[發明專利]蝕刻設備及感光蝕刻工藝

在審

• 申請號: 202310166332.6
• 申請日: 2023-02-24
• 公開（公告）號: CN116083907A
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 李鵬威
• 申請（專利權）人: 許昌速鴻機械有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/02;G03F7/16;G03F7/40;G03F7/20
• 代理公司: 北京國之大銘知識產權代理有限公司 11565
• 代理人: 王娟

本公開涉及蝕刻加工技術領域，提供一種蝕刻設備及感光蝕刻工藝；包括：烘干箱、感光箱和蝕刻箱，蝕刻箱包括第一電機、第二電機、離心管和工件安裝軸；蝕刻箱底部形成有容納槽；離心管的第一端設置有吸水裝置，吸水裝置浸沒在容納槽的蝕刻液中，離心管的第二端與第一電機傳動連接，離心管的側壁上分布有多個灑液孔，第一電機轉動時離心管內的蝕刻液由灑液孔流出灑向安裝在工件安裝軸上的工件；第二電機與第一電機相鄰設置，第二電機與工件安裝軸傳動連接。該蝕刻設備，能夠避免破壞工件內部結構，防止內應力的產生，保證工件的強度；另外，通過采用紫外線進行曝光處理，能夠有效提升曝光的分辨率，簡化工藝，降低成本，提高生產效率。

技術領域

本公開涉及蝕刻加工技術領域，尤其涉及一種蝕刻設備及感光蝕刻工藝。

背景技術

現有技術中多采用沖壓或電化學蝕刻的方式在金屬工件表面加工文字，通過沖壓的方式在金屬表面刻字易破壞工件內部的應力結構，影響工件自身的強度，且精確度差易造成字跡模糊；而通過電化學蝕刻的方式加工金屬工件需要將工件整體浸泡入工作液中，成本較高，且加工過程易增加工件的內應力。

發明內容

為了解決上述技術問題，本公開提供了一種蝕刻設備及感光蝕刻工藝。

本公開一方面提供了一種蝕刻設備，包括：烘干箱、感光箱和蝕刻箱，所述烘干箱、所述感光箱和所述蝕刻箱的內腔相互獨立設置且均設置有可開合的取件口，所述烘干箱內用于烘干工件，所述感光箱內設置有工件安裝部和UV燈；所述蝕刻箱包括第一電機、第二電機、離心管和工件安裝軸；所述蝕刻箱底部形成有用于容納蝕刻液的容納槽；所述離心管設置于所述蝕刻箱內，所述離心管的第一端設置有吸水裝置，所述吸水裝置用于浸沒在容納槽的蝕刻液中，所述第一電機固定于帶動蝕刻箱的面板上，所述離心管的第二端與所述第一電機傳動連接，所述離心管的側壁上分布有多個灑液孔，所述第一電機轉動時所述離心管內的所述蝕刻液由所述灑液孔流出灑向安裝在所述工件安裝軸上的工件；所述第二電機與所述第一電機相鄰設置，所述工件安裝軸設置在所述蝕刻箱內，所述第二電機與所述工件安裝軸傳動連接。

可選地，所述UV燈設置于所述感光箱的底部，所述感光箱上設置有第三電機，所述感光箱內設置有平行于感光箱地面的轉軸，所述工件安裝部與所述轉軸同軸設置。

可選地，所述烘干箱的側壁上設置有工件安裝座，烘干箱底部設置有加熱裝置。

可選地，所述離心管與所述工件安裝軸平行設置。

可選地，所述烘干箱、所述感光箱和所述蝕刻箱的外壁依次相連。

本公開實施例提供的蝕刻設備，通過設置烘干箱，既能夠在干燥感光材料的過程中使用，也能夠對涂抹完顯影劑的工件進行干燥，能夠提升設備的集成度，提升加工效率；通過在感光箱內設置UV燈能夠對工件進行紫外線照射，使感光材料進行曝光形成潛影；通過在蝕刻箱內設置第一電機、第二電機、離心管和工件安裝軸，能夠將蝕刻液噴灑向工件，并在噴灑蝕刻液的同時轉動工件，使蝕刻液的噴灑更均勻同時節省蝕刻液的用量，避免浪費。該蝕刻設備，能夠避免破壞工件內部結構，防止內應力的產生，保證工件的強度；另外，通過采用紫外線進行曝光處理，能夠有效提升曝光的分辨率，簡化工藝，降低成本，提高生產效率。

本公開另一方面還提供了一種感光蝕刻工藝，采用上述的蝕刻設備，包括以下步驟：

清潔工件表面；

將感光材料按照預設的圖案覆涂于工件表面；

使感光材料充分干燥；

對工件進行紫外線照射；

將顯影劑涂抹于工件表面；

對工件進行干燥；

向工件表面噴灑蝕刻液；

清洗工件表面，去除殘留物。