[發明專利]一種凈化臺放置舟的方法及其凈化臺

有效

• 申請號: 202310031723.7
• 申請日: 2023-01-10
• 公開（公告）號: CN115763337B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 肖偉兵;林佳繼;劉群
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18;B25J9/16
• 代理公司: 北京睿博行遠知識產權代理有限公司 11297
• 代理人: 孫孟清

本申請涉及太陽能電池制備技術領域，特別是涉及一種凈化臺放置舟的方法及其凈化臺。包括：獲取凈化臺狀態參數，控制模塊根據凈化臺狀態參數判斷是否生成放舟路徑指令；若生成放舟路徑指令，則控制模塊根據放舟路徑指令設定凈化臺搬舟循環指令，機械手根據搬舟循環指令執行搬舟動作；預設多個監測點，獲取監測點的舟體數據生成舟實時位置參數，控制模塊根據舟實時位置參數修正機械手工作參數；監測點設置有監測模塊。通過采集機械手運輸舟的實時工作參數，根據預設位置進行定位，實現對于舟的位置識別，并根據舟的實時位置偏差量調整機械手工作參數，提高輸送舟位置的準確性，及時校準舟位置，提高生產效率，降低人工參與頻率。

技術領域

本申請涉及太陽能電池制備技術領域，特別是涉及一種凈化臺放置舟的方法及其凈化臺。

背景技術

目前，在晶體硅太陽能電池的加工生產中，硅片在由花籃裝入至硅片舟以后，需要將裝滿硅片的硅片舟搬運到凈化臺中進行相應的工藝處理。

現有技術中，硅片舟在裝滿硅片后豎直放置在待取位置，由人工將搬運至輸送小車中，再推送該輸送小車進入凈化臺中進行相應的工藝處理。由于硅片舟裝載硅片后較重，人工搬運勞動強度大，效率低下，且操作不當容易出現硅片舟放置位置不準確、硅片舟損壞等問題，降低了太陽能電池的加工效率。隨著自動化生產的日益完善，實現晶體硅太陽能電池加工生產自動化、提高生產效率是大勢所趨。

發明內容

本申請的目的：為解決上述技術問題，本申請提供了一種凈化臺放置舟的方法及其凈化臺，旨在提高放舟效率，減少人工參與頻率。

本申請的一些實施例中，通過采集機械手運輸舟的實時工作參數，根據預設位置進行定位，實現對于舟的位置識別，并根據舟的實時位置偏差量調整機械手工作參數，提高輸送舟位置的準確性，及時校準舟位置，提高生產效率，降低人工參與頻率。

本申請的一些實施例中，提供了一種凈化臺放置舟的方法，包括：

獲取凈化臺狀態參數，控制模塊根據所述凈化臺狀態參數判斷是否生成放舟路徑指令；

若生成放舟路徑指令，則控制模塊根據所述放舟路徑指令設定凈化臺搬舟循環指令，機械手根據所述搬舟循環指令執行搬舟動作；

預設多個監測點，獲取所述監測點的舟體數據生成舟實時位置參數，控制模塊根據所述舟實時位置參數修正機械手工作參數；所述監測點設置有監測模塊。

本申請的一些實施例中，根據所述凈化臺狀態參數判斷是否生成放舟路徑指令時，還包括：

獲取機械手狀態參數和放舟位置狀態參數；

若所述機械手為有舟狀態且放舟位置為空舟狀態時，生成放舟路徑指令；

若所述機械手為空舟狀態或放舟位置為非空舟狀態時，不生成放路徑舟指令。

本申請的一些實施例中，機械手根據所述搬舟循環指令執行搬舟動作時，包括：

獲取通道位指令，機械手X軸根據所述通道位指令控制舟至通道位；

當舟到達通道位并完成定位時，生成托舟下位指令，機械手Z軸根據所述托舟下位指令控制舟到達第一預設位置；

當舟到達第一預設位置并完成定位時，生成產品工位指令，機械手X軸根據所述產品工位指令控制舟到達產品工位；

當舟到達產品工位并完成定位時，生成托舟上位指令，機械手Z軸根據所述托舟上位指令控制舟到達第二預設位置；

當舟到達第二預設位置并完成定位時，生成返回通道位指令，機械手X軸執行所述返回通道位指令，當完成通道位二次定位時，機械手停止運行。

本申請的一些實施例中，當舟到達產品工位并完成定位時，包括：

關閉所述監測模塊；