[發明專利]一種MFC設定控制器的測試裝置及其測試算法

在審

• 申請號: 202310071250.3
• 申請日: 2023-02-07
• 公開（公告）號: CN116400661A
• 公開（公告）日: 2023-07-07
• 發明（設計）人: 曹廷睿;金毅
• 申請（專利權）人: 無錫誠勇自動化技術有限公司
• 主分類號: G05B23/02
• 分類號: G05B23/02
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 柏尚春

1.一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置，其特征在于：包括上位機（5）、質量流量控制器（4）、模擬量輸入采集模塊（8）、旋轉電機（7）和至少兩個通訊模塊，所述模擬量輸入采集模塊（8）的信號輸出端、旋轉電機（7）的信號輸入端和所有通訊模塊均與上位機（5）連接，所述上位機（5）上設置上位顯示屏（501）；

所述模擬量輸入采集模塊（8）的信號輸入端與待測試的MFC設定控制器（1）的第一信號輸出接口（105）連接，用于采集待測試的MFC設定控制器（1）輸出的電壓信號；

至少一個所述通訊模塊與待測試的MFC設定控制器（1）的通信接口連接，用于實現上位機（5）與待測試的MFC設定控制器（1）之間的信息傳遞；

至少一個所述通訊模塊與所述質量流量控制器（4）的通信接口連接，用于實現上位機（5）與質量流量控制器（4）之間的信息傳遞；

旋轉電機（7）的輸出端與待測試的MFC設定控制器（1）內置的多圈電位器（101）固定連接，旋轉電機（7）轉動以帶動多圈電位器（101）轉動，多圈電位器（101）用于調整MFC設定控制器（1）給質量流量控制器（4）的設定值，進而能夠調整MFC設定控制器（1）的電壓輸出值，最終能夠調整質量流量控制器（4）的流量值；

在測試過程中，待測試的MFC設定控制器（1）的第二信號輸出接口（106）與上位機（5）連接，所述上位機（5）內置測試算法，使得上位機（5）能夠用于根據接收到的信號判斷待測試的MFC設定控制器（1）是否正常。

2.根據權利要求1所述的一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置，其特征在于：還包括基準電壓源模塊（9），所述基準電壓源模塊（9）的一端與上位機（5）連接，基準電壓源模塊（9）的另一端與待測試的MFC設定控制器（1）的電源接口連接，基準電壓源模塊（9）用于給待測試的MFC設定控制器（1）不同的電壓信號，不同的電壓信號使得MFC設定控制器（1）能夠控制質量流量控制器（4）至不同的流量值，達到測試不同的電壓信號下待測試的MFC設定控制器（1）是否正常的目的。

3.根據權利要求1所述的一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置，其特征在于：所述通信模塊為485通信電路。

4.根據權利要求1所述的一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置，其特征在于：還包括氣源，所述氣源與質量流量控制器（4）通過輸入管連通，所述輸入管上設置閥門（3）。

5.根據權利要求1所述的一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置，其特征在于：所述待測試的MFC設定控制器（1）上設置設定顯示屏（104）。

6.一種MFC設定控制MFC設定控制器的測試裝置的測試算法，步驟如下：

第一步：查看待測試的MFC設定控制器（1）內置的電壓模塊是否正常，若正常則執行第二步，否則判定該MFC設定控制器（1）處于異常狀態，檢測結束；

第二步：旋轉電機（7）在上位機（5）控制下向任意方向旋轉，查看上位機（5）上的上位顯示屏（501）顯示的待測試的MFC設定控制器（1）輸出電壓、質量流量控制器（4）反饋值是否為正常的數值，正常則執行第三步，否則判定該MFC設定控制器（1）處于異常狀態，檢測結束；

第三步：改變基準電壓源模塊（9）的輸出值至指定值，查看上位機（5）上的上位顯示屏（501）顯示的待測試的MFC設定控制器（1）輸出電壓、質量流量控制器（4）反饋值是否為正常的數值，正常則執行第四步，否則判定該MFC設定控制器（1）處于異常狀態，檢測結束;

第四步：上位機（5）給待測試的MFC設定控制器（1）發出全開指令及全閉指令，查看上位機（5）上的上位顯示屏（501）顯示的待測試的MFC設定控制器（1）輸出電壓、質量流量控制器（4）反饋值是否為正常的數值，正常則表示待測試的MFC設定控制器（1）所有功能正常，檢測結束，否則判定該MFC設定控制器（1）處于異常狀態，檢測結束。