[發明專利]蝕刻設備及感光蝕刻工藝

在審

• 申請號: 202310166332.6
• 申請日: 2023-02-24
• 公開（公告）號: CN116083907A
• 公開（公告）日: 2023-05-09
• 發明（設計）人: 李鵬威
• 申請（專利權）人: 許昌速鴻機械有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/02;G03F7/16;G03F7/40;G03F7/20
• 代理公司: 北京國之大銘知識產權代理有限公司 11565
• 代理人: 王娟

1.一種蝕刻設備，其特征在于，包括：烘干箱(1)、感光箱(2)和蝕刻箱(3)，所述烘干箱(1)、所述感光箱(2)和所述蝕刻箱(3)的內腔相互獨立設置且均設置有可開合的取件口，所述烘干箱(1)內用于烘干工件，所述感光箱(2)內設置有工件安裝部和UV燈(22)；所述蝕刻箱(3)包括第一電機(32)、第二電機(33)、離心管(34)和工件安裝軸(35)；所述蝕刻箱(3)底部形成有用于容納蝕刻液的容納槽(36)；所述離心管(34)設置于所述蝕刻箱(3)內，所述離心管(34)的第一端設置有吸水裝置(341)，所述吸水裝置(341)用于浸沒在容納槽(36)的蝕刻液中，所述第一電機(32)固定于帶動蝕刻箱(3)的面板上，所述離心管(34)的第二端與所述第一電機(32)傳動連接，所述離心管(34)的側壁上分布有多個灑液孔(342)，所述第一電機(32)轉動時所述離心管(34)內的所述蝕刻液由所述灑液孔(342)流出灑向安裝在所述工件安裝軸(35)上的工件；所述第二電機(33)與所述第一電機(32)相鄰設置，所述工件安裝軸(35)設置在所述蝕刻箱(3)內，所述第二電機(33)與所述工件安裝軸(35)傳動連接。

2.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述UV燈(22)設置于所述感光箱(2)的底部，所述感光箱(2)上設置有第三電機(23)，所述感光箱(2)內設置有平行于感光箱(2)地面的轉軸(24)，所述工件安裝部與所述轉軸(24)同軸設置。

3.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述烘干箱(1)的側壁上設置有工件安裝座(12)，烘干箱(1)底部設置有加熱裝置(13)。感光蝕刻工藝，其特征在于，所述蝕刻液為三氯化鐵溶液。

4.根據權利要求1所述的蝕刻設備，其特征在于，所述離心管(34)與所述工件安裝軸(35)平行設置。

5.根據權利要求1至4任一項所述的蝕刻設備，其特征在于，所述烘干箱(1)、所述感光箱(2)和所述蝕刻箱(3)的外壁依次相連。

6.一種感光蝕刻工藝，用于如權利要求1至5任一項所述的時刻設備，其特征在于，包括以下步驟：

清潔工件表面；

將感光材料按照預設的圖案覆涂于工件表面；

使感光材料充分干燥；

對工件進行紫外線照射；

將顯影劑涂抹于工件表面；

對工件進行干燥；

向工件表面噴灑蝕刻液；

清洗工件表面，去除殘留物。

7.根據權利要求6所述的感光蝕刻工藝，其特征在于，所述顯影劑為碳酸氫鈉溶液。

8.根據權利要求6所述的感光蝕刻工藝，其特征在于，所述蝕刻液為三氯化鐵溶液。

9.根據權利要求8所述的感光蝕刻工藝，其特征在于，所述蝕刻液是波美度為40°Bé至42°Bé的三氯化鐵溶液。

10.根據權利要求6所述的感光蝕刻工藝，其特征在于，使用氫氧化鈉溶液清洗工件表面，去除殘留物。