[發明專利]加工裝置在審
| 申請號： | 202310031459.7 | 申請日： | 2023-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN116494044A | 公開（公告）日： | 2023-07-28 |
| 發明（設計）人： | 山田晉也 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B24B7/04 | 分類號： | B24B7/04;B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/02;B24B49/00;B24B51/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 喬婉;楊俊波 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種加工裝置，其具有包含保持單元和加工單元在內的各種單元和對該各種單元進行控制的控制單元，該保持單元對被加工物進行保持，該加工單元對該保持單元所保持的被加工物進行加工，其中，
該加工裝置具有：
殼體，其罩住該各種單元；
開閉自如的面板，其形成于該殼體并使向該各種單元的接近成為可能；以及
監視器，其至少顯示包含該面板和該各種單元的示意圖，
該控制單元在該面板進行了開閉的情況下，將進行了開閉的該面板顯示于該示意圖，在該各種單元產生了不良情況的情況下，將產生了不良情況的該各種單元顯示于該示意圖。
2.根據權利要求1所述的加工裝置，其中，
在該面板未進行開閉且該各種單元未產生不良情況的情況下，用一種顏色顯示該示意圖，
在該面板進行了開閉的情況下，變更進行了開閉的該面板的顏色而顯示該示意圖，
在該各種單元產生了不良情況的情況下，變更產生了不良情況的該各種單元的顏色而顯示該示意圖。
3.根據權利要求1或2所述的加工裝置，其中，
該加工裝置具有用于使該示意圖返回至不存在該面板的開閉和該各種單元的不良情況的狀態的復位按鈕。
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