[發(fā)明專利]基于深度學(xué)習(xí)的樣品定位

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310051050.1
• 申請日: 2023-01-20
• 公開（公告）號: CN116486397A
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: S·伯恩;S·麥克萊
• 申請（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號: G06V20/69
• 分類號: G06V20/69;G06V10/774;G06V10/82
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 鐘茂建;呂傳奇

1.一種用于由顯微鏡確定樣品位置和相關(guān)聯(lián)的載物臺坐標(biāo)的方法，所述方法包括：

使用導(dǎo)航相機(jī)獲取裝載在夾具上的多個樣品的圖像，所述圖像在包括所述夾具和所述多個樣品中的所有樣品的視場處具有低分辨率；

使用訓(xùn)練模型分析所述圖像以標(biāo)識所述多個樣品；

基于所述分析，將每個樣品與所述夾具上的位置相關(guān)聯(lián)；

基于每個樣品在所述夾具上的所述位置，將單獨的載物臺坐標(biāo)信息與裝載在所述夾具上的所述多個樣品中的每個樣品相關(guān)聯(lián)；以及

基于所述多個樣品中的第一樣品的相關(guān)聯(lián)的載物臺坐標(biāo)信息將保持所述夾具的載物臺平移到第一載物臺坐標(biāo)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：

將過程與所述第一載物臺坐標(biāo)信息下的樣品相關(guān)聯(lián)；以及

當(dāng)所述載物臺被平移到所述第一載物臺坐標(biāo)時執(zhí)行所述過程。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：

在所述顯微鏡處或由耦接到所述顯微鏡的服務(wù)器接收作業(yè)文件，所述作業(yè)文件包括樣品ID、所述夾具上的樣品編號和過程信息，其中所述工具；以及

訪問所述作業(yè)文件以將所述過程與所述樣品相關(guān)聯(lián)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中使用訓(xùn)練模型分析所述圖像以標(biāo)識所述多個樣品包括：

使用所述訓(xùn)練模型分割所述圖像；以及

基于所述分割來標(biāo)識所述多個樣品中的每個樣品。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，進(jìn)一步包括：

基于所述夾具上的標(biāo)記來確定所述夾具的定向，其中所述標(biāo)記被布置成示出所述夾具的定向；

將每個樣品與所述夾具上的位置相關(guān)聯(lián)；以及

將每個樣品與載物臺位置和相關(guān)聯(lián)的載物臺坐標(biāo)信息相關(guān)聯(lián)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述夾具包括跨所述夾具布置的多個所述標(biāo)記。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述導(dǎo)航相機(jī)被布置成觀察與所述顯微鏡的光學(xué)器件的觀察位置重合的位置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中所述顯微鏡為帶電粒子顯微鏡并且所述光學(xué)器件包括帶電粒子光學(xué)器件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：

在使用所述第一載物臺坐標(biāo)處的所述載物臺執(zhí)行過程后，將保持所述夾具的所述載物臺平移到第二載物臺坐標(biāo)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中所述過程包括獲取掃描電子圖像。

11.一種方法，其包括：

將多個樣品裝載到夾具上，所述夾具包括多個夾具位置，其中每個夾具位置能夠接受一個樣品，并且其中每個夾具位置在所述夾具上的已知位置處并且具有相關(guān)聯(lián)的標(biāo)識符，并且其中所述夾具包括對所述夾具位置定向的標(biāo)記；

更新工作文件以將所述多個樣品中的每個樣品與夾具位置相關(guān)聯(lián)，其中每個樣品具有相關(guān)聯(lián)的樣品ID；

將所述夾具裝載到帶電粒子顯微鏡(CPM)中，所述夾具安裝在所述CPM的載物臺上，并且所述載物臺移動，使得所述夾具處于與帶電粒子束和導(dǎo)航相機(jī)(navcam)重合的位置中；

使用所述導(dǎo)航相機(jī)獲取所述夾具的圖像；

將所述圖像提供給訓(xùn)練模型以供分析；

從所述訓(xùn)練模型接收裝載在所述夾具上的每個樣品的載物臺坐標(biāo)信息；

更新所述工作文件以將每個樣品的所述載物臺坐標(biāo)信息相關(guān)聯(lián)；以及

啟動所述工作文件以處理每個樣品，其中所述工作文件將過程與所述多個樣品中的每個樣品相關(guān)聯(lián)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中所述訓(xùn)練模型為被訓(xùn)練以標(biāo)識樣品并且將每個樣品與載物臺位置相關(guān)聯(lián)的機(jī)器學(xué)習(xí)模型。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中每個樣品ID標(biāo)識所述樣品與其相關(guān)聯(lián)的批號、晶片編號和管芯編號。