[發明專利]一種三點高度調整平行度的晶圓平臺

在審

• 申請號: 202310151630.8
• 申請日: 2023-02-22
• 公開（公告）號: CN116153839A
• 公開（公告）日: 2023-05-23
• 發明（設計）人: 劉曜軒;羅偉凱;余岱璟;孟占坤;朱建成;劉大曙;李軍崗;李華
• 申請（專利權）人: 蘇州威達智科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙) 32251
• 代理人: 陸金星

1.一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，包括：平臺本體、調平底板以及設置在調平底板與平臺本體內側的多個調節機構；

多個調節機構沿所述平臺本體周向均布；

所述平臺本體頂部設置有若干個吸盤與頂升孔，所述吸盤與所述頂升孔間隔設置；

相鄰的兩個調節機構之間設置有拉簧，所述拉簧一端設置在所述平臺本體的底部，所述拉簧的另一端設置在所述調平底板的頂部；

多個所述調節機構用于調整平臺本體的水平度。

2.根據權利要求1所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述調節機構為3個，所述調節機構固定安裝在調平底板的頂部，相鄰的兩個所述調節機構之間角度為120度，3個所述調節機構分別為第一調節機構、第二調節機構與第三調節機構。

3.根據權利要求2所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述調平底板中心位置設置有旋轉機構，所述旋轉機構頂部設置有升降臺，所述升降臺頂部設置有頂針，所述頂針的位置與所述頂升孔的位置一一對應，所述升降臺外側設置有凸輪隨動器。

4.根據權利要求3所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述旋轉機構外側設置有多個支撐板，所述支撐板頂部設置有連接塊，所述連接塊上設置有導向槽，所述凸輪隨動器配合設置在所述導向槽內，所述導向槽一端的高度大于所述導向槽另一端的高度。

5.根據權利要求3所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述旋轉機構底部設置有從動輪，所述調平底板頂部設置有電機，所述電機的軸端連接有主動輪，所述主動輪與所述從動輪之間通過皮帶連接。

6.根據權利要求1所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述第一調節機構包括第一直線滑軌、配合連接在第一直線滑軌上的第一水平滑塊，所述第一直線滑軌一側設置有第一豎直滑塊，所述第一豎直滑塊一側設置有第一楔塊，所述第一楔塊頂部設置有第一槽口。

7.根據權利要求6所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述第二調節機構包括第二直線滑軌、配合連接在第二直線滑軌上的第二水平滑塊，所述第二直線滑軌一側設置有第二豎直滑塊，所述第二豎直滑塊一側設置有第二楔塊，所述第二楔塊頂部設置有第二槽口。

8.根據權利要求7所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述第三調節機構包括第三直線滑軌、配合連接在第三直線滑軌上的第三水平滑塊，所述第三直線滑軌一側設置有第三豎直滑塊，所述第三豎直滑塊一側設置有第三楔塊，所述第三楔塊頂部設置有第三槽口。

9.根據權利要求8所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述平臺本體底部沿周向設置有第一支撐塊、第二支撐塊與第三支撐塊，所述第一支撐塊底部設置有V型槽，所述第二支撐塊底部設置有半圓形凹槽，所述第三支撐塊底部為平面結構，所述第一槽口、所述第二槽口與所述第三槽口分別與所述第一支撐塊、所述第二支撐塊、所述第三支撐塊位置相對應。

10.根據權利要求9所述的一種三點高度調整平行度的晶圓平臺，其特征在于，所述第一槽口與所述第一支撐塊之間設置有第一球體，所述第二槽口與所述第二支撐塊之間設置有第二球體，所述第三槽口與所述第三支撐塊之間設置有第三球體。