[發明專利]一種硼擴散爐管維護效果檢測方法

在審

• 申請號: 202310074127.7
• 申請日: 2023-02-01
• 公開（公告）號: CN116013801A
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 王通;張紅妹;魏雙雙;李青娟;李倩;尚琪
• 申請（專利權）人: 英利能源發展（保定）有限公司;英利能源發展有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 河北國維致遠知識產權代理有限公司 13137
• 代理人: 趙寶琴

本發明提供了一種硼擴散爐管維護效果檢測方法，屬于光伏電池技術領域，包括選擇原硅片，對原硅片進行雙面拋光；對原硅片進行雙面硼擴散，并測試擴后硅片的方阻；篩選出符合生產要求的合格擴后硅片，并去除合格的擴后硅片表面的硼硅玻璃；在擴后硅片的雙面加工形成氮化硅膜，用于鈍化和保護硅片表面；燒結處理擴后硅片；對處理后的硅片進行Sinton測試，并記錄少子壽命、反向飽和電流密度和開路電壓。本發明提供的硼擴散爐管維護效果檢測方法，通過測試方阻篩除不合格的擴后硅片以減少測試結果異常，通過Sinton測試得到少子壽命、反向飽和電流密度和開路電壓數據，并準確地檢查出硼擴散爐管的維護效果，避免出現影響電池成品質量和合格率的情況發生。

技術領域

本發明屬于光伏電池技術領域，更具體地說，是涉及一種硼擴散爐管維護效果檢測方法。

背景技術

N型太陽能電池的主流技術就是TOPCon技術，即Tunnel?Oxide?PassivatedContact技術，該技術是一種新型鈍化接觸技術，關鍵技術為在電池背面制備一層超薄的隧穿氧化層，并在氧化層表面沉積一層磷摻雜的多晶硅薄膜層，隧穿氧化層和多晶硅摻雜層二者共同形成了鈍化接觸結構。

在N型TOPCon電池技術中，工藝流程較長，導致工藝時間也會相應變長，而作為第二個工藝環節的硼擴散不僅是電池生產中最為重要的環節，且由于硼擴的特點工藝時間較長，硼擴散爐管內潔凈度要求高，需要較頻繁且較高的維護質量來達到要求，但是硼擴散爐管的維護質量無法直觀、準確地獲得。目前的工藝基本都是跟蹤一管擴散片電池成品效率正常才能投入使用，這樣不僅耽誤爐管的投入使用時間造成產量降低，且如果維護不合格會導致不合格電池產生，這樣會造成成品合格率降低。

發明內容

本發明的目的在于提供一種硼擴散爐管維護效果檢測方法，以解決現有技術中存在的硼擴散爐管的維護質量較差時影響電池成品的質量和合格率，且無法準確地獲得硼擴散爐管的維護質量的技術問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是：提供一種硼擴散爐管維護效果檢測方法，包括：

S1：選擇原硅片，對所述原硅片進行雙面拋光；

S2：對所述原硅片進行雙面硼擴散，并測試擴后硅片的方阻；

S3：篩選出符合生產要求的合格擴后硅片，并去除合格的所述擴后硅片表面的硼硅玻璃；

S4：在所述擴后硅片的雙面加工形成氮化硅膜，鈍化和保護硅片表面；

S5：燒結處理所述擴后硅片；

S6：對處理后的硅片進行Sinton測試，并記錄少子壽命、反向飽和電流密度和開路電壓。

在一種可能的實現方式中，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光之前，先使用堿液所述原硅片進行清洗，再對所述原硅片進行清水噴淋；所述堿液為氫氧化鉀和過氧化氫的混合液，氫氧化鉀的濃度為1-2％(w％)，過氧化氫的濃度為5.5-6.5％(w％)，反應溫度為55-65℃，清洗時間為1.5-2.5分鐘。

在一種可能的實現方式中，在S1中，將所述原硅片置于堿性液體中進行雙面拋光。

在一種可能的實現方式中，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光之后，先對雙面拋光后的原硅片進行清水噴淋，再使用酸液進行酸洗，然后采用慢提拉清洗，最后進行烘干；所述酸液為鹽酸和氫氟酸的混合液，鹽酸的濃度為3-5％(w％)，氫氟酸的濃度為3-5％(w％)；所述慢提拉清洗在冷水中進行。

在一種可能的實現方式中，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光后，將所述原硅片放置于氮氣環境下。