[發明專利]一種MFC設定控制器的測試裝置及其測試算法

在審

• 申請號: 202310071250.3
• 申請日: 2023-02-07
• 公開（公告）號: CN116400661A
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發明（設計）人: 曹廷睿;金毅
• 申請（專利權）人: 無錫誠勇自動化技術有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

本發明公開了一種MFC設定控制器的測試裝置，包括上位機、質量流量控制器、模擬量輸入采集模塊、旋轉電機和至少兩個通訊模塊，模擬量輸入采集模塊的信號輸出端、旋轉電機的信號輸入端和所有通訊模塊均與上位機連接，上位機上設置上位顯示屏。本發明的目的是提供一種能夠高效自動測試MFC設定控制器的性能的測試裝置及其測試算法。

技術領域

本發明涉及半導體生產設備制造，尤其涉及一種MFC設定控制器的測試裝置及其測試算法。

背景技術

質量流量控制器（MASS?FLOW?CONTROLLER，縮寫為MFC）是一種用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制的裝置，因其精度高、重復性好的優點，質量流量控制器在半導體行業中的等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜等工藝中被廣泛使用。

MFC設定控制器是用于對質量流量控制器進行控制的設備，用于設定質量流量控制器的流量。MFC設定控制器在生產后需要對其進行測試，以保證生產的MFC設定控制器質量是合格的。傳統的測試工藝是通過人工對MFC設定控制器進行檢測。但是當MFC設定控制器的生產量比較大時，人工效率低的缺點就被放大，極大制約了企業生產MFC設定控制器的效率。

發明內容

發明目的：本發明的目的是提供一種能夠高效自動測試MFC設定控制器的性能的測試裝置及其測試算法。

技術方案：本發明所述的一種MFC設定控制器的測試裝置，包括上位機、質量流量控制器、模擬量輸入采集模塊、旋轉電機和至少兩個通訊模塊，所述模擬量輸入采集模塊的信號輸出端、旋轉電機的信號輸入端和所有通訊模塊均與上位機連接，所述上位機上設置上位顯示屏；

所述模擬量輸入采集模塊的信號輸入端與待測試的MFC設定控制器的第一信號輸出接口連接，用于采集待測試的MFC設定控制器輸出的電壓信號；

至少一個所述通訊模塊與待測試的MFC設定控制器的通信接口連接，用于實現上位機與待測試的MFC設定控制器之間的信息傳遞；

至少一個所述通訊模塊與所述質量流量控制器的通信接口連接，用于實現上位機與質量流量控制器之間的信息傳遞；

旋轉電機的輸出端與待測試的MFC設定控制器內置的多圈電位器固定連接，旋轉電機轉動以帶動多圈電位器轉動，多圈電位器用于調整MFC設定控制器給質量流量控制器的設定值，進而能夠調整MFC設定控制器的電壓輸出值，最終能夠調整質量流量控制器的流量值；

在測試過程中，待測試的MFC設定控制器的第二信號輸出接口與上位機連接，所述上位機內置測試算法，使得上位機能夠用于根據接收到的信號判斷待測試的MFC設定控制器是否正常，上位機可以設置的內容和可以實現的功能包括：設定流量值顯示小數位數、設定流量值滿量程等參數、設定流量給定模式、給定旋轉電機指令、判斷待測試的MFC設定控制器內置的電壓模塊（DC±15V、DC5V）是否正常、判斷待測試的MFC設定控制器輸出電壓是否正確。

進一步地，還包括基準電壓源模塊，所述基準電壓源模塊的一端與上位機連接，基準電壓源模塊的另一端與待測試的MFC設定控制器的電源接口連接，基準電壓源模塊用于給待測試的MFC設定控制器不同的電壓信號，不同的電壓信號使得MFC設定控制器給質量流量控制器不同的設定值，進而能夠調整MFC設定控制器的電壓輸出值，最終能夠調整質量流量控制器的流量值，達到測試不同的電壓信號下待測試的MFC設定控制器是否正常的目的。

進一步地，所述通信模塊為485通信電路。

進一步地，還包括氣源，所述氣源與質量流量控制器通過輸入管連通，所述輸入管上設置閥門，閥門既可以自動也可以手動。

進一步地，所述待測試的MFC設定控制器上設置設定顯示屏，設定顯示屏用于顯示MFC設定控制器給質量流量控制器的設定值。

進一步地，所述測試算法步驟如下：