[發(fā)明專利]一種磷化銦拋光藥液及拋光方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310114774.6
• 申請日: 2023-02-15
• 公開（公告）號: CN116333601A
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 呂春富;王卿偉;童三紅;胡文青;宋志強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 中鍺科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;H01L21/02;B24B1/00
• 代理公司: 南京中律知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32341
• 代理人: 李建芳

本發(fā)明公開了一種磷化銦拋光藥液及拋光方法，一種磷化銦拋光藥液，包括配合使用的粗拋藥液1和精拋藥液2；粗拋藥液1由三氯異氫尿酸、二氧化硅磨料A和高純水組成，其中，三氯異氫尿酸、二氧化硅磨料A和高純水的重量比為(18?36)：(80?120)：(3000?5000)；精拋藥液2由三氯異氰尿酸、有機(jī)酸、二氧化硅磨料B、高純水和酸性活性劑苯磺酸鈉，其中，有機(jī)酸為蘋果酸、乳酸或檸檬酸中的至少一種，三氯異氰尿酸、有機(jī)酸、二氧化硅磨料B、高純水和酸性活性劑的重量比為(60?120)：(60?300)：(100?300)：(20000?50000)：(60?150)。本發(fā)明粗拋液成分簡單，原料中有效成分用量少，去除效率高，有效提高了生產(chǎn)效率，降低了生產(chǎn)成本，提高了拋光質(zhì)量，降低了對外企的依賴。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種磷化銦拋光藥液及拋光方法，屬于磷化銦拋光技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

磷化銦是一種重要的半導(dǎo)體材料，它使光學(xué)系統(tǒng)能夠提供數(shù)據(jù)中心、移動回程、地鐵和長途應(yīng)用所需的性能。在InP上制作的激光器、光電二極管和波導(dǎo)在玻璃纖維的最佳傳輸窗口工作，從而實現(xiàn)高效的光纖通信。磷化銦是制作高速器件和電路、光電集成電路的重要襯底材料，其拋光片的表面質(zhì)量對后續(xù)的外延及器件性能有著重要的影響。表面粗糙度作為表征表面質(zhì)量的重要參數(shù)指標(biāo)，需要在拋光過程中嚴(yán)格控制。

采用VGF的生長方式提供高性能的磷化銦晶片經(jīng)過切片、研磨、拋光和清洗，達(dá)到“開盒即用”要求。為滿足外延要求，拋光包括粗拋和精拋兩個步驟，現(xiàn)有的粗拋工藝去除量0.3-0.5μm/min，粗拋去除效率低，且粗拋藥液組分復(fù)雜、成本高；精拋采用進(jìn)口拋光液混合液對磷化銦晶片進(jìn)行拋光，使晶片表面達(dá)到0.3nm的要求，由于進(jìn)口拋光混合液價格高，運輸周期長等，導(dǎo)致磷化銦晶片加工成本高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供一種磷化銦拋光藥液及拋光方法，拋藥液組分簡單，配置方便，提高了粗拋效率，降低了精拋成本。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：

一種磷化銦拋光藥液，包括配合使用的粗拋藥液1和精拋藥液2；

粗拋藥液1由三氯異氫尿酸、二氧化硅磨料A和高純水組成，其中，三氯異氫尿酸、二氧化硅磨料A和高純水的重量比為(18-36)：(80-120)：(3000-5000)；

精拋藥液2由三氯異氰尿酸、有機(jī)酸、二氧化硅磨料B、高純水和酸性活性劑苯磺酸鈉，其中，有機(jī)酸為蘋果酸、乳酸或檸檬酸中的至少一種，三氯異氰尿酸、有機(jī)酸、二氧化硅磨料B、高純水和酸性活性劑的重量比為(60-120)：(60-300)：(100-300)：(20000-50000)：(60-150)。

粗拋藥液1配置時，將各組分混合均勻，即得粗拋藥液1；精拋藥液2配置時，先將三氯異氰尿酸、有機(jī)酸、二氧化硅磨料B和高純水混合均勻，再加入酸性活性劑混合均勻，即得精拋藥液2。

本申請粗拋藥液1和精拋藥液2需要配合使用，也即，在對磷化銦的拋光過程中，粗拋需要采用粗拋藥液1，精拋需要采用精拋藥液2，二者是搭配使用的，只有這樣才能確保拋光效果，且本申請只需要粗拋和精拋兩步即可完成拋光步驟，粗拋和精拋之間或前后均無需任何其它拋光工藝。

三氯異氫尿酸為粗拋藥液1和精拋藥液2提供氧化劑和酸根離子，二氧化硅A為粗拋藥液1提供磨料，二氧化硅B為精拋藥液2提供磨料；酸性活性劑使用苯磺酸鈉，可增加拋光時的分散效果和潤滑度，提高表面質(zhì)量。

精拋藥液2中有機(jī)酸為蘋果酸、乳酸或檸檬酸中至少一種，用于為精拋藥液2提供PH調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)化學(xué)腐蝕的速率。

本發(fā)明粗拋藥液1和精拋藥液2，所用原料方便易得，且可完全替代進(jìn)口產(chǎn)品，降低了對外企的依賴。

本申請粗拋藥液1和精拋藥液2組分簡單，配置方便，提高了粗拋藥水化學(xué)反應(yīng)速度，提高了粗拋效率，降低了精拋成本。