[發明專利]一種硼擴散爐管維護效果檢測方法

在審

• 申請號: 202310074127.7
• 申請日: 2023-02-01
• 公開（公告）號: CN116013801A
• 公開（公告）日: 2023-04-25
• 發明（設計）人: 王通;張紅妹;魏雙雙;李青娟;李倩;尚琪
• 申請（專利權）人: 英利能源發展（保定）有限公司;英利能源發展有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 河北國維致遠知識產權代理有限公司 13137
• 代理人: 趙寶琴

1.一種硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，包括：

S1：選擇原硅片，對所述原硅片進行雙面拋光；

S2：對所述原硅片進行雙面硼擴散，并測試擴后硅片的方阻；

S3：篩選出符合生產要求的合格擴后硅片，并去除合格的所述擴后硅片表面的硼硅玻璃；

S4：在所述擴后硅片的雙面加工形成氮化硅膜，用于鈍化和保護硅片表面；

S5：燒結處理所述擴后硅片；

S6：對處理后的硅片進行Sinton測試，并記錄少子壽命、反向飽和電流密度和開路電壓。

2.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光之前，先使用堿液所述原硅片進行清洗，再對所述原硅片進行清水噴淋；所述堿液為氫氧化鉀和過氧化氫的混合液，氫氧化鉀的濃度為1-2％(w％)，過氧化氫的濃度為5.5-6.5％(w％)，反應溫度為55-65℃，清洗時間為1.5-2.5分鐘。

3.如權利要求2所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S1中，將所述原硅片置于堿性液體中進行雙面拋光。

4.如權利要求3所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光之后，先對雙面拋光后的原硅片進行清水噴淋，再使用酸液進行酸洗，然后采用慢提拉清洗，最后進行烘干；所述酸液為鹽酸和氫氟酸的混合液，鹽酸的濃度為3-5％(w％)，氫氟酸的濃度為3-5％(w％)；所述慢提拉清洗在冷水中進行。

5.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S1中，對所述原硅片進行雙面拋光后，將所述原硅片放置于氮氣環境下。

6.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S2中，使用硼擴散爐對所述原硅片進行雙面硼擴散，且分別在所述硼擴散爐的爐口、爐中及爐尾進行所述原硅片的雙面硼擴散；在S6中，對處理后的硅片進行Sinton測試后，所記錄少子壽命、反向飽和電流密度和開路電壓的數據為在所述硼擴散爐的爐口、爐中及爐尾測試數據的平均值。

7.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S3中，使用氫氟酸去除所述擴后硅片上的硼硅玻璃；氫氟酸的濃度為3-5％(w％)，反應時間為6-10分鐘。

8.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S4中，所述氮化硅膜的膜厚為60-70nm，折射率2.05-2.2。

9.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S5中，燒結處理所述擴后硅片后，收集硅片并使用隔紙隔開放置。

10.如權利要求1所述的硼擴散爐管維護效果檢測方法，其特征在于，在S6中，對硅片進行PL測試，并記錄硅片的光致發光光譜數據。