[發明專利]一種凈化臺放置舟的方法及其凈化臺

有效

• 申請號: 202310031723.7
• 申請日: 2023-01-10
• 公開（公告）號: CN115763337B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發明（設計）人: 肖偉兵;林佳繼;劉群
• 申請（專利權）人: 拉普拉斯（無錫）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L31/18;B25J9/16
• 代理公司: 北京睿博行遠知識產權代理有限公司 11297
• 代理人: 孫孟清

1.一種凈化臺放置舟的方法，其特征在于，包括：

獲取凈化臺狀態參數，控制模塊根據所述凈化臺狀態參數判斷是否生成放舟路徑指令；

若生成放舟路徑指令，則控制模塊根據所述放舟路徑指令設定凈化臺搬舟循環指令，機械手根據所述搬舟循環指令執行搬舟動作；

預設多個監測點，獲取所述監測點的舟體數據生成舟實時位置參數，控制模塊根據所述舟實時位置參數修正機械手工作參數；所述監測點設置有監測模塊；

所述機械手根據所述搬舟循環指令執行搬舟動作時，包括：

獲取通道位指令，機械手X軸根據所述通道位指令控制舟至通道位；

當舟到達通道位并完成定位時，生成托舟下位指令，機械手Z軸根據所述托舟下位指令控制舟到達第一預設位置；

當舟到達第一預設位置并完成定位時，生成產品工位指令，機械手X軸根據所述產品工位指令控制舟到達產品工位；

當舟到達產品工位并完成定位時，生成托舟上位指令，機械手Z軸根據所述托舟上位指令控制舟到達第二預設位置；

當舟到達第二預設位置并完成定位時，生成返回通道位指令，機械手X軸執行所述返回通道位指令，當完成通道位二次定位時，機械手停止運行；

所述當舟到達第一預設位置并完成定位時，還包括：

根據第一預設位置和實時下位定位位置，生成舟位置Z軸偏差值，根據所述舟位置Z軸偏差值修正機械手Z軸執行所述托舟上位指令時的運行速度；

預設舟位置Z軸偏差值矩陣A，設定A=(A1,A2,A3)，其中，A1為預設第一舟位置Z軸偏差值，A2為預設第二舟位置Z軸偏差值，A3為預設第三舟位置Z軸偏差值，且A1＜A2＜A3;

預設上位指令運行速度修正系數矩陣N，設定N=(n1,n2,n3)，其中，n1為預設第一上位指令運行速度修正系數，n2為預設第二上位指令運行速度修正系數，n3為預設第三上位指令運行速度修正系數，且0.7＜n1＜n2＜n3＜1;

獲取實時舟位置Z軸偏差值a和預設上位指令運行速度V0;

當a＜A1時，根據預設第三上位指令運行速度修正系數n3對上位指令運行速度V0進行修正，修正后上位指令運行速度V1=n3*V0;

當A1＜a＜A2時，根據預設第二上位指令運行速度修正系數n2對上位指令運行速度V0進行修正，修正后上位指令運行速度V1=n2*V0;

當A2＜a＜A3時，根據預設第一上位指令運行速度修正系數n1對上位指令運行速度V0進行修正，修正后上位指令運行速度V1=n1*V0。

2.如權利要求1所述的凈化臺放置舟的方法，其特征在于，根據所述凈化臺狀態參數判斷是否生成放舟路徑指令時，包括：

獲取機械手狀態參數和放舟位置狀態參數；

若所述機械手為有舟狀態且放舟位置為空舟狀態時，生成放舟路徑指令；

若所述機械手為空舟狀態或放舟位置為非空舟狀態時，不生成放舟路徑指令。

3.如權利要求1所述的凈化臺放置舟的方法，其特征在于，當舟到達產品工位并完成定位時，包括：

關閉所述監測模塊；

當所述監測模塊關閉后，機械手Z軸執行所述托舟上位指令；

當完成第二預設位置定位時，開啟所述監測模塊采集舟體數據，并根據所述舟體數據判斷是否生成預警指令；

當生成預警指令時，所述機械手停止運行；

當不生成預警指令時，機械手X軸執行所述返回通道位指令。

4.如權利要求3所述的凈化臺放置舟的方法，其特征在于，根據所述舟體數據判斷是否生成預警指令時，包括：

獲取多個所述監測模塊采集的舟體數據；

根據所述舟體數據生成監測點托舟參數；

若所述監測點托舟參數不一致，預警模塊生成摔舟預警指令。

5.如權利要求1所述的凈化臺放置舟的方法，其特征在于，所述當舟到達產品工位并完成定位時，包括：

獲取托舟下位指令運行速度V2；

根據預設舟產品工位位置和實時舟產品工位位置，生成舟產品工位偏差值，根據所述舟產品工位偏差值修正下一托舟下位指令運行速度。