[發(fā)明專利]一種聲表面波濾波器及多工器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310177496.9
• 申請日: 2023-02-28
• 公開（公告）號: CN116647207A
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周亞男;秦美玲;李忠宇;孔杰;朱衛(wèi)俊;李勇
• 申請（專利權(quán)）人: 中電科技德清華瑩電子有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/02
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務(wù)所有限公司 33214
• 代理人: 高濱

本發(fā)明涉及電子通信器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種聲表面波濾波器及多工器。一種聲表面波濾波器，包括支撐襯底、高聲速層、低聲速層、壓電膜層、濾波器金屬電極以及多個濾波器芯片，所述濾波器芯片為梯形濾波器或縱向耦合多模濾波器。本發(fā)明在薄膜型聲表面波濾波器、多工器中，通過采用不同寄生模式抑制手段，能夠提升薄膜型聲表面波濾波器的設(shè)計自由度，并且通過精細(xì)調(diào)整寄生模式抑制方法，使得每個通道的濾波特性均達到最優(yōu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子通信器件技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種聲表面波濾波器及多工器。

背景技術(shù)

聲表面波濾波器和多工器是一種選頻裝置。作為通信技術(shù)領(lǐng)域極為重要的元器件，聲表面波濾波器和多工器在基站和移動終端設(shè)備中應(yīng)用廣泛。現(xiàn)有規(guī)模化應(yīng)用的聲表面波濾波器主要為基于壓電單晶的普通聲表面波濾波器(STD-SAW)和溫度補償型濾波器(TC-SAW)。隨著移動通信技術(shù)的發(fā)展，迫切需求具備更低插入損耗、更低頻率溫度系數(shù)、更高品質(zhì)因子的聲表面波濾波器，薄膜型聲表面波濾波器(TF-SAW)即是其中一種有效的解決方案。

然而，在薄膜型聲表面波濾波器中，當(dāng)聲波偏離主模式的傳播軌跡，則會引入橫波模式、體波等寄生模式。這些寄生模式會導(dǎo)致濾波器的通帶中出現(xiàn)大量波紋，而且其中一個通道的寄生模式可能導(dǎo)致其他通道的通帶內(nèi)出現(xiàn)波紋，這些都對濾波器、多工器的使用造成不利影響。因此，無用模式寄生是薄膜型聲表面波濾波器、多工器器件中需重點解決的問題之一。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的第一個目的在于提供一種可抑制橫波等寄生模式的聲表面波濾波器，本發(fā)明的第二個目的在于提供一種由采用不同寄生模式抑制手段的諧振器和濾波器組成的多工器。

為了實現(xiàn)上述第一個發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

一種聲表面波濾波器，包括支撐襯底、高聲速層、低聲速層、壓電膜層、濾波器金屬電極以及多個濾波器芯片，所述濾波器芯片為梯形濾波器或縱向耦合多模濾波器。

作為優(yōu)選方案：所述梯形濾波器包括多個由串聯(lián)臂和并聯(lián)臂構(gòu)成的諧振器。

作為優(yōu)選方案：所述梯形濾波器還包括反射柵、第一上下匯流條電極、第一上下有效指和第一上下假指，其中，諧振器與聲波傳播方向x1形成夾角β1，第一上下有效指和第一上下假指之間分別形成第一有效孔徑上邊界和第一有效孔徑下邊界，第一有效孔徑上邊界和第一有效孔徑下邊界的形狀為包含弧線和直線的多段線。

作為優(yōu)選方案：所述梯形濾波器還包括反射柵、第一上下匯流條電極、第一上下有效指和上下附加金屬條，其中諧振器與聲波傳播方向x1形成夾角β2，上下附加金屬條為1至3根彼此平行或互成一定角度的金屬條，所述上下附加金屬條的形狀為直線型、波浪形或包含弧線和直線的多段線型金屬條。

作為優(yōu)選方案：所述縱向耦合多模濾波器包括反射柵、多個換能器及第一端口、第二端口，其中每個換能器由上匯流條電極、下匯流條電極、第二上下假指和第二上下有效指組成；每個換能器的上匯流條電極分別與第一端口相連或接地，每個換能器的下匯流條電極分別與第二端口相連或接地，且多個換能器的上匯流條電極交替與第一端口和接地相連，多個換能器的下匯流條電極交替與第二端口和接地相連，每個換能器與聲波傳播方向x1形成夾角θ；第二上下假指和第二上下有效指之間分別形成第二有效孔徑上邊界和第二有效孔徑下邊界，第二有效孔徑上邊界和下邊界的形狀為直線型、單周期或多周期彎曲波浪形。