[發(fā)明專利]一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202310181362.4
• 申請(qǐng)日: 2023-02-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN116202032A
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃金海;何康;李利
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海弗川自動(dòng)化技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F17D3/01
• 分類號(hào): F17D3/01;F17D1/04;B08B5/02;B08B13/00
• 代理公司: 南京業(yè)騰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32321
• 代理人: 楊靜

1.一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：包括箱體、位于箱體內(nèi)部的吹塵機(jī)構(gòu)以及回收機(jī)構(gòu)；

所述吹塵機(jī)構(gòu)包括移動(dòng)架、氣體輸送模塊以及若干噴頭，所述移動(dòng)架位于所述箱體前端，且所述移動(dòng)架兩端與所述箱體兩側(cè)的內(nèi)壁滑動(dòng)相連，所述移動(dòng)架之間設(shè)有兩組轉(zhuǎn)動(dòng)管，若干所述噴頭分別安裝在所述轉(zhuǎn)動(dòng)管外壁，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)管兩端與所述移動(dòng)架之間相互轉(zhuǎn)動(dòng)，兩組所轉(zhuǎn)動(dòng)管呈上下豎直布置，且所述噴頭跟隨所述轉(zhuǎn)動(dòng)管轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)管兩側(cè)分別設(shè)有連接接頭，所述連接接頭下端設(shè)有一接口，所述接口通過(guò)所述連接接頭與所述轉(zhuǎn)動(dòng)管內(nèi)部相互連通，所述氣體輸送模塊位于所述箱體底端設(shè)有的放置腔內(nèi)部，所述氣體輸送模塊通過(guò)設(shè)有的輸送管道與所述接口相互連接，通過(guò)所述氣體輸送模塊向所述轉(zhuǎn)動(dòng)管內(nèi)輸送氣體，并通過(guò)所述噴頭前端噴出，對(duì)所述箱體內(nèi)部?jī)x器表面的灰塵進(jìn)行吹除；

所述回收機(jī)構(gòu)包括回收腔以及若干個(gè)調(diào)節(jié)板，所述回收腔位于所述箱體內(nèi)部?jī)蓚?cè)，所述調(diào)節(jié)板分別位于所述回收腔內(nèi)部，且所述回收腔兩側(cè)壁面分別對(duì)應(yīng)設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)孔，所述調(diào)節(jié)板兩側(cè)壁面分別設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸分別插在所述轉(zhuǎn)動(dòng)孔內(nèi)部，且所述調(diào)節(jié)板通過(guò)所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與所述轉(zhuǎn)動(dòng)孔轉(zhuǎn)動(dòng)相連，若干所述調(diào)節(jié)板初始狀態(tài)下保持豎直，且通過(guò)所述調(diào)節(jié)板一側(cè)設(shè)有的調(diào)節(jié)組件進(jìn)行控制，進(jìn)而調(diào)整所述調(diào)節(jié)板擺動(dòng)角度，所述回收腔下端設(shè)有收集腔，所述收集腔通過(guò)設(shè)有的出口與外界的吸塵裝置相連，通過(guò)調(diào)節(jié)組件控制所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述調(diào)節(jié)板之間形成間隙，使所述吹塵機(jī)構(gòu)對(duì)所述箱體內(nèi)部吹起的灰塵進(jìn)行吸引，使灰塵通過(guò)所述調(diào)節(jié)板之間的間隙進(jìn)入所述回收腔內(nèi)，然后進(jìn)入下端的所述收集腔內(nèi)部，最終從所述出口排出。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：所述移動(dòng)架兩側(cè)分別設(shè)有固定塊，且所述固定塊之間通過(guò)設(shè)有的連桿相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：所述移動(dòng)架兩側(cè)設(shè)有移動(dòng)組件，所述移動(dòng)組件包括移動(dòng)塊、第一螺紋桿以及第一電機(jī)，所述箱體前端兩側(cè)分別設(shè)有移動(dòng)槽，所述第一螺紋桿位于所述移動(dòng)槽內(nèi)部，所述第一螺紋桿上下兩端分別與所述移動(dòng)槽上下端轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述第一電機(jī)位于所述第一螺紋桿下端，所述第一電機(jī)輸出端與所述第一螺紋桿下端相連，所述移動(dòng)塊分別位于所述移動(dòng)架兩側(cè)的所述固定塊外側(cè)端，且兩側(cè)的所述移動(dòng)塊位于所述移動(dòng)槽內(nèi)部，且所述移動(dòng)塊中心位置設(shè)有第一螺紋孔，所述第一螺紋孔與所述第一螺紋桿相互配合，通過(guò)所述第一電機(jī)控制所述第一螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而控制所述移動(dòng)塊在所述移動(dòng)槽內(nèi)上下移動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)所述移動(dòng)組件對(duì)所述移動(dòng)架高度進(jìn)行控制。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：所述箱體正面下端位置設(shè)有通槽，所述通槽與所述箱體底部放置所述氣體輸送模塊的區(qū)域相互連通，所述移動(dòng)架不工作時(shí)，通過(guò)所述移動(dòng)組件移動(dòng)至所述通槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：所述移動(dòng)架一側(cè)的所述固定塊內(nèi)部設(shè)有一轉(zhuǎn)動(dòng)組件，所述轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括第二電機(jī)、蝸桿以及蝸輪，所述第二電機(jī)位于所述固定塊內(nèi)部，所述蝸桿一端位于所述第二電機(jī)輸出端，且所述蝸桿另一端與所述固定塊壁面轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述蝸輪分別位于上下兩組的所述轉(zhuǎn)動(dòng)管一端，所述蝸輪位于一側(cè)的所述固定塊內(nèi)部，且所述蝸輪分別位于所述蝸桿上下兩側(cè)，所述蝸桿與上下端的所述蝸輪分別嚙合，通過(guò)所述第二電機(jī)控制所述蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述蝸輪轉(zhuǎn)動(dòng)，所述蝸輪與所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿一同轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而對(duì)所述轉(zhuǎn)動(dòng)管上的噴頭角度進(jìn)行調(diào)節(jié)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動(dòng)BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備箱，其特征在于：所述調(diào)節(jié)組件包括齒條板以及若干齒輪，所述箱體靠近背面一側(cè)兩端分別設(shè)有調(diào)節(jié)槽，所述齒輪位于所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)部，且所述齒輪與所述調(diào)節(jié)板靠近所述箱體背面一側(cè)的所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連，所述齒輪與所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸一同轉(zhuǎn)動(dòng)，所述齒條板豎直位于所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)部，且所述齒條板兩側(cè)壁面沿著所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)壁平滑豎直移動(dòng)，所述齒條板分別與若干所述齒輪相互嚙合，所述齒條板上下移動(dòng)過(guò)程中，所述齒條板將帶動(dòng)所述齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)所述調(diào)節(jié)板轉(zhuǎn)動(dòng)，以控制所述調(diào)節(jié)板之間的間隙。