回收腔下端設有收集腔，所述收集腔通過設有的出口與外界的吸塵裝置相連，通過調節組件控制所述轉動軸轉動，所述調節板之間形成間隙，使所述吹塵機構對所述箱體內部吹起的灰塵進行吸引，使灰塵通過所述調節板之間的間隙進入所述回收腔內，然后進入下端的所述收集腔內部，最終從所述出口排出。

優選的，所述移動架兩側分別設有固定塊，且所述固定塊之間通過設有的連桿相連。