[發明專利]一種聲表面波濾波器及多工器

在審

• 申請號: 202310177496.9
• 申請日: 2023-02-28
• 公開（公告）號: CN116647207A
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 周亞男;秦美玲;李忠宇;孔杰;朱衛俊;李勇
• 申請（專利權）人: 中電科技德清華瑩電子有限公司
• 主分類號: H03H9/64
• 分類號: H03H9/64;H03H9/02
• 代理公司: 杭州豐禾專利事務所有限公司 33214
• 代理人: 高濱

1.一種聲表面波濾波器，包括支撐襯底、高聲速層、低聲速層、壓電膜層、濾波器金屬電極以及多個濾波器芯片，其特征在于：所述濾波器芯片為梯形濾波器或縱向耦合多模濾波器。

2.根據權利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述梯形濾波器包括多個由串聯臂和并聯臂構成的諧振器。

3.根據權利要求2所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述梯形濾波器還包括反射柵、第一上下匯流條電極、第一上下有效指和第一上下假指，其中，諧振器與聲波傳播方向x1形成夾角β1，第一上下有效指和第一上下假指之間分別形成第一有效孔徑上邊界和第一有效孔徑下邊界，第一有效孔徑上邊界和第一有效孔徑下邊界的形狀為包含弧線和直線的多段線。

4.根據權利要求2所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述梯形濾波器還包括反射柵、第一上下匯流條電極、第一上下有效指和上下附加金屬條，其中諧振器與聲波傳播方向x1形成夾角β2，上下附加金屬條為1至3根彼此平行或互成一定角度的金屬條，所述上下附加金屬條的形狀為直線型、波浪形或包含弧線和直線的多段線型金屬條。

5.根據權利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述縱向耦合多模濾波器包括反射柵、多個換能器及第一端口、第二端口，其中每個換能器由上匯流條電極、下匯流條電極、第二上下假指和第二上下有效指組成；每個換能器的上匯流條電極分別與第一端口相連或接地，每個換能器的下匯流條電極分別與第二端口相連或接地，且多個換能器的上匯流條電極交替與第一端口和接地相連，多個換能器的下匯流條電極交替與第二端口和接地相連，每個換能器與聲波傳播方向x1形成夾角θ；第二上下假指和第二上下有效指之間分別形成第二有效孔徑上邊界和第二有效孔徑下邊界，第二有效孔徑上邊界和下邊界的形狀為直線型、單周期或多周期彎曲波浪形。

6.根據權利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述縱向耦合多模濾波器包括：反射柵、多個換能器及第一端口、第二端口，其中每個換能器由上匯流條電極、下匯流條電極、第二上下有效指、第二上下附加金屬條和第一上下有效指加寬電極組成；每個換能器的上匯流條電極分別與第一端口相連或接地，每個換能器的下匯流條電極分別與第二端口相連或接地，且多個換能器的上匯流條電極交替與第一端口和接地相連，多個換能器的下匯流條電極交替與第二端口和接地相連，每個換能器與聲波傳播方向x1形成夾角θ；第二上下附加金屬條由多根金屬條組成，且同側的多根金屬條共線或各自與相應上下匯流條平行；第一上下有效指加寬電極分布于第二上下有效指的指條尖端以及第二上下有效指上靠近第二上下附加金屬條處。

7.根據權利要求5或6所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：相鄰的兩個換能器分別與聲波傳播方向x1形成的夾角分別為θ₁和θ₂，且θ₁和θ₂的取值不同。

8.根據權利要求5或6所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：任意一個換能器中靠近邊界的多對金屬指條形成換能器的邊界區域，與換能器的中間區域相比換能器的邊界區域中電極傾斜角度為0°～7°；換能器的邊界區域與換能器的中間區域的電極周期的比值定義為η，η取值范圍為0.7～1.3。

9.根據權利要求1所述的一種聲表面波濾波器，其特征在于：所述支撐襯底的材料為：單晶硅、碳化硅、藍寶石或金剛石；所述高聲速層的材料為：氮化鋁、氮化硅、多晶硅、金剛石或氧化鋁；所述低聲速層的材料為：二氧化硅或摻碳氧化硅；所述壓電膜層材料為：鉭酸鋰或鈮酸鋰。

10.一種多工器，包含2個及以上的聲表面波濾波器，其特征在于，所述聲表面波濾波器采用權利要求2～4任一所述的聲表面波濾波器和/或采用權利要求5～7任一所述的聲表面波濾波器，所述封裝基板中設有由單層電感或貫穿多層金屬層的電感構成的匹配電路。