[發明專利]基于深度學習的樣品定位

在審

• 申請號: 202310051050.1
• 申請日: 2023-01-20
• 公開（公告）號: CN116486397A
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: S·伯恩;S·麥克萊
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G06V20/69
• 分類號: G06V20/69;G06V10/774;G06V10/82
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 鐘茂建;呂傳奇

基于深度學習的樣品定位。本文公開科學儀器支持系統，以及相關的方法、計算裝置和計算機可讀介質。舉例來說，在一些實施例中，一種用于由顯微鏡確定樣品位置和相關聯的載物臺坐標的方法至少包括：使用導航相機獲取裝載在夾具上的多個樣品的圖像，所述圖像在包含所述夾具和所述多個樣品中的所有樣品的視場處具有低分辨率；使用訓練模型分析所述圖像以識別所述多個樣品；基于所述分析，將每個樣品與所述夾具上的位置相關聯；基于每個樣品在所述夾具上的所述位置，將單獨的載物臺坐標信息與裝載在所述夾具上的所述多個樣品中的每個樣品相關聯；和基于所述多個樣品中的第一樣品的相關聯的載物臺坐標信息將保持所述夾具的載物臺轉換為第一載物臺坐標。

技術領域

本發明大體上涉及帶電粒子顯微鏡透鏡，并且具體地涉及至少在光軸的方向上在樣品平面處產生可忽略的磁場或零磁場的帶電粒子顯微鏡物鏡。

背景技術

顯微鏡在許多行業中用于質量控制、缺陷檢測、過程分析等，使得公司可了解其過程并且相應地對其進行表征。舉例來說，半導體行業使用各種顯微鏡工具，如帶電粒子顯微鏡(例如，掃描電子顯微鏡(SEM)、聚焦離子束(FIB)顯微鏡、組合SEM和FIB兩者的雙束、透射電子顯微鏡(TEM)和掃描TEM(STEM))，以對其過程和所得裝置進行分析。對從較大過程批次例如晶片批次、晶片等采集的樣品的這類顯微鏡的使用在歷史上為識別、跟蹤和運輸這類樣品的高度手動任務。然而，隨著機器人技術和控制算法的當前進步，期望自動化樣品識別、跟蹤和處置，這將允許熟練的技術人員執行比裝載樣品并且通過各種顯微鏡過程跟蹤這些樣品更多的增值任務。

附圖說明

通過以下結合附圖的詳細描述，將容易地理解各實施例。為了便于描述，相同的附圖標記指示相同的結構元件。各實施例在附圖的圖中以舉例而非限制的方式說明。

圖1A為根據本文公開的各種實施例的用于執行樣品相關操作的帶電粒子顯微鏡(CPM)支持模塊1000的說明性框圖。

圖1B為根據本文公開的各種實施例的用于執行樣品相關操作的帶電粒子顯微鏡(CPM)支持模塊1001的說明性框圖。

圖2為根據各種實施例的用于執行支持操作的方法2000的流程圖。

圖3為根據各種實施例的執行支持操作的方法3000的流程圖。

圖4是根據各種實施例的可以執行本文所公開的科學儀器支持方法中的一些或所有科學儀器支持方法的計算裝置4000的框圖。

圖5是根據各種實施例的可以在其中執行本文所公開的科學儀器支持方法中的一些或所有科學儀器支持方法的示例科學儀器支持系統5000的框圖。

圖6為根據本公開的實施例的用于將多個樣品裝載到CPM中的示例夾具6000。

圖7為根據本公開的實施例的示例CPM?100。

具體實施方式

本文公開科學儀器支持系統，以及相關的方法、計算裝置和計算機可讀介質。舉例來說，在一些實施例中，用于由顯微鏡確定樣品位置和相關聯的載物臺坐標的方法至少包括：使用導航相機獲取裝載在夾具上的多個樣品的圖像，圖像在包含夾具和多個樣品中的所有樣品的視場處具有低分辨率；使用訓練模型分析圖像以識別多個樣品；基于分析，將每個樣品與夾具上的位置相關聯；基于每個樣品在夾具上的位置，將單獨的載物臺坐標信息與裝載在夾具上的多個樣品中的每個樣品相關聯；和基于多個樣品中的第一樣品的相關聯的載物臺坐標信息將保持夾具的載物臺轉換為第一載物臺坐標。